一种光刻机用硅片盛放盒的制作方法

本实用新型涉及一种硅片盛放盒，尤其涉及用于光刻机上使用方便硅片自动取片的硅片盛放盒。

背景技术：

在集成电路芯片的生产过程中，芯片的设计图形在硅片表面光刻胶上的曝光转印(光刻)是其中最重要的工序之一，该工序所用的设备称为光刻机(曝光机)。光刻机是集成电路加工过程中最关键的设备。而光刻机对硅片进行表面光刻时，需要将硅片从硅片盛放盒中逐片取出，而且还需要将已经光刻的硅片逐片插入到硅片盛放盒的对应的插槽中，且硅片与插槽的位置是唯一对应的，例如，由下而上依次为第一个插槽、第二个插槽……第N个插槽，第一个插槽内的硅片定义为第一片硅片，第二个插槽中的硅片定义为第二片硅片，第N个插槽内的硅片定义为第N片硅片，以第二片硅片为例，第二片硅片被取出光刻完成后只能插入到第二个插槽中，不能插入到其他任意一个插槽内，这样方便硅片盛放盒的整理，方便把控质量。而目前的硅片盛放盒包括盒体，盒体的前侧面设置有开口，所述盒体上设置有可容纳硅片的容纳腔，容纳腔内设置有插槽，硅片由上而下逐片平行插入到插槽内。在光刻工作时将硅片盛放盒直接放置在一个升降座上，取片座水平移动插入到插槽内取片，硅片盛放盒与升降座之间并未有任何的限位结构限位，虽然取片座在正常的取片过程中并不会与硅片盛放盒有任何接触，但是一旦取片座取片出错或者插片出错时，就会通过硅片作用于硅片盛放盒，使其发生偏移，而硅片盛放盒偏移就会造成取片和插片不准。另外，目前对于硅片盛放盒的插槽与取片座之间的位置确定只是通过驱动升降座升降的伺服升降电机来实现，并且在升降座上设置了位置检测开关来检测升降座的位置，进而得出硅片盛放盒的位置，然这种检测方式无法直接得出硅片盛放盒的位置，并且也无法直接得出硅片盛放盒内是否有硅片，特别是一对一的硅片插入过程中出错的几率会更高。

另外，硅片盛放盒在运输过程中需要叠置，二目前的硅片盛放盒的叠置时容易硅片与硅片盛放盒分离，这样就极大的影响了硅片的质量。

技术实现要素：

本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种光刻机用硅片盛放盒，该硅片盛放盒，该硅片盛放盒不但可以提高与升降座限位准确性，而且方便对硅片盛放盒内的插槽位置进行检测，提高检测的准确度。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：一种光刻机用硅片盛放盒，包括盒体，所述盒体上设置有可容纳硅片的容纳腔，盒体的前侧面设置了开口，所述容纳腔的左腔壁和右腔壁上均等间距设置有若干个平行设置的支撑导轨，相邻支撑导轨之间的间距构成了方便硅片插入的插槽，左腔壁上的插槽和右腔壁上的插槽在水平位置上一一对应，所述盒体的后面设置有背板，所述背板上设置有与容纳腔连通的通孔，所述通孔的上下高度范围大于盒体内所有插槽的总高度，所述通孔的左右宽度小于插槽的左右宽度，所述盒体的底板设置有方便对盒体进行限位的限位结构。

作为一种优选的方案，所述限位结构包括设置于盒体底板且向上凹陷的三个凹槽，所述三个凹槽分布于等腰三角形的三个顶点上，其中一个凹槽为矩形凹槽，另两个凹槽的形状均为L形且相对于等腰三角形的顶角角平分线对称设置。

