防黏板结构的制作方法

本发明涉及一种防黏板结构，特别是一种应用于电路板曝光装置的防黏板结构。

背景技术：

现有的曝光装置，在待曝光件完成曝光后，容易因为各种原因，而使得待曝光件贴附于曝光装置上，如此将导致后续作业的困难。缘此，本发明人经潜心研究并配合理论的运用，而提出一种设计合理且有效改进上述问题的本发明。

技术实现要素：

本发明的主要目的在于提供一种应用于曝光装置的防黏板结构，用于改进现有技术中，待曝光件在完成曝光后，容易贴附于抵压组件上，而造成后续作业困难的问题。

为了实现上述目的，本发明提供一种防黏板结构，其应用于一曝光装置，所述防黏板结构用于对一待曝光件进行曝光作业，防黏板结构包含：一抵压组件、一曝光光源及至少一个吹气模块。抵压组件包含有一透光板体，抵压组件能受一控制模块的控制而选择性地向一承载件靠近或远离，承载件用于承载待曝光件。曝光光源设置于抵压组件，且曝光光源所产生的光束能穿过透光板体。至少一个吹气模块能受控制模块的控制而选择性地吹气。其中，当待曝光件贴附于抵压组件时，控制模块能控制吹气模块吹气，以使待曝光件与抵压组件相互分离。

优选地，所述防黏板结构还包含有至少一个顶针组件，该顶针组件包含有一顶针件，所述顶针件能受所述控制模块的控制而选择性地凸出于所述透光板体，以抵顶贴附于所述抵压组件的所述待曝光件。

优选地，所述抵压组件包含有一光罩，所述光罩能拆卸地设置于所述透光板体，所述光罩具有至少一个避让孔，所述顶针组件能通过所述控制模块能选择性地穿过所述避让孔而凸出于所述透光板体及所述光罩，以抵顶贴附于所述光罩的所述待曝光件，而使所述待曝光件与所述光罩相互分离。

优选地，所述透光板体具有一穿孔，所述穿孔设置成贯穿所述透光板体，所述吹气模块的一出气孔与所述穿孔相互连通；其中，所述顶针组件及所述吹气模块能受控制而同时作动或先后作动，以使所述待曝光件与所述光罩相互分离。

优选地，所述吹气模块的一侧吹气孔位于所述透光板体的一侧，当所述吹气模块受所述控制模块控制时，所述吹气模块能由所述透光板体的一侧向所述透光板体的表面吹出气体；其中，所述顶针组件及所述吹气模块能受所述控制模块的控制而同时作动或先后作动，以使所述待曝光件与所述抵压组件相互分离。

优选地，所述防黏板结构包含有至少两个所述顶针件及两个所述侧吹气孔，两个所述侧吹气孔位于两个所述顶针件之间。

优选地，所述吹气模块包含有一固定结构，所述固定结构固定设置于所述透光板体的一侧，所述固定结构内形成有一气体通道，所述气体通道能导引气体向所述透光板体的表面流动。

优选地，所述透光板体具有一穿孔，所述穿孔设置成贯穿所述透光板体，所述防黏板结构包含有至少两个所述吹气模块，至少一个所述吹气模块定义为一纵向吹气模块，至少一个所述吹气模块定义为一横向吹气模块，所述纵向吹气模块的一出气孔与所述穿孔相互连通，所述横向吹气模块包含有所述固定结构。

优选地，所述透光板体具有一穿孔，所述穿孔设置成贯穿所述透光板体，所述吹气模块的一出气孔与所述穿孔相互连通。

优选地，所述抵压组件包含有一光罩，所述光罩能拆卸地设置于所述透光板体，所述光罩具有至少一个避让孔，所述避让孔、所述穿孔及所述出气孔彼此相互连通；其中，所述吹气模块能受所述控制模块的控制而选择性地通过所述出气孔排出气体，以使贴附所述光罩的所述待曝光件与所述光罩彼此分离。

本发明的有益效果可以在于：通过所述吹气模块与所述抵压组件的配合，可以有效降低待曝光件在完成曝光作业后，贴附于抵压组件上的机率，以降低因为待曝光件贴附于抵压组件上而造成后续作业上困难的问题。

为使能更进一步了解本发明的特征及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本发明加以限制。

附图说明

图1为本发明的防黏板结构的示意图。

图2为本发明的防黏板结构的抵压组件的示意图。

图3a为本发明的防黏板结构沿图1所示的剖面线ⅲ切割后的剖视图。

图3b为图3a所标示的a位置的放大示意图。

图4为图3a的前视图。

图5为本发明的防黏板结构的局部剖面示意图。

图6为图2所框部分的放大示意图。

具体实施方式

以下通过特定的具体实例说明本发明的防黏板结构的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所披露的内容轻易地了解本发明之其他优点与功效。本发明亦可通过其他不同的具体实例加以施行或应用，本说明书中的各项细节亦可基于不同观点与应用，在不悖离本发明之精神下进行各种修饰与变更。又本发明的图式仅为简单说明，并非依实际尺寸描绘，亦即未反应出相关构成的实际尺寸，先予叙明。以下之实施方式进一步详细说明本发明之观点，但并非以任何观点限制本发明的范围。

