液晶装置以及电子设备的制作方法

本申请是申请号为201310009142.x、申请日为2013年1月10日、发明名称为“液晶装置以及电子设备”的申请的分案申请。

本发明涉及液晶装置以及电子设备。

背景技术：

作为上述液晶装置，已知例如按每个像素具备晶体管作为对像素电极进行开关控制的元件的有源驱动方式的液晶装置。该液晶装置，用作例如液晶投影机的液晶光阀。

在上述那样的液晶装置中，已知由于在液晶注入时混入的或者从包围液晶层的密封件溶出的离子性杂质，扩散并且/或者凝集于像素区域，导致显示品质劣化。

因此，如专利文献1所记载的那样，公开了通过在像素区域周围设置多个电极、使电极间的电位变化，使杂质离子移动到像素区域的外侧而使显示品质提高的技术。

专利文献1：特开2008－58497号公报

但是，在上述专利文献1中，公开了在像素区域周围设置电极的技术，但是关于与电极连接的端子的配置位置和/或、连接电极与端子的连接布线的布局未作公开。进而，在该连接布线与其他布线俯视相交叉(桥接)的情况下，如果在制造工序中在该布线之间发生静电破坏则容易发生该布线断线和/或短路等不良情况，存在成品率可能会降低这样的问题。

技术实现要素：

本发明的方式是为了解决上述问题的至少一部分而完成的，能够作为以下的方式或应用例来实现。

应用例1

本应用例涉及的液晶装置，其特征在于，具备：具有像素区域的元件基板；与所述元件基板相对地配置的对置基板；使所述元件基板和所述对置基板贴合的密封件；和被所述元件基板和所述对置基板夹持的液晶层，所述元件基板具有：对数据线驱动电路供给信号的多条数据信号供给布线；与所述多条数据信号供给布线的各条电连接的多个第1连接用端子；对扫描线驱动电路供给信号的多条扫描信号供给布线；与所述多条扫描信号供给布线的各条电连接的多个第2连接用端子；在所述像素区域与所述密封件之间配置的像素周边电极；与所述像素周边电极电连接的周边电极用布线；和与所述周边电极用布线电连接的第3连接用端子，所述第3连接用端子在所述多个第1连接用端子与所述多个第2连接用端子之间配置，所述周边电极用布线配置为，不与所述多条数据信号供给布线以及所述多条扫描信号供给布线中的至少一部分布线俯视相交叉。

根据本应用例，在与数据信号供给布线电连接的第1连接用端子和与扫描信号供给布线电连接的第2连接用端子之间，配置与周边电极用布线电连接的第3连接用端子，数据信号供给布线以及扫描信号供给布线与周边电极用布线配置为，俯视不相交叉，所以能够防止在相交叉时产生的布线间的静电破坏。另外，能够对像素周边电极施加适当的电压，能够抑制在像素区域发生显示不均(斑点)。

应用例2

本应用例涉及的液晶装置，其特征在于，具备：具有像素区域的元件基板；与所述元件基板相对地配置的对置基板；使所述元件基板和所述对置基板贴合的密封件；和被所述元件基板和所述对置基板夹持的液晶层，所述元件基板具有：对多条数据线的各条供给信号的多条数据信号供给布线；与所述多条数据信号供给布线的各条电连接的多个第1连接用端子；对扫描线驱动电路供给信号的多条扫描信号供给布线；与所述多条扫描信号供给布线的各条电连接的多个第2连接用端子；在所述像素区域与所述密封件之间配置的像素周边电极；与所述像素周边电极电连接的周边电极用布线；和与所述周边电极用布线电连接的第3连接用端子，所述第3连接用端子在所述多个第1连接用端子与所述多个第2连接用端子之间配置，所述周边电极用布线配置为，不与所述多条数据信号供给布线以及所述多条扫描信号供给布线中的至少一部分的布线俯视相交叉。

根据本应用例，在与数据信号供给布线电连接的第1连接用端子和与扫描信号供给布线电连接的第2连接用端子之间，配置与周边电极用布线电连接的第3连接用端子，数据信号供给布线以及扫描信号供给布线与周边电极用布线配置为俯视不相交叉，所以能够防止在相交叉时发生的布线间的静电破坏。另外，能够对像素周边电极施加适当的电压，能够抑制在像素区域发生显示不均(斑点)。

应用例3

在上述应用例涉及的液晶装置中，优选，所述扫描信号供给布线以及所述数据信号供给布线包括电源布线和脉冲信号布线，所述周边电极用布线配置为，不与所述脉冲信号布线俯视相交叉。

根据本应用例，周边电极用布线配置为至少不与脉冲信号布线俯视相交叉，所以能够抑制从脉冲信号布线对周边电极用布线施加噪声。具体而言，配置为，被供给频率低的信号和/或振幅大的信号的布线和周边电极用布线不相交叉。因此，能够以正常的电压使像素周边电极工作。换言之，难以施加噪声的电源布线和周边电极用布线也可以交叉。其结果，能够抑制在像素区域发生斑点。

应用例4

在上述应用例涉及的液晶装置中，优选，所述周边电极用布线配置为，在所述数据信号供给布线中的至少启动脉冲信号布线与所述扫描信号供给布线之间，不与所述启动脉冲信号布线以及所述扫描信号供给布线俯视重叠。

根据本应用例，周边电极用布线配置为至少不与启动脉冲信号布线俯视重叠，所以能够抑制由于与供给频率低的启动脉冲的布线相交叉而导致噪声影响周边电极用布线的情况。另外，能够应用于内置被供给启动脉冲的数据线驱动电路的液晶装置。

应用例5

在上述应用例涉及的液晶装置中，优选，所述周边电极用布线配置为，在所述数据信号供给布线中的至少选择信号布线与所述扫描信号供给布线之间，不与所述选择信号布线以及所述扫描信号供给布线俯视重叠。

根据本应用例，周边电极用布线配置为至少不与选择信号布线俯视重叠，所以能够抑制由于与频率的振幅的幅度大的选择信号布线相交叉而导致噪声影响周边电极用布线的情况。另外，能够应用于外带数据线驱动电路的液晶装置。

