一种压电致动器及变形镜的制作方法

文档序号:11947607阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种压电致动器,其特征在于,包括:第一驱动晶体、第二驱动晶体、第三驱动晶体、第四驱动晶体和连接层,所述连接层具有相对的第一表面和第二表面,所述第一驱动晶体的一端和所述第二驱动晶体的一端分别连接在所述连接层的第一表面上的不同位置;所述第三驱动晶体的一端和所述第四驱动晶体的一端分别连接在所述连接层的第二表面上的不同位置;所述第一驱动晶体和所述第二驱动晶体能够驱动连接层发生第一方向倾斜;所述第三驱动晶体和第四驱动晶体在未连接连接层的一端形成驱动面,所述驱动面能够被所述第三驱动晶体和第四驱动晶体驱动发生第二方向倾斜,所述第一方向和所述第二方向为不同方向。

2.根据权利要求1所述的压电致动器,其特征在于,还包括第一承载层,所述第一驱动晶体的未与连接层连接的一端与所述第一承载层连接,所述第二驱动晶体未与连接层连接的一端与所述第一承载层连接。

3.根据权利要求2所述的压电致动器,其特征在于,还包括第二承载层,所述第三驱动晶体的未与连接层连接的一端与所述第二承载层连接,所述第四驱动晶体的未与连接层连接的一端与所述第二承载层连接。

4.根据权利要求1所述的压电致动器,其特征在于,所述第一驱动晶体、所述第二驱动晶体、所述第三驱动晶体和所述第四驱动晶体均为方形片状结构。

5.根据权利要求4所述的压电致动器,其特征在于,所述第一驱动晶体和所述第二驱动晶体与所述连接层连接的边相互平行,所述第三驱动晶体和所述第四驱动晶体与所述连接层连接的边相互平行。

6.根据权利要求4所述的压电致动器,其特征在于,所述第一驱动晶体和所述第二驱动晶体与所述连接层的连接位置,与所述第三驱动晶体和所述第四驱动晶体与所述连接层的连接位置在所述连接层的第一表面和第二表面的任一面上的投影相互正交。

7.根据权利要求4所述的压电致动器,其特征在于,所述连接层的第一表面开设有两条条形凹槽,所述连接层的第二表面开设有两条条形凹槽;所述第一驱动晶体的与所述连接层连接的一端、所述第二驱动晶体的与所述连接层连接的一端、所述第三驱动晶体的与所述连接层连接的一端和所述第四驱动晶体的与所述连接层连接的一端均固定在不同的条形凹槽内,每条所述凹槽不相交。

8.根据权利要求1所述的压电致动器,其特征在于,所述第一驱动晶体、所述第二驱动晶体、所述第三驱动晶体和所述第四驱动晶体的单晶组分包括:铌锌酸铅-钛酸铅、铌镁酸铅-钛酸铅、铌铟酸铅-铌镁酸铅-钛酸铅和铌镁酸铅-锆钛酸铅中的至少一种。

9.根据权利要求1所述的压电致动器,其特征在于,所述第一驱动晶体、所述第二驱动晶体、所述第三驱动晶体和所述第四驱动晶体的横向模式均为d32模式。

10.一种变形镜,其特征在于,包括多个镜体和多个权利要求1-9中任一项所述的压电致动器,每个所述镜体分别位于所述连接层的同一侧,每个所述镜体分别设置在每个所述压电致动器的所述第一驱动晶体和所述第二驱动晶体的未与连接层连接的一端;或每个所述镜体分别设置在每个所述压电致动器的所述第三驱动晶体和所述第四驱动晶体的未与连接层连接的一端。

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