太赫兹波生成元件、太赫兹波检测元件和太赫兹时域分光设备的制作方法

文档序号:15215315发布日期:2018-08-21 16:47阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种太赫兹波生成元件,其特征在于,包括:

波导,所述波导包括电光晶体;

光耦合构件,所述光耦合构件将作为光传播通过所述波导的结果而从所述电光晶体生成的太赫兹波提取到空间;和

保偏光纤,连接到所述波导并且将来自光源的光引导到所述波导,

其中,太赫兹波生成元件是切伦科夫相位匹配类型的,并且

其中,所述波导具有在第一方向上和在第二方向上限制光的波导结构,第一方向垂直于光的传播方向,并且第一方向是所述波导和所述光耦合构件层叠的方向,第二方向垂直于所述传播方向和第一方向,其中,在第二方向上,所述波导的宽度小于所述光耦合构件的宽度,

其中,所述波导包括用作用于所述光的芯层的高折射率层和用作用于所述光的覆层的低折射率层,

其中,所述低折射率层设置在所述高折射率层与所述光耦合构件之间,

其中,满足a<d<λeq/10,其中,d表示所述低折射率层的厚度,a表示使得所述低折射率层与所述光耦合构件之间的界面处的光强度等于所述芯层中的光的光强度的1/e2的厚度,e是自然对数的底数,λeq表示相对于与被提取到空间的太赫兹波的最大频率对应的波长的所述低折射率层中的等效波长,并且

其中所述光和所述太赫兹波是脉冲。

2.根据权利要求1所述的太赫兹波生成元件,

其中,所述波导包括用作用于所述光的芯层的高折射率层和用作用于所述光的覆层的低折射率层,并且

其中,所述高折射率层的厚度小于或等于与被提取到空间的太赫兹波的最大频率对应的所述电光晶体中的等效波长的长度的一半。

3.一种太赫兹时域分光设备,其特征在于,包括:

生成器,所述生成器生成太赫兹波;

检测器,所述检测器检测从所述生成器生成的太赫兹波;和

延迟单元,所述延迟单元调整所述生成器生成太赫兹波的时刻与所述检测器检测到太赫兹波的时刻之间的延迟时间,

其中,所述生成器包括根据权利要求1所述的太赫兹波生成元件。

4.根据权利要求3所述的太赫兹时域分光设备,

其中,所述检测器检测从所述生成器生成并且在样品处被反射的太赫兹波,并且

其中,所述太赫兹时域分光设备用作通过对所述检测器的检测结果进行分析来获取所述样品的内部结构的图像的断层成像设备。

5.根据权利要求4所述的太赫兹时域分光设备,

其中,来自所述太赫兹波生成元件的波导的终止端的光用作用于检测器的探测光,并且

其中,所述延迟单元调整光到达所述太赫兹波生成元件的波导的时间与探测光到达所述检测器的时间之间的延迟时间。

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