应用例6

在上述应用例涉及的液晶装置中，优选，所述像素周边电极以包围所述像素区域的方式相连配置。

根据本应用例，像素周边电极以包围像素区域的方式相连配置，所以不会影响像素区域内的位置、能够抑制斑点的发生。换言之，至少能够保护像素区域的四角。

应用例7

在上述应用例涉及的液晶装置中，优选，所述像素周边电极与像素电极设置于同层。

根据本应用例，用与由例如ito(indiumtinoxide，铟锡氧化物)制成的像素电极相同的材料来形成像素周边电极，所以能够不新增加制造工序地进行制造。

应用例8

在上述应用例涉及的液晶装置中，优选，所述周边电极用布线在所述像素周边电极的靠近所述像素区域的部分电连接。

根据本应用例，例如，将使用电阻比ito低的铝的周边电极用布线延伸到靠近像素区域的部分，在此与由ito制成的像素周边电极电连接，所以能够以比较低的电阻使周边电极用布线与像素电极连接。

应用例9

本应用例涉及的电子设备，其特征在于，具备上述的液晶装置。

根据本应用例，具备上述记载的液晶装置，所以能够提供能够抑制由静电破坏和/或噪声引起的显示不良、提高显示品质的电子设备。

附图说明

图1是表示第1实施方式的液晶装置的结构的示意俯视图。

图2是沿着图1所示的液晶面板的h-h’线的示意剖视图。

图3是表示液晶装置的电结构的电路图。

图4是表示像素的电结构的等效电路图。

图5是表示像素结构的示意剖视图。

图6是表示无机材料的倾斜蒸镀方向和由于离子性杂质导致的显示不良的关系的概略俯视图。

图7是表示具备像素周边电极涉及的要素的液晶装置的结构的示意俯视图。

图8是表示具备液晶装置的投影型显示装置的结构的概略图。

图9是表示第2实施方式的液晶装置的结构的示意俯视图。

图10是表示第3实施方式的液晶装置的结构的示意俯视图。

图11是放大地表示图10的液晶装置的a部的放大剖视图。

附图标记说明

3a…扫描线、3b…电容线、6a…数据线、6b…第1中继电极、7a…布线、7b…第2中继电极、10…元件基板、10a…第1基材、11…布线层、11a…第1绝缘膜、11b…第2绝缘膜、11c…第3绝缘膜、12…第1层间绝缘膜、13…布线层、13a…第2层间绝缘膜、13b…绝缘膜、14…第3层间绝缘膜、15…像素电极、16…保持电容、16a…第1电容电极、16b…电介质层、16c…第2电容电极、16d…第3中继电极、18…第1取向膜、18a…柱、20…对置基板、20a…第2基材、21…分隔部、22…平坦化层、23…共用电极、24…第2取向膜、30…tft、30a…半导体层、30g…栅电极、31…源电极、32…漏电极、40…密封件、50…液晶层、70…采样电路、71…s-tft、100，200，300…液晶装置、101…数据线驱动电路、102…扫描线驱动电路、103…检查电路、104…作为连接用端子的外部连接用端子、104a…作为第1连接用端子的第1外部连接用端子、104a1…外部连接用端子、104b…作为第2连接用端子的第2外部连接用端子、104b1…外部连接用端子、104c…作为第3连接用端子的第3外部连接用端子、105…布线、106…上下导通部、111…图像信号线、112…连接布线、113…选择信号供给线、114，114a，114c…数据信号供给布线(数据线用布线)114b…选择信号供给布线(选择信号布线)、114c1…第1分支布线、114c2…第2分支布线、121，121a…扫描信号供给布线、131，132…连接布线、133…引绕布线、141…像素周边电极、142…周边电极用布线、1000…投影型显示装置、1100…偏振照明装置、1101…灯单元、1102…积分透镜、1103…偏振转换元件、1104，1105…分色镜、1106，1107，1108…反射镜、1201，1202，1203，1204，1205…中继透镜、1206…十字分色棱镜、1207…投影透镜、1210，1220，1230…液晶光阀、1300…屏幕。

具体实施方式

下面，关于具体化了本发明的实施方式，按照附图进行说明。此外，使用的附图，适当放大或缩小地显示以使要说明的部分成为能够识别的状态。

此外，在下面的方式中，例如在记载为“在基板上”的情况，表示：相接地配置在基板上的情况，或者隔着其他结构物而配置在基板上的情况，或者一部分相接地配置在基板上而一部分隔着其他结构物配置在基板上的情况。

第1实施方式

本实施方式中，举具备薄膜晶体管作为像素的开关元件的有源矩阵型液晶装置为例，进行说明。该液晶装置，能够作为例如后述的投影型显示装置(液晶投影机)的光调制元件(液晶光阀)良好地使用。

液晶装置

首先，关于本实施方式的液晶装置，参照图1～图5进行说明。图1是表示液晶装置的结构的示意俯视图。图2是沿着图1所示的液晶面板的h-h’线的示意剖视图。图3是表示液晶装置的电结构的电路图。图4是表示像素的电结构的等效电路图。图5是表示液晶装置中的像素的结构的示意剖视图。

如图1以及图2所示，本实施方式的液晶装置100具有：相对配置的元件基板10和对置基板20；和由这一对基板夹持的液晶层50。构成元件基板10的第1基材10a以及构成对置基板20的第2基材20a，使用例如玻璃基板、石英基板等透明基板。

元件基板10比对置基板20大，两基板经由沿对置基板20的外周配置的密封件40而接合。在该间隙中封入具有正或负的介电各向异性的液晶而构成液晶层50。密封件40采用例如热固化性或紫外线固化性的环氧树脂等粘接剂。密封件40中混入有用于将一对基板的间隔保持为一定的间隔件(省略图示)。

