玻璃基板检测方法与流程

1.本发明涉及一种用于检测具有多个第一金属导线与多个第二金属导线的玻璃基板的方法，尤指一种使用具有第一与第二电压感测装置的检测设备以检测具有多个第一金属导线与多个第二金属导线的玻璃基板的方法。其中，各所述第一金属导线与各所述第二金属导线分别是由数据线/闸极线(检测闸极线/数据线短路：gds)，或者是数据线/共源极线(检测数据线/共源极线短路：dcs)，抑或者是共源极线/闸极线(检测闸极线/共源极线短路：gcs)所组成群组的其中之一。


背景技术：

2.在玻璃基板的各所述第一金属导线与各所述第二金属导线间是否具有短路的检测方面，先前技术主要是运用非接触式供电及非接触式传感器接收感测信号。前述用于检测玻璃基板短路的先前技术，主要应用在液晶显示屏幕(lcd)的前段制程，在lcd的后段制程则无法达到检测功能，于是促使开发适用于lcd的后段制程的新检测方法。
3.当前用于检测玻璃基板的短路的检测方法，其检测出短路的精确度与速度仍有待提升，以进一步地减少瑕疵与降低生产成本。如何改善现存用于检查玻璃基板的短路检测方法，使得玻璃基板上电路的短路的检出率能被提高，是一值得深思的问题。
4.职是之故，发明人鉴于习知技术的缺失，乃思及改良发明的意念，终能发明出本案的「玻璃基板检测方法」。本案所实现的是运用接触式供电及非接触式传感器接收感测信号的玻璃基板的各所述第一金属导线与各所述第二金属导线间是否具有短路的检测方法。


技术实现要素：

5.本发明的主要目的在于提供一种用于检测具有多个第一金属导线与多个第二金属导线的玻璃基板的第一金属导线与第二金属导线间短路的方法，所述方法当供电所述多个第一金属导线时，使用第一与第二电压感测装置分别依序感测两相邻第二金属导线上二感应电压信号的第一差值，当所述第一差值不为零时，所述两相邻第二金属导线的至少其中之一与所述多个第一金属导线间具有至少一短路，以及当供电所述多个第二金属导线时，使用所述第一与所述第二电压感测装置分别依序感测两相邻第一金属导线上二感应电压信号的第二差值，当所述第二差值不为零时，所述两相邻第一金属导线的至少其中之一与所述多个第二金属导线间具有至少短路，以提升玻璃基板上第一金属导线与第二金属导线间短路的检出率。
6.本案的又一主要目的在于提供一种使用具有第一与第二电压感测装置的检测设备以检测具有多个第一金属导线与多个第二金属导线的玻璃基板的方法，包括：自各所述第二金属导线的一端供应第一电压，且使各所述第二金属导线的另一端接地；使所述第一与所述第二电压感测装置彼此实质平行地沿竖直于所述多个第一金属导线的方向移动；以及当所述第一及所述第二电压感测装置所分别感测到的第一电压信号与第二电压信号间的第一两电压信号之差不为零时，判断分别位于所述第一及所述第二电压感测装置下方的
两相邻第一金属导线的至少其中之一与所述多个第二金属导线间具有至少一短路。
7.本案的下一主要目的在于提供一种使用具有第一与第二电压感测装置的检测设备以检测具有多个第一金属导线与多个第二金属导线的玻璃基板的方法，包括：自各所述第一金属导线的一端供应第一电压，且使各所述第一金属导线的另一端接地；使所述第一与所述第二电压感测装置彼此实质平行地沿竖直于所述多个第二金属导线的方向移动；以及当所述第一及所述第二电压感测装置所分别感测到的第一电压信号与第二电压信号间第一两电压信号之差不为零时，判断分别位于所述第一及所述第二电压感测装置下方的两相邻第二金属导线的至少其中之一与所述多个第一金属导线间具有至少一短路。
