一种小型结构光显微照明系统的制作方法

文档序号:12062127阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种小型结构光显微照明系统,包括:激光光源、准直物镜、扩束透镜组、1/4λ片、PBS、LCOS、管透镜、物镜以及载物台,其特征在于,在所述物镜的入瞳面上设有MASK,所述MASK用于过滤不同级次的光;

所述激光光源通过所述准直物镜准直后经过所述1/4λ片进行光线偏振方向的调整,再经过所述扩束透镜组扩束后,通过所述PBS将光打入所述LCOS上,之后通过所述管透镜实现与所述物镜入瞳面孔径的匹配,激光打入到所述物镜入瞳面的所述MASK上,通过所述物镜将结构光照明在所述载物台的样品面上,实现结构光的照明。

2.根据权利要求1所述的小型结构光显微照明系统,其特征在于,所述激光光源由激光器发出。

3.根据权利要求2述的小型结构光显微照明系统,其特征在于,所述激光器通过光纤将光进行导入至所述准直物镜。

4.根据权利要求1-3任一项所述的小型结构光显微照明系统,其特征在于,在所述MASK上设有多个用于过滤不同级次光的孔位。

5.根据权利要求4所述的小型结构光显微照明系统,其特征在于,多个所述孔位以所述物镜入瞳面的中心为圆心沿其圆周方向均匀分布。

6.根据权利要求5所述的小型结构光显微照明系统,其特征在于,所述孔位的个数为偶数个。

7.根据权利要求6所述的小型结构光显微照明系统,其特征在于,所述扩束透镜组包括平行设置的第一透镜和第二透镜。

8.根据权利要求7所述的小型结构光显微照明系统,其特征在于,所述准直物镜、所述扩束透镜组、所述1/4λ片、所述PBS、所述LCOS、所述管透镜以及所述物镜设置于壳体内。

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