在密封件40内侧设有排列有多个像素p的像素区域e。另外，在密封件40与像素区域e之间，包围像素区域e而设有分隔部21。分隔部21由例如遮光性金属或遮光性金属氧化物等制成。此外，像素区域e除了有助于显示的多个像素p外，还可以包括包围多个像素p地配置的虚设像素。另外，图1以及图2中省略了图示，但是也可以在对置基板20设置在像素区域e中分别俯视划分多个像素p的遮光部(黑矩阵；bm)。

在沿着元件基板10的第1边的密封件40与该第1边之间，设有数据线驱动电路101。另外，在沿着与该第1边相对的第2边的密封件40与像素区域e之间设有检查电路103。进而，在沿着与该第1边相交叉的第3边和与第3边相对的第4边的密封件40与像素区域e之间，设有扫描线驱动电路102。在沿着第2边的密封件40与检查电路103之间，设有连接2条扫描线驱动电路102的多条布线105。

与这些数据线驱动电路101、扫描线驱动电路102相连的布线，与作为沿着该第1边排列的多个连接用端子的外部连接用端子104连接。以后，将沿着该第1边的方向设为x方向，将沿着第3边的方向作为y方向，进行说明。此外，检查电路103的配置不限定于此，也可以设置在沿着数据线驱动电路101的密封件40与像素区域e之间。

如图2所示，在第1基材10a的液晶层50侧的表面形成有：按每个像素p设置的透光性的像素电极15以及开关元件即薄膜晶体管(thinfilmtransistor，以后称为“tft”)30、信号布线和覆盖它们的第1取向膜18。

另外，采用防止光入射于tft30中的半导体层导致开关工作变得不稳定的遮光结构。本发明的元件基板10至少包括像素电极15、tft30、信号布线和第1取向膜18。

对置基板20的液晶层50侧的表面设有：分隔部21；成膜为覆盖分隔部21的平坦化层22；设置为覆盖平坦化层22的共用电极23；和覆盖共用电极23的第2取向膜24。本发明中的对置基板20至少包括分隔部21、共用电极23和第2取向膜24。

分隔部21如图1所示，设置于包围像素区域e并且俯视与扫描线驱动电路102、检查电路103重叠的位置。由此，遮蔽从对置基板20侧入射包括这些驱动电路的周边电路的光，起到防止周边电路因光而误工作的作用。另外，遮蔽以使不必要的杂散光不会入射像素区域e，确保像素区域e显示的高对比度。

平坦化层22由例如氧化硅等无机材料制成，具有光透射性而设置为覆盖分隔部21。作为这样的平坦化层22的形成方法，可以例举使用等离子cvd法等进行成膜的方法。

共用电极23，例如由ito(indiumtinoxide，氧化铟锡)等透明导电膜制成，覆盖平坦化层22，并且通过如图1所示在对置基板20的四角设置的上下导通部106而电连接于元件基板10侧的布线。

覆盖像素电极15的第1取向膜18以及覆盖共用电极23的第2取向膜24，基于液晶装置100的光学设计而选定。可以例举：通过对例如聚酰亚胺等有机材料进行成膜、对其表面进行摩擦，对具有正的介电各向异性的液晶分子实施大致水平取向处理而得的有机取向膜；和/或用气相生长法对siox(氧化硅)等无机材料进行成膜，相对于具有负的介电各向异性的液晶分子使其大致垂直取向而得的无机取向膜。本实施方式中，作为第1取向膜18以及第2取向膜24采用上述无机取向膜。

这样的液晶装置100为透射型的，采用像素p在非驱动时变为亮显示的常白模式和/或在非驱动时变为暗显示的常黑模式的光学设计。在光的入射侧和反射侧根据光学设计分别配置并使用偏振元件。本实施方式中采用常黑模式。

接下来，参照图3以及图4关于液晶装置100的电结构进行说明。如图3所示，液晶装置100具有在位于第1基材10a上的像素区域e周边的像素周边区域形成的数据线驱动电路101、扫描线驱动电路102、采样电路70等驱动电路、和多个外部连接用端子104。

进而，具有连接于外部连接用端子104的下列布线，即：用于对数据线驱动电路101供给电源(vddx、vssx)和/或驱动用的信号(dx、clx等)的数据信号供给布线114；用于对扫描线驱动电路102供给电源(vddy、vssy)和/或驱动用的信号(dy、cly等)的扫描信号供给布线121；和包括用于将图像信号(vid1～vid6)经由采样电路70供给到数据线6a的多条图像信号线111等的多条选择信号供给布线114b(选择信号布线)。

从外部电路经由外部连接用端子104以及数据信号供给布线114(包括启动脉冲信号布线)对数据线驱动电路101供给x时钟信号clx(以及反相x时钟信号clx)、以及x启动脉冲dx等。数据线驱动电路101，如果被输入x启动脉冲dx，则在基于x时钟信号clx(以及反相x时钟信号clx)的定时，依次生成选择信号s1、s2、…、sn并分别向多条选择信号供给线113输出。

从外部电路经由外部连接用端子104以及扫描信号供给布线121对扫描线驱动电路102供给y时钟信号cly(以及反相y时钟信号cly)、y启动脉冲信号dy等。扫描线驱动电路102，基于这些信号依次生成扫描信号g1、g2、…、gm并分别向多条扫描线3a输出。

采样电路70具备多个由n沟道型的单沟道型tft、或者互补型tft构成的采样晶体管(以后称为s-tft)71。相互相邻的6条数据线6a分别连接的6个s-tft71的栅集中成1个、与1条选择信号供给线113连接。也就是，以6个s-tft71为1个单位(系列)从数据线驱动电路101供给各选择信号s1、s2、…、sn。

在构成1个单位(系列)的6个s-tft71的源，经由连接布线112而连接有6条图像信号线111中的任一条。在s-tft71的漏连接有数据线6a。采样电路70，如果被输入选择信号s1、s2、…、sn，则与选择信号s1、s2、…、sn相对应地对与构成1个单位(系列)的6个s-tft71相对应的数据线6a依次供给图像信号(vid1～vid6)。

