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衍射光学元件和光照射装置的制作方法
文档序号:15306421
发布日期:2018-08-31 21:04
阅读:
来源:国知局
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衍射光学元件和光照射装置的制作方法
技术特征:
技术总结
本发明提供一种可获得期望的衍射光且耐久性优异的衍射光学元件。一种衍射光学元件,其是对来自光源的光进行整形的光学元件,具备具有低折射率部和高折射率部的周期结构的衍射层,包括上述周期结构中的高折射率部的高宽比为2以上的部分。
技术研发人员:
宫崎祐一;登山伸人;吉冈英范
受保护的技术使用者:
大日本印刷株式会社
技术研发日:
2016.12.28
技术公布日:
2018.08.31
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