技术总结
本发明涉及压印设备技术领域，尤其涉及一种精密对准式纳米压印设备。其包括压印壳体和压印平台，所述压印壳体的底部边缘至少设有3组伸缩式压力传感器并与所述压印平台的边缘相对应，所述压印平台的底部至少设有三组伺服升降装置，用以驱动压印平台实现上升和下降，压印壳体上的伸缩式压力传感器通过与伺服升降装置之间的协调配合，实现压印壳体与压印平台之间的相对调平工作。本发明采用三个伺服驱动系统垂直移动，三个压电晶体做为垂直微调机构，位移平台作为水平移动机构，以激光位移传感器和机械式位移传感器实时监测工作盘的位置，以显微镜和显示器作为可视机构，能够实时的观察到工作区的工艺进度，在每个动作控制中非常精密。
技术研发人员：冀然
受保护的技术使用者：青岛天仁微纳科技有限责任公司
技术研发日：2017.01.22
技术公布日：2019.08.09