液晶装置100中，如前所述，在占据第1基材10a的中央部分的像素区域e，具有排列成矩阵状的多个像素p。

如图4所示，在多个像素p中分别形成有像素电极15、用于对该像素电极15进行开关控制的tft30、和保持电容16。被供给图像信号(vid1～vid6)的数据线6a电连接于该tft30的源。被供给扫描信号g1、g2、…、gm的扫描线3a连接于该tft30的栅。像素电极15和保持电容16的一方的电极连接于tft30的漏。保持电容16的另一方的电极连接于与扫描线3a并行配置的电容线3b。

另外，如图3所示，电容线3b，在x方向上引出直至像素区域e的外侧，电容线3b的两端电连接于在扫描线驱动电路102与像素区域e之间在y方向上延伸的一对连接布线131。一对连接布线131的每条电连接于一对连接布线132，该一对连接布线132电连接在对置基板20的角部设置的4个上下导通部106中的在x方向上相对的上下导通部106彼此。

一对连接布线132彼此经由与上下导通部106电连接的对置基板20的共用电极23而电连接。进而，一对连接布线132中的位于外部连接用端子104侧的连接布线132，连接于与被供给共用电位(lccom)的外部连接用端子104连接的引绕布线133。也就是，对电容线3b施加共用电位(lccom)。

对将6个采样电路70作为1个单位(系列)的s－tft71供给的选择信号s1、s2、…、sn，既可以按该顺序依次供给，也可以对与相邻的6条数据线6a相对应的s－tft71，按每个系列供给。此外，如图3所示，本实施方式中，选择信号s1、s2、···、sn构成为，与按6相进行串行－并行展开后的图像信号(vid1～vid6)的每个相对应地，对6条数据线6a的组按每个小组(group，系列)进行供给。

关于图像信号(vid1～vid6)的相展开数(即，串行－并行展开的图像信号的系列数)，不限于6相，也可以构成为，例如按9相、12相、24相等展开成多相的图像信号对将与该展开数相对应的数作为一组的数据线6a的组供给。

构成为，从扫描线驱动电路102按预定定时以脉冲方式对扫描线3a按该顺序依次施加扫描信号g1、g2、…、gm。如前所述，像素电极15电连接于tft30的漏，通过扫描信号g1、g2、…、gm使tft30仅在一定期间为on状态，从数据线6a供给的图像信号(vid1～vid6)按预定定时被写入像素电极15。

进而，为了防止被保持于各像素p的图像信号(vid1～vid6)泄漏，与在像素电极15与共用电极23之间形成的液晶电容并联地附加有保持电容16。

经由像素电极15而被写入液晶层50(参照图2)的预定电平的图像信号(vid1～vid6)，在与形成于对置基板20的共用电极23之间被保持一定期间。液晶层50的液晶分子的取向和/或秩序因施加的电压电平而变化，从而调制透射液晶层50的光，能够进行灰度显示。

如果是常白模式，与以各像素p为单位所施加的电压相应地对于入射光的透射率减少而变为暗显示，如果是常黑模式，则与以各像素p为单位所施加的电压相应地对于入射光的透射率增加而变为明显示，作为全体从液晶装置100射出具有与图像信号(vid1～vid6)相应的对比度的显示光，进行显示。

此外，图像信号(vid1～vid6)，为了交流驱动液晶层50，而构成为，组合相对于共用电位(lccom)具有正的极性的电位脉冲和具有负的极性的电位脉冲。上述那样的液晶装置100的驱动方式被称为相展开驱动方式。此外，液晶装置100的驱动方式不限定于相展开驱动方式。

如图3所示，在元件基板10中，在连接布线131附近本发明的像素周边电极141包围像素区域e地设置。像素周边电极141，在元件基板10的x方向的端部连接于在y方向上延伸的周边电极用布线142。像素周边电极141，例如与像素电极15设置于同一层。

周边电极用布线142连接于在x方向上排列的多个外部连接用端子104中的、在第1外部连接用端子104a(第1连接用端子)与第2外部连接用端子104b(第2连接用端子)之间配置的第3外部连接用端子104c(第3连接用端子)。关于元件基板10中的像素周边电极141的详细配置，将在后述的实施例中说明。

接着，参照图5，关于液晶装置100的像素p的结构、尤其是元件基板10的详细布线结构和液晶分子的取向状态进行说明。

如图5所示，在第1基材10a上，首先形成扫描线3a。扫描线3a，能够使用包括例如al(铝)、ti(钛)、cr(铬)、w(钨)、ta(钽)、mo(钼)等金属中的至少1种的金属单体、合金、金属硅化物、多晶硅化物、渗氮物、或者层叠它们而成的物质，具有遮光性。

形成例如由氧化硅等制成的第1绝缘膜(基底绝缘膜)11a以覆盖扫描线3a，在第1绝缘膜11a上按岛状形成半导体层30a。半导体层30a例如由多晶硅膜制成，被注入杂质离子，形成具有第1源/漏区域、接合区域、沟道区域、接合区域、第2源/漏区域的ldd结构。

形成第2绝缘膜(栅绝缘膜)11b以覆盖半导体层30a。进而，在夹着第2绝缘膜11b与沟道区域相对的位置形成栅电极30g。

以覆盖栅电极30g和第2绝缘膜11b的方式形成第3绝缘膜11c，在与半导体层30a的各个端部重叠的位置形成贯通第2绝缘膜11b、第3绝缘膜11c的2个接触孔cnt1、cnt2。

接着，使用al(铝)和/或其合金等遮光性的导电部材料成膜为导电膜，以填埋2个接触孔cnt1、cnt2并且覆盖第3绝缘膜11c，通过对该导电膜进行构图，从而形成经由接触孔cnt1与第1源/漏区域相连的源电极31以及数据线6a。同时形成经由接触孔cnt2与第2源/漏区域相连的漏电极32(第1中继电极6b)。

接着，覆盖数据线6a以及第1中继电极6b和第3绝缘膜11c地形成第1层间绝缘膜12。第1层间绝缘膜12，例如由硅的氧化物和/或氮化物制成，实施了将由于覆盖设有tft30的区域而产生的表面的凹凸平坦化的平坦化处理。作为平坦化处理的方法，可以举出例如化学机械研磨处理(chemicalmechanicalpolishing：cmp处理)和/或旋涂处理等。