8.本案的另一主要目的在于提供一种使用第一与一第二电压感测装置以检测具有多个第一金属导线与多个第二金属导线的玻璃基板的方法，包括：自各所述第二金属导线或各所述第一金属导线的一端供应第一电压；使所述第一与所述第二电压感测装置相平行，且沿竖直于未供电的所述多个第一金属导线或未供电的所述多个第二金属导线的方向移动；以及当所述第一及所述第二电压感测装置所分别感测到的第一电压信号与一第二电压信号之差不为零时，判断分别位于所述第一及所述第二电压感测装置下方的两相邻第一金属导线或两相邻第二金属导线的至少其中之一和与所述两相邻第一金属导线或所述两相邻第二金属导线相交的所述多个第二金属导线至少其中之一或所述多个第一金属导线至少其中之一之间具有至少一短路。
9.本案的又一主要目的在于提供一种使用第一与第二电压感测装置以检测具有多个第一金属导线与多个第二金属导线的玻璃基板的方法，包括：自各所述第一金属导线的一端供应第一电压；使所述第一与所述第二电压感测装置相平行且沿竖直于所述多个第二金属导线的方向移动；以及当所述第一及所述第二电压感测装置所分别感测到的第一电压信号与第二电压信号之差不为零时，判断分别位于所述第一及所述第二电压感测装置下方的两相邻第二金属导线的至少其中之一与所述多个第一金属导线间具有至少一短路。
附图说明
10.图1：其显示一依据本发明构想的第一优选实施例，当供电多个闸极线时，使用第一与第二电压感测装置分别依序感测两相邻数据线上二感应电压信号的第一差值的示意图。
11.图2：其显示依据本发明构想的第一优选实施例，当供电多个数据线时，使用第一与第二电压感测装置分别依序感测两相邻闸极线上二感应电压信号的第二差值的示意图。
12.图3：其显示依据本发明构想的第二优选实施例，当供电多个共源极极线时，使用第一与第二电压感测装置分别依序感测两相邻数据线上二感应电压信号的第三差值的示意图。
13.图4：其显示依据本发明构想的第二优选实施例，当供电多个数据线时，使用第一与第二电压感测装置分别依序感测两相邻共源极线上二感应电压信号的第四差值的示意图。
14.图5：其显示依据本发明构想的第三优选实施例，当供电多个闸极线时，使用第一与第二电压感测装置分别依序感测两相邻共源极线上二感应电压信号的第五差值的示意图。
15.图6：其显示依据本发明构想的第三优选实施例，当供电多个共源极线时，使用第一与第二电压感测装置分别依序感测两相邻闸极线上二感应电压信号的第六差值的示意图。
16.图7a：其显示对应于图1或图3中aa’线段的横切面的所述第一与所述第二电压感测装置与所述二相邻数据线的剖面图。
17.图7b：其系显示对应于图5中aa’线段的横切面的所述第一与所述第二电压感测装置与所述二相邻共源极线的剖面图。
具体实施方式
18.图1是显示依据本发明构想的第一优选实施例，当供电所述多个闸极线时，使用第一与第二电压感测装置分别依序感测两相邻数据线上二感应电压信号的第一差值的示意图。在图1中，检测设备1包括第一电压感测装置11、第二电压感测装置12与横梁13。所述检测设备1用于检测玻璃基板2的gds。所述玻璃基板2包括多个第二金属导线21(在本实施例为多个闸极线21)、多个第一金属导线22(在本实施例为多个数据线22)与外部电源23。
19.如图1所示，检测玻璃基板2时，检测设备1当供应第一电压给所述多个闸极线21时，使用所述第一电压感测装置11与所述第二电压感测装置12分别依序感测两相邻数据线22上二感应电压信号的所述第一差值是否为零，当所述第一差值不为零时，判断分别位于所述第一电压感测装置11及所述第二电压感测装置12下方的两相邻数据线22的至少其中之一与所述多个闸极线21间具有至少一短路。
20.图2是显示一依据本发明构想的第一优选实施例，当供电多个数据线时，使用第一与第二电压感测装置依序感测两相邻闸极线上二感应电压信号的一第二差值的示意图。在图2中，当供应第二电压给所述多个数据线22时，使用所述检测设备1的所述第一电压感测装置11与所述第二电压感测装置12分别依序检测相邻两闸极线21上二感应电压信号的所述第二差值是否为零，当所述第二差值不为零时，判断分别位于所述第一电压感测装置11及所述第二电压感测装置12下方的两相邻闸极线21的至少其中之一与所述多个数据线22间具有至少短路。
