耦合器和应用该耦合器的光波导芯片的制作方法

文档序号:11825794阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种耦合器,所述耦合器用于第一光波导和第二光波导的连接,其特征在于,包括实体区域和第一波导光栅;

所述实体区域的第一端与第一光波导耦合;

所述实体区域的第二端与所述第一波导光栅的第二端耦合;

所述第一波导光栅的第一端与第二光波导耦合;

其中,所述实体区域的第一端的尺寸与所述第一光波导的端面尺寸匹配,所述实体区域的第二端与所述第一波导光栅的第二端的端面尺寸匹配,所述第一波导光栅的第一端的尺寸与第二光波导的端面尺寸匹配;

所述实体区域的宽度自所述实体区域的第一端向所述实体区域的第二端线性渐变。

2.根据权利要求1所述的耦合器,其特征在于,所述第一波导光栅包括预设数量的光栅周期,每个光栅周期包括一个间隙区和一个有芯区,所述第一波导光栅上各个光栅周期中有芯区的长度与间隙区的长度之比自所述第一波导光栅的第一端向所述第一波导光栅的第二端线性渐变。

3.根据权利要求2所述的耦合器,其特征在于,所述间隙区为均匀光介质,所述有芯区包括芯层和包围在所述芯层外围的包层。

4.根据权利要求2所述的耦合器,其特征在于,所述第一波导光栅上各个光栅周期中有芯区的长度与间隙区的长度之比自所述第一波导光栅的第一端向所述第一波导光栅的第二端线性增大。

5.根据权利要求2所述的耦合器,其特征在于,所述第一波导光栅上各个光栅周期的长度相等。

6.根据权利要求1所述的耦合器,其特征在于,所述耦合器还包括:第二波导光栅,所述第二波导光栅设置于所述第一波导光栅的第一端与第二光波导之间;

其中,所述第二波导光栅上各个光栅周期的长度相等且各个光栅周期中有芯区的长度与间隙区的长度之比相等。

7.根据权利要求6所述的耦合器,其特征在于,所述第二波导光栅的长度大于或等于光栅研磨工艺精度的最大误差范围。

8.根据权利要求1~7任一项所述的耦合器,其特征在于,所述实体区域的宽度自所述实体区域的第一端向所述实体区域的第二端方向线性减小。

9.根据权利要求1~7任一项所述的耦合器,其特征在于,所述耦合器各处的厚度与所述光波导的厚度相等。

10.根据权利要求1所述的耦合器,其特征在于,所述第一波导光栅为布拉格光栅。

11.一种光波导芯片,其特征在于,包括耦合器、和与所述耦合器耦合的第一光波导,所述耦合器为权利要求1-10任一项所述的耦合器。

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