在与第1中继电极6b重叠的位置形成贯通第1层间绝缘膜12的接触孔cnt3。成膜例如由al(铝)和/或其合金等遮光性的金属制成的导电膜，以覆盖该接触孔cnt3并且覆盖第1层间绝缘膜12，通过对该导电膜进行构图，从而形成布线7a和经由接触孔cnt3而与第1中继电极6b电连接的第2中继电极7b。

布线7a形成为俯视与tft30的半导体层30a和/或数据线6a重叠，被赋予固定电位作为屏蔽层发挥作用。

形成第2层间绝缘膜13a以覆盖布线7a和第2中继电极7b。第2层间绝缘膜13a，也能够使用例如硅的氧化物和/或氮化物或氮氧化物来形成，被实施cmp处理等平坦化处理。

在第2层间绝缘膜13a的与第2中继电极7b重叠的位置形成接触孔cnt4。形成例如由al(铝)和/或其合金等遮光性金属制成的导电膜，以覆盖该接触孔cnt4并且覆盖第2层间绝缘膜13a，通过对该导电膜进行构图，从而形成第1电容电极16a和第3中继电极16d。

构图形成绝缘膜13b，以覆盖第1电容电极16a中的夹着后面形成的电介质层16b与第2电容电极16c相对的部分的外缘。另外，构图形成绝缘膜13b，以覆盖第3中继电极16d中除了与接触孔cnt5重叠的部分外的外缘。

覆盖绝缘膜13b和第1电容电极16a地成膜电介质层16b。作为电介质层16b，可以使用氮化硅膜和/或、氧化铪(hfo2)、三氧化二铝(al2o3)、氧化钽(ta2o5)等单层膜、或者层叠这些单层膜中的至少2种单层膜而成的多层膜。俯视与第3中继电极16d重叠的部分的电介质层16b通过蚀刻等去除。

通过形成例如tin(氮化钛)等的导电膜以覆盖电介质层16b，并对该导电膜进行构图，从而形成与第1电容电极16a相对配置并与第3中继电极16d相连的第2电容电极16c。由电介质层16b、夹着电介质层16b相对配置的第1电容电极16a和第2电容电极16c构成保持电容16。

接着，形成覆盖第2电容电极16c和电介质层16b的第3层间绝缘膜14。第3层间绝缘膜14也是例如由硅的氧化物和/或氮化物制成，被施以cmp处理等平坦化处理。形成贯通第3层间绝缘膜14的接触孔cnt5以到达第2电容电极16c与第3中继电极16d相接的部分。

成膜ito等的透明导电膜(电极膜)，以被覆该接触孔cnt5并覆盖第3层间绝缘膜14。对该透明导电膜(电极膜)进行构图，形成经由接触孔cnt5与第2电容电极16c以及第3中继电极16d电连接的像素电极15。

第2电容电极16c经由第3中继电极16d、接触孔cnt4、第2中继电极7b、接触孔cnt3和第1中继电极6b与tft30的漏电极32电连接，并且经由接触孔cnt5与像素电极15电连接。

第1电容电极16a形成为跨多个像素p，作为等效电路(参照图4)中的电容线3b发挥作用。由此，能够将经由tft30的漏电极32而赋予像素电极15的电位在第1电容电极16a与第2电容电极16c之间保持。

这样在第1基材10a上，形成多个布线层，使用将布线层间绝缘的绝缘膜和/或层间绝缘膜的符号表示布线层。即，统括第1绝缘膜11a、第2绝缘膜11b、第3绝缘膜11c，称为布线层11。布线层11的代表性的布线为栅电极30g。第1层间绝缘膜12的代表性的布线为数据线6a。统括第2层间绝缘膜13a、绝缘膜13b、电介质层16b，称为布线层13，代表性的布线为布线7a。同样地，第3层间绝缘膜14的代表性的布线为第1电容电极16a(电容线3b)。

形成第1取向膜18以覆盖元件基板10的像素电极15，形成第2取向膜24以覆盖隔着液晶层50与元件基板10相对配置的对置基板20的共用电极23。如前所述，取向膜18、24为无机取向膜，且包括将氧化硅等无机材料从预定方向例如倾斜蒸镀而按柱状生长出的柱18a、24a的集合体。相对于这样的取向膜18、24具有负的介电各向异性的液晶分子lc，相对于取向膜面的法线方向，向柱18a、24a的倾斜方向具有3度～5度的预倾角度地大致垂直取向。通过对像素电极15与共用电极23之间赋予交流电位而驱动液晶层50，液晶分子lc运动(振动)为，向在像素电极15与共用电极23之间产生的电场的方向倾斜。

图6是表示无机材料的倾斜蒸镀方向与起因于离子性杂质的显示不良的关系的概略俯视图。

如图6所示，形成柱18a、24a(参照图5)的部位的无机材料的倾斜蒸镀方向，例如在元件基板10侧为，如虚线箭头所示从右上朝向左下按预定方位角度θa与y方向相交叉的方向。在相对于元件基板10相对配置的对置基板20侧，为如实线箭头所示从左下朝向右上按预定方位角度θa与y方向相交叉的方向。预定角度θa例如为45度。此外，图6所示的倾斜蒸镀方向为从对置基板20侧观察液晶装置100时的方向。

通过驱动液晶层50，从而发生液晶分子lc的运动(振动)，在液晶层50与取向膜18、24的界面附近，向图6所示的虚线或实线的箭头所示的倾斜蒸镀方向产生液晶分子lc流(流动)。如果液晶层50中含有正或负的离子性杂质，则离子性杂质有可能会沿着液晶分子lc流(流动)朝向像素区域e的角部感应、偏置。如果由于离子性杂质的偏置而在位于角部的像素p中液晶层50的绝缘电阻减低，则在该像素p中导致驱动电位降低，图6所示那样的显示不均(斑点)和/或通电所致的残像现象变得显著。

