技术总结
本发明旨在提供一种高精密的显微镜样品工作距离检测及保护系统。本发明的装置包括：固定在样品上的环形机械装置，机械环引出四个顶部电极层；固定在物镜上的环形机械装置，机械环引出四个电极层；所述电容检测装置用于对光学系统移动距离的微小测量和操作。通过样品在微纳米量级的移动过程中引起的电容变化，来得到样品距离检测平台如显微物镜的实时工作距离，并在距离过于近的时候发出警示。同时多电容的分布也可用于检测样品是否倾斜，该设计测量精度高、操作简单、成本较低，是一种实用的检测方法及装置。
技术研发人员：张蓓;赵子琦;刘雨;闫鹏
受保护的技术使用者：北京航空航天大学
文档号码：201710164693
技术研发日：2017.03.20
技术公布日：2017.06.30