21.如图2所示，检测玻璃基板2时，检测设备1当供应所述第二电压给所述多个数据线22时，使用所述第一电压感测装置11与所述第二电压感测装置12分别依序感测两相邻闸极线21上二感应电压信号的所述第二差值是否为零，当所述第二差值为零时，判断分别位于所述第一电压感测装置11及所述第二电压感测装置12下方的两相邻闸极线21与所述多个数据线22间不具有短路。
22.图3是显示依据本发明构想的第二优选实施例，当供电多个共源极线时，使用第一与一第二电压感测装置分别依序感测两相邻数据线上二感应电压信号的一第三差值的示意图。在图3中，检测设备1包括第一电压感测装置11、第二电压感测装置12与横梁13。所述检测设备1用于检测玻璃基板2的dcs。所述玻璃基板2包括多个第二金属导线24(在本实施例为多个共源极线24)、多个第一金属导线22(在本实施例为多个数据线22)与外部电源23。
23.如图3所示，检测玻璃基板2时，检测设备1当供应所述第一电压给所述多个共源极线24时，使用第一电压感测装置11与第二电压感测装置12分别依序感测两相邻数据线22上二感应电压信号的所述第三差值是否为零，当所述第三差值不为零时，判断分别位于所述
第一电压感测装置11及所述第二电压感测装置12下方的两相邻数据线22的至少其中之一与所述多个共源极线24间具有至少短路。
24.图4是显示依据本发明构想的第二优选实施例，当供电多个数据线时，使用第一与第二电压感测装置分别依序感测两相邻共源极线上二感应电压信号的一第四差值的示意图。在图4中，当供应第二电压给所述多个数据线22时，使用所述检测设备1的所述第一电压感测装置11与所述第二电压感测装置12分别依序检测相邻两共源极线24上二感应电压信号的所述第四差值是否为零，当所述第四差值不为零时，判断分别位于所述第一电压感测装置11及所述第二电压感测装置12下方的两相邻共源极线24的至少其中之一与所述多个数据线22间具有至少短路。
25.如图4所示，检测玻璃基板2时，检测设备1当供应所述第二电压给所述多个数据线22时，使用所述第一电压感测装置11与所述第二电压感测装置12分别依序感测两相邻共源极线24上二感应电压信号的所述第四差值是否为零，当所述第四差值为零时，判断分别位于所述第一电压感测装置11及所述第二电压感测装置12下方的两相邻共源极线24与所述多个数据线22间不具有短路。
26.图5是显示依据本发明构想的第三优选实施例，当供电多个闸极极线时，使用第一与第二电压感测装置分别依序感测两相邻共源极线上二感应电压信号的一第五差值的示意图。在图5中，检测设备1包括第一电压感测装置11、第二电压感测装置12与横梁13。所述检测设备1用于检测玻璃基板2的gcs。所述玻璃基板2包括多个第二金属导线21(在本实施例为多个闸极线21)、多个第一金属导线24(在本实施例为多个共源极线24)与外部电源23。
27.如图5所示，检测玻璃基板2时，检测设备1当供应第一电压给所述多个闸极线21时，使用所述第一电压感测装置11与所述第二电压感测装置12分别依序感测两相邻共源极线24上二感应电压信号的所述第五差值是否为零，当所述第五差值不为零时，判断分别位于所述第一电压感测装置11及所述第二电压感测装置12下方的两相邻共源极线24的至少其中之一与所述多个闸极线21间具有至少短路。
28.图6是显示依据本发明构想的第三优选实施例，当供电多个共源极线时，使用第一与第二电压感测装置分别依序感测两相邻闸极线上二感应电压信号的第六差值的示意图。在图6中，当供应第二电压给所述多个共源极线24时，使用所述检测设备1的所述第一电压感测装置11与所述第二电压感测装置12分别依序检测相邻两闸极线21上二感应电压信号的所述第六差值是否为零，当所述第六差值不为零时，判断分别位于所述第一电压感测装置11及所述第二电压感测装置12下方的两相邻闸极线24的至少其中之一与所述多个共源极线24间具有至少短路。