本实施方式的液晶装置100，对图3所示的元件基板10的像素周边电极141赋予直流电位，以改善成为导致上述显示不均和/或残像现象的主要原因的正或负的离子性杂质的偏置。

如上所述，元件基板10，具有多个布线层，在密封件40与像素区域e之间的像素周边区域，存在被赋予了预定电位的各种布线。为了使像素周边电极141的功能充分发挥，就需要使其难以受到其它布线的电位的影响，需要使像素周边电极141与其他布线的相对配置适当化。下面，说明本实施方式的元件基板10的布线结构。

图7是表示具有像素周边电极、周边电极用布线以及外部连接用端子的液晶装置的结构的示意俯视图。以下，关于具备像素周边电极涉及的要素的液晶装置的结构，一边参照图7一边说明。

如图7所示，本实施方式的液晶装置100，如上所述，沿着元件基板10的第1边设有数据线驱动电路101。另外，沿着与第1边正交(相交叉)的第3边以及第4边设有扫描线驱动电路102。另外，在第1边与数据线驱动电路101之间设有多个外部连接用端子104。

在像素区域e的周围，包围像素区域e地连续(相连)地设有像素周边电极141。像素周边电极141与在元件基板10的y方向上延伸的周边电极用布线142连接。

如上所述，像素周边电极141设在像素区域e的周围。而且，使周边电极用布线142延伸至像素周边电极141中的离像素区域e尽可能近的部分。具体而言，例如通过使由ito制成的像素周边电极141与由比ito电阻低的铝制成的周边电极用布线142电连接，能够实现低电阻化。

周边电极用布线142与在x方向上排列的多个外部连接用端子104中的第3外部连接用端子104c(ce)电连接。第3外部连接用端子104c(ce)配置于第1外部连接用端子104a之一即被施加基准电位(vssx)的外部连接用端子104a1与第2外部连接用端子104b之一即被施加基准电位(vssy)的外部连接用端子104b1之间。

对外部连接用端子104a1以及外部连接用端子104b1，施加低电位的电源电位、例如0v(gnd)。此外，对被施加驱动电位(vddx)的外部连接用端子104a2、以及被施加驱动电位(vddy)的外部连接用端子104b2施加高电位的电源电位、例如15.5v。对电容线3b和/或对置基板20的共用电极23施加的共用电位(lccom)，为低电位的电源电位与高电位的电源电位之间的电位、例如6v。

具体而言，被施加基准电位(vssx)的外部连接用端子104a1，经由数据信号供给布线114之一即数据信号供给布线114a与数据线驱动电路101电连接。另外，被施加基准电位(vssy)的外部连接用端子104b1，经由扫描信号供给布线121之一即扫描信号供给布线121a与扫描线驱动电路102电连接。

周边电极用布线142配置为，与相邻的数据信号供给布线114a以及扫描信号供给布线121a俯视不交叉。换言之，周边电极用布线142配置为，与和外部连接用端子104相连的多条数据信号供给布线114(包括114a、114b)和/或、多条扫描信号供给布线121(包括121a)俯视不交叉。

这样，与像素周边电极141连接的周边电极用布线142，连接于在外部连接用端子104a1与外部连接用端子104b1之间配置的第3外部连接用端子104c，以与连接于被施加基准电位(vssx)的外部连接用端子104a1的数据信号供给布线114a和/或、连接于被施加基准电位(vssy)的外部连接用端子104b1的扫描信号供给布线121a俯视不交叉，所以能够抑制在俯视布线彼此交叉的区域发生的静电破坏。

另外，与细脉冲信号相比长脉冲信号，容易使相交叉的布线的电位变化，作为噪声，不优选。具体而言，与被供给到数据信号供给布线114的信号相比被供给到扫描信号供给布线121的信号的周期长，作为噪声，不优选，所以不想对周边电极用布线142施加与扫描线驱动电路102相连的扫描信号供给布线121的噪声的影响。另外，长脉冲信号与短脉冲信号相比，电压变动的不均容易显著显现。因此，优选，使周边电极用布线142与扫描信号供给布线121俯视不交叉。另外，在数据信号供给布线114之中，优选，使供给信号周期长的启动脉冲(dx)的布线与周边电极用布线142不交叉。

因此，周边电极用布线142优选，配置为，至少在被供给启动脉冲的数据信号供给布线114b(脉冲信号布线)与扫描信号供给布线121之间，不与这些布线114b、121交叉。

电子设备

接着，关于作为本实施方式的电子设备的投影型显示装置，参照图8进行说明。图8是表示具备上述的液晶装置的投影型显示装置的结构的概略图。

如图8所示，作为本实施方式的电子设备的投影型显示装置1000具备：沿系统光轴l配置的偏振照明装置1100；作为光分离元件的2个分色镜1104、1105；3个反射镜1106、1107、1108；5个中继透镜1201、1202、1203、1204、1205；3个作为光调制单元的透射型液晶光阀1210、1220、1230；作为光合成元件的十字分色棱镜1206；和投影透镜1207。

偏振照明装置1100概略包括下述单元构成：包括超高压水银灯和/或卤素灯等白色光源的作为光源的灯单元1101；积分透镜1102；和偏振转换元件1103。

分色镜1104使从偏振照明装置1100射出的偏振光束中的红色光(r)反射、使绿色光(g)和蓝色光(b)透过。另1个分色镜1105使透过了分色镜1104的绿色光(g)反射、使蓝色光(b)透过。

在分色镜1104反射了的红色光(r)在反射镜1106反射后经由中继透镜1205而入射于液晶光阀1210。在分色镜1105反射了的绿色光(g)经由中继透镜1204而入射于液晶光阀1220。透过了分色镜1105的蓝色光(b)，经由包括3个中继透镜1201、1202、1203和2个反射镜1107、1108的导光系统而入射于液晶光阀1230。

液晶光阀1210、1220、1230，相对于十字分色棱镜1206的每种色光的入射面分别相对配置。入射于液晶光阀1210、1220、1230的色光，基于影像信息(影像信号)被调制、朝向十字分色棱镜1206被射出。

