偏振器边缘肋调整的制造方法与工艺

本申请一般涉及偏振器。

背景技术：
偏振器例如线栅偏振器例如典型地具有位于基板上的长薄肋。肋以及肋之间的间隔可以比入射光的波长短得多。例如，对于可见光偏振器，肋宽度以及肋之间的间隔可以是大约70纳米。但是，肋的长度可以非常长，例如几毫米或几厘米。因此，这些偏振器可以具有长的窄通道。流体可以由于毛细管作用而容易地渗到这些通道中。这样的流体实质上降低了偏振器的性能。这样的流体的典型来源是来自人的手。在处理时，人手上的天然油脂会渗到偏振器通道中，导致降低的偏振器性能。这样的流体的另一来源是沿支持器边缘的凝结或在存储时的凝结。该凝结也会导致降低的偏振器性能。允许偏振器的处理、夹钳或存储但不会有油、水或其他流体渗到偏振器通道的问题，这将是有益的。

技术实现要素：
已经认识到，提供可以被容易地处理、存储、夹持等的偏振器，油、水或其他流体渗到偏振器通道的风险较小，这将是有利的。在一个实施例中，本发明涉及一种能满足提升处理能力的需求的偏振器。该偏振器包括基板，其具有由边缘界定的第一表面，在基板的第一表面的一部分之上放置的平行、延长的肋的阵列，其包括标准区域和肋调整区域。标准区域可以包括具有标准特性的肋。标准区别被配置为偏振入射光。肋调整区域可以沿着基板的边缘的至少一段被放置在边缘和标准区域的至少一部分之间。肋调整区域可以包括调整的肋，其从标准特性被调整以具有不同的特性。在另一实施例中，本发明涉及一种制造偏振器的方法，该偏振器满足提升处理能力的需求。该方法包含提供偏振器，该偏振器包括在基板表面的大部分之上放置的平行、延长的肋的阵列，以及沿着基板边缘的至少一段来调整该肋。附图说明图1是根据本发明实施例的偏振器的示意性顶视图，包括标准区域12和肋调整区域11a；图2是根据本发明实施例的偏振器的示意性顶视图，包括标准区域12和肋调整区域11b-c；图3是根据本发明实施例的偏振器的示意性顶视图，包括标准区域12和肋调整区域11d；图4是根据本发明实施例的偏振器的示意性顶视图，包括标准区域12和肋调整区域11e-f；图5是根据本发明实施例的偏振器的示意性横截面侧视图，包括标准区域12和肋调整区域11；图6是根据本发明实施例的偏振器的示意性横截面侧视图，包括标准区域12和肋调整区域11；图7是根据本发明实施例的偏振器的示意性横截面侧视图，包括标准区域12和肋调整区域11；图8是根据本发明实施例的偏振器的示意性横截面侧视图，包括标准区域12、肋调整区域11以及过渡区域84；图9是根据本发明实施例的偏振器的示意性横截面侧视图，该偏振器包括标准区域12，其具有的肋包括基板肋93、金属布线92和分段介电肋94；以及肋调整区域11，其具有的肋包括基板肋93、金属布线91和分段介电肋94；图10是根据本发明实施例的偏振器的示意性横截面侧视图，该偏振器包括标准区域12，其具有的肋包括基板肋93、金属布线92和分段介电肋94，以及肋调整区域11，其具有的肋包括基板肋93、金属布线101和分段介电肋94；图11是根据本发明实施例的偏振器的示意性横截面侧视图，该偏振器包括标准区域12，其具有的肋包括基板肋93和金属布线92，以及肋调整区域11，其具有的肋包括基板肋93和金属布线101；图12是根据本发明实施例的偏振器的示意性横截面侧视图，该偏振器包括标准区域12，其具有的肋包括基板肋93和金属布线92，以及肋调整区域11，其具有的肋包括基板肋93，该基板肋93具有的顶部121和侧面122基本上没有其他肋材料；图13是根据本发明实施例的偏振器的示意性横截面侧视图，该偏振器包括标准区域12，其具有的肋包括基板肋93和介电肋94，以及肋调整区域11，其具有的肋包括基板肋93，该基板肋93具有的顶部121和侧面122基本上没有其他肋材料；图14是根据本发明实施例的偏振器的示意性横截面侧视图，该偏振器包括标准区域12，其具有的肋包括基板肋93、金属布线92和介电肋94，以及肋调整区域11，其具有的肋包括基板肋93，该基板肋93具有的顶部121和侧面122基本上没有其他肋材料；图15是根据本发明实施例的偏振器的示意性横截面侧视图，该偏振器包括标准区域12，其具有的肋具有基本上矩形的横截面轮廓，以及肋调整区域11，其具有的肋具有不规则的横截面轮廓；图16是根据本发明实施例的偏振器的示意性横截面侧视图，该偏振器包括标准区域12，以及肋调整区域11，其中，熔合的肋附着到邻近的肋并从基板分离；图17是根据本发明实施例的偏振器的示意性横截面侧视图，该偏振器包括标准区域12，以及肋调整区域11，其中，材料171被放置在肋173之间；图18是根据本发明实施例的偏振器的示意性横截面侧视图，该偏振器包括标准区域12，以及肋调整区域11，其中，材料被放置在肋173之间以及在肋181的顶上；图19是根据本发明实施例的偏振器的示意性横截面侧视图，显示在标准区域前面的肋调整区域；图20是根据本发明实施例的在调整肋之前的偏振器的示意性横截面侧视图；图21是根据本发明实施例的偏振器的示意性横截面侧视图，包括标准区域12以及无肋区域211，其中，肋的整个肋结构已经在整个无肋区域211中被烧蚀。