29.如图6所示，检测玻璃基板2时，检测设备1当供应所述第二电压给所述多个共源极线24时，使用所述第一电压感测装置11与所述第二电压感测装置12分别依序感测两相邻闸极线21上二感应电压信号的所述第六差值是否为零，当所述第六差值为零时，判断分别位于所述第一电压感测装置11及所述第二电压感测装置12下方的两相邻闸极线21与所述多个共源极线24间不具有短路。
30.图7a是显示对应于图1或图3中aa’线段的横切面的所述第一与所述第二电压感测装置与所述二相邻数据线的剖面图。第一电压感测装置11与第二电压感测装置12分别在数据线y或数据线x位置上方距离d的位置(间距为d)。
31.图7b是显示对应于图5中aa’线段的横切面的所述第一与所述第二电压感测装置与所述二相邻共源极线的剖面图。第一电压感测装置11与第二电压感测装置12分别在共源极线y或共源极线x位置上方距离d的位置(间距为d)。
32.如图1、图3或图5所示，本案提供一种使用具有第一电压感测装置11与第二电压感测装置12的检测设备1以检测具有多个第一金属导线(在图1与图3中为数据线22，在图5中为共源极线24)22/24与多个第二金属导线(在图1与图5中为闸极线21，在图3中为共源极线24)21/24的玻璃基板2的方法。所述方法包括：自各所述第二金属导线21/24的一端供应第一电压，且使各所述第二金属导线21/24的另一端接地；使所述第一电压感测装置11与所述第二电压感测装置12彼此实质平行地沿竖直于所述多个第一金属导线22/24的方向移动；以及当所述第一电压感测装置11及所述第二电压感测装置12所分别感测到的第一电压信号与第二电压信号间的第一两电压信号之差不为零时，判断分别位于所述第一电压感测装置11及所述第二电压感测装置12下方的两相邻第一金属导线22/24的至少其中之一与所述多个第二金属导线21/24间具有至少短路。
33.如图1、图3或图5所示的所述方法，其中所述检测设备1还包括可移动的横梁13，其中所述第一电压感测装置11与所述第二电压感测装置12设置于所述横梁13上，藉由所述横梁13的移动以检测所述玻璃基板2，所述第一电压感测装置11与所述第二电压感测装置12实质平行于各所述第一金属导线22/24，以侦测各所述第一金属导线22/24是否因所述至少短路而产生一电流并因而使所述第一电压感测装置11或所述第二电压感测装置12分别感测到所述第一电压信号或所述第二电压信号。
34.如图1、图3或图5所示的方法，其中当所述第一两电压信号之差不为零时，则所述两相邻第一金属导线22/24的至少其中之一与所述多个第二金属导线21/24的至少其中之一间具有所述至少短路。而当所述第一电压感测装置11及所述第二电压感测装置12所分别感测到的所述第一电压信号与所述第二电压信号间的所述第一两电压信号之差不为零时，则如图2、图4或图6所示，所述方法还包括下列步骤：自各所述第一金属导线22/24(在图2与图4中为数据线22，在图6中为共源极线24)的一端供应第二电压，且使各所述第一金属导线22/24的另一端接地；使所述第一电压感测装置11与所述第二电压感测装置12彼此实质平行地沿竖直于所述多个第二金属导线(在图2与图6中为闸极线21，在图4中为共源极线24)21/24的方向移动；以及当所述第一电压感测装置11及所述第二电压感测装置12所分别感测到的第三电压信号与第四电压信号间的第二两电压信号之差不为零时，判断分别位于所述第一电压感测装置11及所述第二电压感测装置12下方的两相邻第二金属导线21/24的至少其中之一与所述多个第一金属导线22/24间具有所述至少短路。
