技术特征：
技术总结
本发明公开了一种镜片的调整装置及调整方法，该调整装置包括第一镜座，第一镜座的上表面设有倾斜角度；第二镜座，第一镜座设于第二镜座上；倾斜调整模块，设于第二镜座和第一镜座之间，包括至少一个中部设有通孔的垫圈，垫圈的上表面和下表面均设有倾斜角度，垫圈相对第一镜座沿圆周旋转；空气间隔调整模块，包括设于第二镜座下表面的若干凸台和设于倾斜调整模块上表面且位置与所述凸台对应的若干阶梯，第二镜座相对倾斜调整模块旋转；偏心调整模块，设于第一镜座或第二镜座上，带动第一镜座或第二镜座水平移动。本发明实现了镜组的在线调整，降低了多次拆装镜组带来的装配风险，提高了生产效率。
技术研发人员：章富平
受保护的技术使用者：上海微电子装备（集团）股份有限公司
技术研发日：2016.03.30
技术公布日：2017.10.24