作为一种优选的方案，所述盒体的顶板内侧与左腔壁之间、顶板内侧与右腔壁之间均设置有加强筋，所述加强筋与所述盒体的顶板的夹角在15°-30°之间。

作为一种优选的方案，每根支撑导轨的前侧端部设置成扩口弧形。

作为一种优选的方案，所述左腔壁和/或右腔壁的前侧面设置有若干个与插槽一一对应的序号标签。

作为一种优选的方案，所述左腔壁的前侧面上部和下部设置有插销或插孔，对应的，所述右腔壁的前侧面上部和下部设置有与插槽水平位置对应的插孔或插销。

作为一种优选的方案，所述盒体的左腔壁的前侧面和右腔壁的前侧面平齐，所述底板前侧面和顶板的前侧面平齐，所述底板的前后长度小于左腔壁的前后长度。

采用了上述技术方案后，本实用新型的效果是：由于所述盒体的后面设置有背板，所述背板上设置有与容纳腔连通的通孔，所述通孔的上下高度范围大于盒体内所有插槽的总高度，所述通孔的左右宽度小于插槽的左右宽度，因此，该通孔在不妨碍硅片插片的前提下，可方便在硅片盛放盒的前后方向上设置对射式的检测传感器，利用两个不同高度的对射式传感器即可检测硅片盛放盒内是否有硅片，也可精准的检测与取片座水平位置对应的插槽位置，通孔方便信对射检测传感器信号的通过，二所述盒体的底板设置有方便对盒体进行限位的限位结构，利用盒体的底板上的限位结构进一步对盒体进行限位，避免盒体相对升降座发生偏移。

又由于所述限位结构包括设置于盒体底板且向上凹陷的三个凹槽，所述三个凹槽分布于等腰三角形的三个顶点上，其中一个凹槽为矩形凹槽，另两个凹槽的形状均为L形且相对于等腰三角形的顶角角平分线对称设置，该限位结构简单，只需要与升降座上的对应位置设置限位凸起即可方便安装，而且安装后可避免硅片盛放盒偏移。

又由于所述盒体的顶板内侧与左腔壁之间、顶板内侧与右腔壁之间均设置有加强筋，所述加强筋与所述盒体的顶板的夹角在15°-30°之间，该加强筋可以提高硅片盛放盒的顶板强度，支撑导轨提高了左腔壁、右腔壁的强度，底板上的凹槽提高了底板的强度，这样整个硅片盛放盒的强度均提高，使用寿命更长。

又由于每根支撑导轨的前侧端部设置成扩口弧形，该扩口弧形可方便硅片的放入，起到一定的导向作用。

又由于所述左腔壁和/或右腔壁的前侧面设置有若干个与插槽一一对应的序号标签，该序号标签包含的序号与插槽的需要一一对应，因此只需要在硅片盛放盒的外部设置一个用于检测序号标签的检测头即可进一步准确检测与取片座位置对应的插槽的位置。

又由于所述左腔壁的前侧面上部和下部设置有插销或插孔，对应的，所述右腔壁的前侧面上部和下部设置有与插槽水平位置对应的插孔或插销，因此，在叠置时，只需要将两个硅片盛放盒的正面对扣，使硅片盛放盒的插销插入到另一个硅片盛放盒上的插孔中，从而完成硅片盛放盒的两两对插固定，避免硅片从硅片盛放盒中掉出。

又由于所述盒体的左腔壁的前侧面和右腔壁的前侧面平齐，所述底板前侧面和顶板的前侧面平齐，所述底板的前后长度小于左腔壁的前后长度，这样，在对盒体内进行取片和插片时，工作人员会看到硅片的状态，更加直观的监控取片和插片动作。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型实施例的前视图；

图2是图1的俯视图；

图3是图1的仰视图；

图4是本实用新型实施例的硅片盛放盒的放置示意图；

附图中：1.盒体；2.容纳腔；3.左腔壁；4.右腔壁；5.支撑导轨；6.插槽；7.插销；8.插孔；9.凹槽；10.通孔；11.加强筋；12.顶板；13.底板；14.序号标签；15.支撑导轨的前侧端部；16.取片座；17.硅片；18.上对射式传感器的发射端；19.下对射式传感器的发射端；20.上对射式传感器的接收端；21.下对射式传感器的接收端。22.背板。

具体实施方式

下面通过具体实施例对本实用新型作进一步的详细描述。

如图1至图4所示，一种光刻机用硅片盛放盒，包括盒体1，盒体1包括顶板12、背板22、左侧板、右侧板和底板13构成，所述盒体1上设置有可容纳硅片17的容纳腔2，盒体1的前侧面设置了开口，左侧板和右侧板分别也构成了容纳腔2的左腔壁3和右腔壁4，所述盒体1的左腔壁3的前侧面和右腔壁4的前侧面平齐，所述底板13前侧面和顶板12的前侧面平齐，所述底板13的前后长度小于左腔壁3的前后长度。这样当硅片17放入到容纳腔2内，硅片17的前侧部会露出，这样方便观察盒体1的硅片17状态。