35.如第一至图7b所示的所述方法，其中所述第一电压感测装置11与所述第二电压感测装置12设置于所述玻璃基板2上方，且所述第一电压感测装置11与所述第二电压感测装置12与所述玻璃基板2间具有间距d(见图7a与图7b)。在图1、图3或图5中，当所述第一电压感测装置11与所述第二电压感测装置12分别位于第n+1个与第n个第一金属导线22/24上方，且所述第一两电压信号之差等于所述第n+1个第一金属导线22/24的所述第一电压信号的值减去所述第n个第一金属导线22/24的所述第二电压信号的值，且为正值，而当所述第一与所述第二电压感测装置分别移动至第n+2个与所述第n+1个第一金属导线22/24上方，且所述第一两电压信号之差等于所述第n+2个第一金属导线22/24的所述第一电压信号的
值减去所述第n+1个第一金属导线22/24的所述第二电压信号的值，且为负值，其中n为正整数时，则判断所述第n+1个第一金属导线22/24具有所述至少短路。
36.如图2、图4或图6所示的所述方法，其中当所述第一电压感测装置11与所述第二电压感测装置12分别位于第m个与第m+1个第二金属导线21/24上方，且所述第二两电压信号之差等于所述第m+1个第二金属导线21/24的所述第四电压信号的值减去所述第m个第二金属导线21/24的所述第三电压信号的值，且为正值，而当所述第一电压感测装置11与所述第二电压感测装置12分别移动至所述第m+1个与第m+2个第二金属导线21/24上方，且所述第二两电压信号之差等于所述第m+2个第二金属导线21/24的所述第四电压信号的值减去所述第m+1个第二金属导线21/24的所述第三电压信号的值，且为负值，其中m为正整数时，则判断所述第m+1个第二金属导线21/24具有所述至少短路，而所述第一与所述第二电压是由外部电源23(见图1至图6)所提供。
37.如图2、图4或图6所示，本案提供一种使用具有第一电压感测装置11与第二电压感测装置12的检测设备1以检测具有多个第一金属导线22/24与多个第二金属导线21/24的玻璃基板2的方法。所述方法包括：自各所述第一金属导线22/24的一端供应第一电压，且使各所述第一金属导线22/24的另一端接地；使所述第一电压感测装置11与所述第二电压感测装置12彼此实质平行地沿竖直于所述多个第二金属导线21/24的方向移动；以及当所述第一电压感测装置11及所述第二电压感测装置12所分别感测到的第一电压信号与第二电压信号间第一两电压信号之差不为零时，判断分别位于所述第一电压感测装置11及所述第二电压感测装置12下方的两相邻第二金属导线21/24的至少其中之一与所述多个第一金属导线22/24间具有至少短路。
38.如图2、图4或图6所示的所述方法，其中当所述第一两电压信号之差不为零时，则所述两相邻第二金属导线21/24至少其中之一与所述多个第一金属导线22/24的至少其中之一间具有所述至少短路。而当所述第一电压感测装置11及所述第二电压感测装置12所分别感测到的所述第一电压信号与所述第二电压信号间的所述第一两电压信号之差不为零时，则如图1、图3或图5所示，所述方法还包括下列步骤：自各所述第二金属导线21/24的一端供应第二电压，且使各所述第二金属导线21/24另一端接地；使所述第一电压感测装置11与所述第二电压感测装置12彼此实质平行地沿竖直于所述多个第一金属导线22/24的一方向移动；以及当所述第一电压感测装置11及所述第二电压感测装置12所分别感测到的第三电压信号与第四电压信号间的第二两电压信号之差不为零时，判断分别位于所述第一电压感测装置11及所述第二电压感测装置12下方的两相邻第一金属导线22/24的至少其中之一具有所述至少短路。
