技术总结
为了解决目前在大口径薄膜衍射元件制备工艺中存在的技术难题，本发明提供了一种具有高衍射效率的大口径薄膜衍射元件的制作方法，包括5个步骤：步骤1为多台阶浮雕结构石英基底制作，步骤2为聚合物溶液的涂覆，步骤3为聚合物溶液的固化成膜，步骤4为薄膜与基底的分离，步骤5为薄膜的拼接。有益的技术效果：本发明具有低成本、重复性高、简单高效的优点。由本方法制备出的元件的衍射效率不低于70％。
技术研发人员：张健;刘正坤;邱克强;徐向东;付绍军
受保护的技术使用者：中国科学技术大学
文档号码：201610688679
技术研发日：2016.08.18
技术公布日：2016.11.23