所述容纳腔2的左腔壁3和右腔壁4上均等间距设置有若干个平行设置的支撑导轨5，相邻支撑导轨5之间的间距构成了方便硅片17插入的插槽6，左腔壁3上的插槽6和右腔壁4上的插槽6在水平位置上一一对应，所述盒体1的后面设置有背板22，所述背板22上设置有与容纳腔2连通的通孔10，所述通孔10的上下高度范围大于盒体1内所有插槽6的总高度，所述通孔10的左右宽度小于插槽6的左右宽度，这样硅片17插入到插槽6后不会从通孔10中滑出，所述盒体1的底板13设置有方便对盒体1进行限位的限位结构。

如图3所示，所述限位结构包括设置于盒体1底板13且向上凹陷的三个凹槽9，所述三个凹槽9分布于等腰三角形的三个顶点上，其中一个凹槽9为矩形凹槽9，另两个凹槽9的形状均为L形且相对于等腰三角形的顶角角平分线对称设置。

所述盒体1的顶板12内侧与左腔壁3之间、顶板12内侧与右腔壁4之间均设置有加强筋11，所述加强筋11与所述盒体1的顶板12的夹角在15°-30°之间。加强筋11、顶板12和左右侧板之间构成了近似三角形结构，这样提高了盒体1顶板12的强度，顶板12并非平板结构，顶板12上设置有向下凹陷的凹坑，进一步提高强度。

如图2和图3所示，每根支撑导轨5的前侧端部15设置成扩口弧形。该扩口弧形可以增大插槽6前段的开口宽度，从而方便硅片17的插入。

所述左腔壁3和/或右腔壁4的前侧面设置有若干个与插槽6一一对应的序号标签14。本实施例中，该序号标签14可以为多个间隔的序号标签14，该序号标签14可以采用激光检测，序号标签14内包含插槽6的序号，从而进一步的方便检测与取片座16的水平对应的插槽6的位置。

所述左腔壁3的前侧面上部和下部设置有插销7或插孔8，对应的，所述右腔壁4的前侧面上部和下部设置有与插槽6水平位置对应的插孔8或插销7。那么在叠置时，将两个硅片盛放盒对扣，其中一个硅片盛放盒的插销7插入另一个硅片盛放盒的插槽6内，这样就实现了前侧面的对扣封闭，方便运输和存储。

如图4所示，将硅片盛放盒放置在升降座上，该硅片盛放盒的前侧面的开口朝向取片座16，在硅片盛放盒的背面设置有上对射式传感器的发射端18和下对射式传感器的发射端19，在取片座16的另一侧设置有上对射式传感器的接收端20和下对射式传感器的接收端21，这样上对射式传感器的发射端18发出的信号会穿过通孔10而被上对射式传感器的接收端20接收，那么当该插槽6有硅片17时，硅片17会阻挡信号造成接收端信号断开，通过对射式传感器和下对射式传感器相互配合即可精确的得出该硅片盛放盒内是否有硅片17以及哪一个插槽6与取片座16位置对应。

例如，当硅片盛放盒内由下而上数第四个插槽6和第五个插槽6中无硅片17；而硅片盛放盒中插槽6与取片座16对应位置不明确时，升降座上升使硅片盛放盒处于初始状态，初始状态时第一个插槽6与取片座16对应，然后下降，当下对射式传感器受到到三次遮挡后表明第四个插槽6四与取片座16对应，而同理，当需要确定第五个插槽6与取片座16对应时，升降座继续下降，当上对射式传感器受到一次遮挡，而下对射式传感器的信号未遮挡时，表明第五个插槽6与取片座16位置对应，因此即可判断插槽6的位置。

以上所述实施例仅是对本发明的优选实施方式的描述，不作为对本发明范围的限定，在不脱离本发明设计精神的基础上，对本发明技术方案作出的各种变形和改造，均应落入本发明的权利要求书确定的保护范围内。