该棱镜中，4个直角棱镜相贴合，在其内面按十字状形成有反射红色光的电介质多层膜和反射蓝色光的电介质多层膜。通过这些电介质多层膜合成3种色光，合成表现彩色图像的光。合成了的光，由投影光学系统即投影透镜1207投影到屏幕1300上，放大显示图像。

液晶光阀1210适用上述的液晶装置100。液晶装置100，在色光的入射侧和射出侧按正交尼科尔方式配置的一对偏振元件之间设有间隙地配置。其他液晶光阀1220、1230也同样。

根据这样的投影型显示装置1000，作为液晶光阀1210、1220、1230，采用降低了起因于离子性杂质的显示不均和/或残像现象等的液晶装置100，故实现了外观良好的显示品质和高可靠性。

如上所详述的那样，根据第1实施方式的液晶装置100以及电子设备，得到下面所示的效果。

(1)根据第1实施方式的液晶装置100，在与数据信号供给布线114电连接的第1外部连接用端子104a和与扫描信号供给布线121电连接的第2外部连接用端子104b之间，配置有与周边电极用布线142电连接的第3外部连接用端子104c，所以能够防止数据信号供给布线114以及扫描信号供给布线121与周边电极用布线142俯视相交叉，能够防止在交叉时产生的布线间的静电破坏。另外，通过对像素周边电极141施加适当的电压，能够抑制在像素区域e发生斑点。

(2)根据第1实施方式的液晶装置100，周边电极用布线142配置为至少不与脉冲信号布线(特别是启动脉冲信号布线)交叉，所以能抑制对周边电极用布线142施加噪声的情况。具体而言，配置为，被供给容易施加噪声的频率低的信号和/或振幅大的信号的布线(启动脉冲信号布线)与周边电极用布线142不交叉。因此，能够以适当的电压使像素周边电极141工作。

(3)根据第1实施方式的液晶装置100，像素周边电极141以包围像素区域e的方式相连配置，所以能够与像素区域e内的位置无关地抑制产生的斑点。换言之，至少能够保护像素区域e的四个角避免产生斑点。

(4)根据第1实施方式的液晶装置100，例如，用与由ito构成的像素电极15相同的材料形成像素周边电极141，所以能够不新增制造工序地进行制造。

(5)根据第1实施方式的液晶装置100，将用了电阻比ito低的铝的周边电极用布线142延伸至接近像素区域e的部分，在那里与由ito构成的像素周边电极141电连接，所以能够以比较低的电阻使周边电极用布线142和像素周边电极141连接。

(6)根据本实施方式的电子设备，具备上面记载的液晶装置100，所以能够提供能够抑制起因于静电破坏和/或噪声的显示不良、提高显示品质的电子设备。

第2实施方式

液晶装置

图9是表示第2实施方式的液晶装置的结构的示意俯视图。以下，关于第2实施方式的液晶装置的结构，一边参照图9一边说明。

第2实施方式的液晶装置200，与上述的第1实施方式的液晶装置100相比，没有内置数据线驱动电路101(例如，对与外部连接用端子连接的柔性布线基板外附数据线驱动电路101)的部分不同，关于其他结构大致相同。因此，在第2实施方式中，关于与第1实施方式不同的部分详细说明，关于其他重复部分适当地省略说明。

如图9所示，第2实施方式的液晶装置200中，沿元件基板10的第1边设有多个外部连接用端子104。另外，沿与第1边相交叉且相互相对的第3边以及第4边设有扫描线驱动电路102。

在像素区域e的周围，与第1实施方式同样地，以包围像素区域e的方式设有像素周边电极141。像素周边电极141连接于在元件基板10的y方向上延伸的周边电极用布线142。

周边电极用布线142，电连接于在x方向上排列的多个外部连接用端子中的第3外部连接用端子104c，该第3外部连接用端子104c配置于第1外部连接用端子104a的一部分即选择信号外部连接用端子104a3与第2外部连接用端子104b的一部分即外部连接用端子104b1之间。

选择信号外部连接用端子104a3经由数据线用布线114之一即选择信号供给布线114b而电连接于图像信号线111。此外，本实施方式中，将第1实施方式中说明了的“数据信号供给布线114”作为“数据线用布线114”进行说明。外部连接用端子104b1经由扫描信号供给布线121a与扫描线驱动电路102电连接。

周边电极用布线142配置为，与相邻的选择信号供给布线114b以及扫描信号供给布线121a俯视不交叉。换言之，周边电极用布线142配置为，相对于与外部连接用端子104相连的多条选择信号供给布线114b和/或、多条扫描信号供给布线121俯视不交叉。

这样，连接于像素周边电极141的周边电极用布线142，以与连接于选择信号外部连接用端子104a3的选择信号供给布线114b和/或连接于外部连接用端子104b1的扫描信号供给布线121a俯视不交叉的方式，连接于在选择信号外部连接用端子104a3与外部连接用端子104b1之间配置的第3外部连接用端子104c，所以能够抑制在俯视布线彼此交叉的情况下发生的静电破坏发生。

换言之，周边电极用布线142，优选，配置为，在数据线用布线114中的至少选择信号供给布线114b与扫描信号供给布线121之间，不与这些布线114b、121俯视重叠。

如以上详述的那样，根据第2实施方式的液晶装置200，除了上述记载的(1)～(6)的效果外，还得到下面所示的效果。

(7)根据第2实施方式的液晶装置200，在数据线驱动电路101外附于在外部连接用端子上连接的柔性基板的液晶装置200中也能够适用上述结构。

(8)根据第2实施方式的液晶装置200，周边电极用布线142配置为至少与选择信号供给布线114b俯视不重叠，所以能够抑制与频率的振幅的幅度大的选择信号供给布线114b相交叉导致噪声施加于周边电极用布线142的情况。

第3实施方式

液晶装置

图10是表示第3实施方式的液晶装置的结构的示意俯视图。图11是放大表示图10的液晶装置的a部的放大剖视图。下面，关于第3实施方式的液晶装置的结构，一边参照图10以及图11一边说明。