具体实施方式定义如这里所使用，术语“肋调整区域”是指偏振器上肋被调整的区域，例如通过将邻近的的肋熔合到一起、减少肋的高度、增加肋的宽度、改变肋的形状、烧蚀肋的一部分或在肋之间放置材料，从而“肋调整区域”中的肋基本上不同于标准区域中的肋。如这里所使用，术语“无肋区域”是指偏振器上肋基本被移除的区域。如这里所使用，术语“基本上”是指作用、特征、特性、状态、结构、条目或结果的完全或几乎完全的程度。例如，“基本上”被围绕的物体将表示该物体被完全围绕或几乎被完全围绕。与绝对完全性的确切允许程度的偏离在某些情形下依赖于特定的上下文。但是，一般来说，接近完全将具有与达到绝对和整个完全时一样的总体结果。在负面含义中使用以表示完全或接近完全缺少作用、特征、特性、状态、结构、条目或结果时，“基本上”的使用同样可用。现在将参考图中示出的示例性实施例，且特定的语言在这里将被用于描述该示例性实施例。但是可以理解由此不限制本发明的范围。对在此描述的发明性特点的改变和进一步修改，以及在此描述的本发明原理的额外应用（其可被本领域并具有本公开文本的技术人员意识到），被认为在本发明的范围内。如图1-19所示，偏振器被示为包含具有由边缘13界定的第一表面54基板53、被放置在基板53的第一表面54的一部分上的平行、延长的肋51的阵列，包括中心的标准区域12和肋调整区域11。标准区域12可以包括肋51a-e，其具有标准特性且可被配置为使入射光偏振。标准区域中的肋51a-e可以覆盖基板的第一表面54的大部分。标准区域12可以是单个未划分的区域。肋调整区域11可沿着基板53的边缘13的至少一段被放置在边缘13和标准区域12的至少一部分之间。肋调整区域11可包括调整的肋51g-r，该肋从标准特性调整为具有不同的特性。由于肋调整区域11的不同特性，肋调整区域的毛细管作用基本上可比标准区域12的毛细管作用更少。例如，肋调整区域11中的肋51g-r可以比标准区域12中的肋51a-e更圆、更宽或更短。肋调整区域11中的肋51g-r可被熔合在一起、部分移除、或形成不规则的形状。肋调整区域11中的肋51g-r可以包括在肋之间放置的材料。这些调整将导致减少的毛细管作用。如图1所示，偏振器10的边缘13可包括围绕偏振器10的周边的四段13a-d。每一段可以是边缘13在边缘两个拐角之间的基本直线的部分。肋调整区域11a可以沿着整个边缘13延伸，或沿着偏振器10的整个周边延伸。在另一实施例中，肋调整区域11可以仅沿着边缘13的一部分延伸，例如边缘13的20%到60%之间。在另一实施例中，肋调整区域可以将标准区域12从基板的边缘13的至少50%处分离。肋调整区域11可以沿着边缘的单个段延伸或沿着边缘的多段延伸。如图2所示，偏振器20的肋调整区域11可以包括沿着偏振器20的相对侧上的边缘13的两个不同段13a和13c延伸。两段13a和13c可以和标准区域中的肋阵列垂直。肋调整区域11可以在和边缘基本垂直的方向上从边缘13向内延伸，在一个实施例中延伸距离De至少是1微米，在另一实施例中距离De至少是10微米，在另一实施例中距离De至少是100微米，在另一实施例中距离De至少为1毫米，或在另一实施例中距离De至少为5毫米。在另一实施例中，肋调整区域可以在和边缘基本垂直的方向上从边缘向内延伸1微米到1毫米的距离De。距离De的长度可依赖于偏振器处理和所需的有用偏振面积。注意到尽管图2中示出了该距离De，其中具有沿着偏振器20的对侧上的边缘13的两个不同段13a和13c延伸的两个肋调整区域11b-c，该距离De以及上面关于该距离的讨论可被用于这里描述的任意实施例。例如，如果如图1所示肋调整区域围绕着偏振器10的边缘13一直延伸，或者如果如图3-4所示肋调整区域仅沿着边缘的段的部分延伸，该距离De可适用。如图3所示，偏振器30的肋调整区域11可以沿着边缘13的段13e的一部分延伸，其中，该段被定义为边缘13在该边缘的拐角之间的基本直线的部分。在一个实施例中肋调整区域11可以沿着该段的至少50%延伸在另一实施例中沿着该段的至少70%延伸在另一实施例中沿着该段的至少90%延伸或者在另一实施例中在该段的50%和90%之间延伸如图4所示，偏振器40的肋调整区域11e-f可以沿着边缘13的多段来部分延伸。如图1-4所示，标准区域12可以基本上比基板53的第一表面54的肋调整区域11覆盖更多。在一个实施例中，标准区域12的覆盖是基板53的第一表面54的肋调整区域11的覆盖的至少10倍，或在另一实施例中是基板53的第一表面54的肋调整区域11的覆盖的至少100倍。如图1-4所示，肋调整区域11和标准区域12一起基本上可以覆盖基板53的所有第一表面54。或者，另一区域在基板53的第一表面54的部分之上存在。如图5中的偏振器50所示，不同的特性可以包括肋高度。肋调整区域11中的肋51g可以包括基本上比标准区域12中的肋51a更短的肋（h1<h2）。在一个实施例中肋调...