39.如图1至图6所示，本案公开一种使用第一电压感测装置11与第二电压感测装置12以检测具有多个第一金属导线22/24与多个第二金属导线21/24的玻璃基板2的方法。所述方法包括：自各所述第二金属导线21/24或各所述第一金属导线22/24的一端供应第一电压；使所述第一电压感测装置11与所述第二电压感测装置12相平行，且沿竖直于未供电的所述多个第一金属导线22/24或未供电的所述多个第二金属导线21/24的一方向移动；以及当所述第一电压感测装置11及所述第二电压感测装置12所分别感测到的第一电压信号与第二电压信号之差不为零时，判断分别位于所述第一电压感测装置11及所述第二电压感测装置12下方的两相邻第一金属导线22/24或两相邻第二金属导线21/24的至少其中之一和
与所述两相邻第一金属导线22/24或所述两相邻第二金属导线21/24相交的所述多个第二金属导线21/24至少其中之一或所述多个第一金属导线22/24至少其中之一之间具有至少短路。
40.如图1至图6所示的所述方法，还包括提供检测设备1，其中所述检测设备1包括所述第一电压感测装置11及所述第二电压感测装置12与可移动的横梁13。所述第一电压感测装置11及所述第二电压感测装置12设置于所述横梁13上，且藉由所述横梁13的移动以检测所述玻璃基板2。
41.如图2、图4或图6所示，本案提供一种使用第一电压感测装置11与第二电压感测装置12以检测具有多个第一金属导线22/24与多个第二金属导线21/24的玻璃基板2的方法。所述方法包括：自各所述第一金属导线22/24的一端供应第一电压；使所述第一电压感测装置11与所述第二电压感测装置12相平行且沿竖直于所述多个第二金属导线21/24的方向移动；以及当所述第一电压感测装置11及所述第二电压感测装置12所分别感测到的第一电压信号与第二电压信号之差不为零时，判断位于所述第一电压感测装置11及所述第二电压感测装置12下方的两相邻第二金属导线21/24的至少其中之一与所述多个第一金属导线22/24间具有至少短路。
42.综上所述，本发明提供一种用于检测具有多个第一金属导线与多个第二金属导线的玻璃基板的第一金属导线与第二金属导线间短路的方法，所述方法当供电所述多个第一金属导线时，使用第一与一第二电压感测装置分别依序感测两相邻第二金属导线上二感应电压信号的一第一差值，当所述第一差值不为零时，所述两相邻第二金属导线的至少其中之一与所述多个第一金属导线间具有至少短路，以及当供电所述多个第二金属导线时，使用所述第一与所述第二电压感测装置分别依序感测两相邻第一金属导线上二感应电压信号的第二差值，当所述第二差值不为零时，所述两相邻第一金属导线的至少其中之一与所述多个第二金属导线间具有至少短路，以提升玻璃基板上第一金属导线与第二金属导线间短路的检出率，故其确实具有新颖性与进步性。
43.是以，纵使本案已由上述的实施例所详细叙述而可由熟悉本技艺的人士任施匠思而为诸般修饰，然皆不脱如附权利要求书所欲保护者。
44.符号说明
45.1：检测设备
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11：第一电压感测装置
46.12：第二电压感测装置
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13：横梁
47.2：玻璃基板
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21：闸极线/第二金属导线
48.22：数据线/第一金属导线
49.23：外部电源
50.24：共源极线/第一金属导线/第二金属导线
51.aa’：线段
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d：间距