第3实施方式的液晶装置300，与上述第1实施方式的液晶装置100相比，从1个电源分配并使用数据线驱动电路101和扫描线驱动电路102的部分不同，关于其他结构大致相同。因此，在第3实施方式中，关于与第1实施方式不同的部分详细说明，关于其他重复的部分适当省略说明。

如图10所示，第3实施方式的液晶装置300，与第1实施方式同样地，具有在第1基材10a上的位于像素区域e的周边的周边区域形成的、数据线驱动电路101、扫描线驱动电路102和多个外部连接用端子104。

在像素区域e的周围，与第1实施方式同样地，以包围像素区域e的方式设有像素周边电极141。像素周边电极141连接于在元件基板10的y方向上延伸的周边电极用布线142。

周边电极用布线142，与第1实施方式同样地与在x方向上排列的多个外部连接用端子104中的第3外部连接用端子104c电连接，该第3外部连接用端子104c配置于第1外部连接用端子104a之一即外部连接用端子104a1与第2外部连接用端子104b之一即外部连接用端子104b1之间。

具体而言，外部连接用端子104a1，经由数据信号供给布线114之一即数据信号供给布线114a与数据线驱动电路101电连接。另外，外部连接用端子104b1经由扫描信号供给布线121之一即扫描信号供给布线121a与扫描线驱动电路102电连接。

周边电极用布线142配置为，与相邻的数据信号供给布线114a以及扫描信号供给布线121a俯视不交叉。换言之，周边电极用布线142配置为，与和外部连接用端子104相连的多条数据信号供给布线114和/或多条扫描信号供给布线121俯视不交叉。

另外，与被施加驱动电位(vddx)的外部连接用端子104a2连接的数据信号供给布线114c，分配给数据线驱动电路101以及扫描线驱动电路102这2者，所分配的一方的第1分支布线114c1与数据线驱动电路101连接，另一方的第2分支布线114c2与扫描线驱动电路102连接。

此时，如图10所示，第2分支布线114c2配置为，与数据信号供给布线114a、周边电极用布线142和扫描信号供给布线121a俯视相交叉。具体而言，如图11所示，第2分支布线114c2配置为隔着绝缘膜跨这些布线(成为桥状)，以不与数据信号供给布线114a、周边电极用布线142、扫描信号供给布线121a电连接。

数据信号供给布线114a、周边电极用布线142以及扫描信号供给布线121a，例如与数据线6a同层设置。另外，第2分支布线114c2，例如与数据线6a以及布线7a同层设置。

具体而言，数据信号供给布线114a、扫描信号供给布线121a以及数据信号供给布线114c，以数据线6a以及布线7a这2层金属布线形成。周边电极用布线142，由与数据线6a同层的金属布线形成。

数据信号供给布线114c，在与数据信号供给布线114a、周边电极用布线142以及扫描信号供给布线121a等的交叉部，使用与布线7a同层的金属布线。也就是，在交叉部，数据信号供给布线114a、扫描信号供给布线121a以及数据信号供给布线114c使用单层的金属布线。另外，数据信号供给布线114c形成为，在交叉部，布线宽度粗。

这样，连接于像素周边电极141的周边电极用布线142配置为与电源布线之一即第2分支布线114c2俯视相交叉，但是配置为不与选择信号供给布线114b俯视交叉，所以能够抑制噪声施加于周边电极用布线142的情况。

具体而言，被供给启动脉冲(dx：参照图3)那样的频率低的信号和/或振幅大的信号的布线与周边电极用布线142配置为，俯视不交叉。因此，能够以正常的电压使像素周边电极141工作。换言之，噪声难以施加的电源布线与周边电极用布线142也可以交叉。其结果，能够抑制在像素区域e发生斑点。

如以上详述地，根据第3实施方式的液晶装置300，除了上述记载的(1)～(6)的效果外，还得到下面所示的效果。

(9)根据第3实施方式的液晶装置300，数据信号供给布线114c和周边电极用布线142俯视交叉地配置，但是因为与选择信号供给布线114b相比，噪声难以施加于周边电极用布线142，所以通过从数据信号供给布线114c分支成第1分支布线114c1和第2分支布线114c2，从而能够利用1个电源驱动数据线驱动电路101和扫描线驱动电路102。具体而言，周边电极用布线142配置为至少与选择信号供给布线114b俯视不重叠，所以能够抑制与频率的振幅的幅度大的选择信号供给布线114b交叉导致噪声施加于周边电极用布线142的情况。

(10)根据第3实施方式的液晶装置300，与周边电极用布线142电连接的第3外部连接用端子104c配置于第1外部连接用端子104a和第2外部连接用端子104b之间，所以与以往相比较能够减少与周边电极用布线142俯视交叉的布线的数量。因此，能够将发生布线间的静电破坏的风险抑制到最小限度。

此外，本发明的方式不限于上述的实施方式，能够在不违背从技术方案以及说明书整体获取的发明的主旨或思想的范围内适当变更，该变更仍包含在本发明的方式的技术范围内。另外，还能够按下面这样的方式实施。

变形例1

如上所述，像素周边电极141不限定于以包围像素区域e的方式连续(相连)设置的情况，例如，也可以设为一部分中途断开这样的配置。具体而言，因为是单轴取向的液晶装置100，所以也可以至少沿着沿单轴方向的对角方向设置像素周边电极。

变形例2

在上述的液晶装置100之外，也可以应用于例如有机el装置、电子纸等。

变形例3

如上所述，作为电子设备以投影型显示装置1000为例进行了说明，但是不限定于此，也可以应用于例如阅读器、取景器、头戴式显示器等。另外，也可以应用于液晶电视机、便携电话机、电子记事本、文字处理器、取景器型或监视器直视型的磁带录像机、工作站、便携型的个人计算机、电视电话机、pos终端、寻呼机、电子计算器、接触面板等各种电子设备，还有电子纸等电泳装置、车辆导航装置等。