请一并参阅图1及图2，其为本发明的防黏板结构的示意图。如图所示，防黏板结构1包含有一抵压组件10、一承载件20、一曝光光源30及多个吹气模块40。承载件20用于承载一待曝光件(图未示)。抵压组件10电性连接一控制模块(图未示，例如微处理器、计算机等)，而抵压组件10能受控制模块控制，以选择性地靠近或远离承载件20；抵压组件10包含有一透光板体11，所述透光板体11能与一光罩m相互固定；抵压组件10设置有曝光光源30，而曝光光源30所发出的曝光光束能穿透透光板体11，以向承载件20方向照射。具体来说，控制模块可以在承载件20设置有待曝光件，且抵压组件10固定设置有光罩m时，控制抵压组件10向承载件20靠近，以使光罩m对应抵压于待曝光件上，而后控制模块将可再控制曝光光源30作动，以对待曝光件进行曝光作业。在本实施例中，以曝光光源30设置于抵压组件10为例，但不以此为限，在不同的应用中，曝光光源30也可以设置于承载件20或同时设置于抵压组件10及承载件20，对此不加以限制；相对地，承载件20也可以设置有所述透光板体11。

如图2所示，抵压组件10可以包含有两种型态的吹气模块40，其中一种吹气模块40定义为一横向吹气模块40a，另一种吹气模块则定义为一纵向吹气模块40b。横向吹气模块40a的吹气方向大致沿于透光板体11的表面，而纵向吹气模块40b的吹气方向则大致沿垂直于透光板体11的表面的方向(即透光板体11的法线向量)吹送。横向吹气模块40a及纵向吹气模块40b皆电性连接控制模块，而控制模块能控制纵向吹气模块40b及横向吹气模块40a选择性地吹气。在实际应用中，抵压组件10可以仅设置有横向吹气模块40a或纵向吹气模块40b，或者抵压组件10可以同时设置有横向吹气模块40a及纵向吹气模块40b，可依据需求加以变化，对此不加以限制。

进一步来说，请一并参阅图2、图3a、图3b及图4，图3a显示为图1剖面线ⅲ的剖面示意图，图3b则显示图3a所标示的a位置的放大示意图，图4显示为图3b的前视图。如图所示，抵压组件10可以设置有两个横向吹气模块40a，各个横向吹气模块40a可以包含有一固定结构41，所述固定结构41固定设置于透光板体11的一侧，固定结构41内形成有一气体通道411，且固定结构41于面向透光板体11的一侧，形成有多个侧吹气孔412，而气体通道411及多个侧吹气孔412能导引气体向透光板体11的表面流动。

在实际应用中，当光罩m固定设置于透光板体11时，气体通道411及侧吹气孔412能导引气体向光罩m的表面流动；亦即，在光罩m设置于抵压组件10的实施例中，固定于抵压组件10的横向吹气模块40a，其所包含的多个侧吹气孔412与透光板体11的表面存在有预定的距离(例如依据光罩m的厚度进行设计)，而各个侧吹气孔412并非紧贴于透光板体11设置。

具体来说，当设置有光罩m的抵压组件10受控制模块控制而抵压于承载件20以对设置于承载件20的待曝光件进行曝光作业后，控制模块在控制抵压组件10与承载件20相互分离时，待曝光件可能会因为各种因素(例如待曝光件与光罩m之间形成的静电力)而吸附于抵压组件10的光罩m上，此时，控制模块即可控制横向吹气模块40a对待曝光件进行吹气，以使待曝光件与光罩m彼此相互分离。在实际应用中，控制模块可以在控制抵压组件10与承载件20相互分离时，同时控制横向吹气模块40a进行作动，以使待曝光件与光罩m相互分离；控制模块也可以先控制抵压组件10与承载件20先分离一预定距离，并控制横向吹气模块40a进行吹气作业，而后在待曝光件不再贴附于光罩m时(例如可以通过相关的传感器，对抵压组件10的透光板体11进行检测)，控制模块再控制抵压组件10与承载件20分离至原始设定的距离。

值得一提的是，本实施例以两个横向吹气模块40a对应设置于透光板体11彼此相对的两个侧边，而两个横向吹气模块40a的多个侧吹气孔412则彼此相面对地设置为例，但不以此为限，在其他实施例中，抵压组件10可以仅设置有单一个横向吹气模块40a、三个以上的横向吹气模块40a，或者可以不设置有横向吹气模块40a，而仅设置有纵向吹气模块(后文详述)。在不同的应用中，各固定结构41可以可拆卸地固定设置于抵压组件10，而相关生产厂商或者使用者，则可依据需求选择性地于透光板体11的周边设置所述横向吹气模块40a。

如图4所示，抵压组件10还可以设置有多个纵向吹气模块40b，各纵向吹气模块40b的出气孔(图未标示)则对应位于的透光板体11的表面，亦即，透光板体11及光罩m分别具有多个穿孔111及多个避让孔m1，这些穿孔111及这些避让孔m1则与纵向吹气模块40b的多个出气孔相互连通，借此，纵向吹气模块40b受控制而产生的气体，能向远离光罩m的方向吹出，从而使贴附于光罩m上的待曝光件能与光罩m相互分离。与前述横向吹气模块40a相似地，控制模块可以在控制抵压组件10与承载件20相互分离的同时，控制纵向吹气模块40b作动，以使纵向吹气模块40b向贴附于光罩m表面的待曝光件吹气，据以使待曝光件与光罩m相互分离。控制模块也可以控制抵压组件10与承载件20先分离一预定距离，并控制纵向吹气模块40b吹气，而后在待曝光件不贴附于光罩m时，控制模块再控制抵压组件10与承载件20分离至原始设定的距离。

值得一提的是，控制模块电性连接横向吹气模块40a及纵向吹气模块40b，且控制模块还可以控制横向吹气模块40a及纵向吹气模块40b所吹气的气体流量、气体压力等，其可依据需求加以变化。特别说明的是，在特殊的应用中，例如双面曝光、抵压组件10及承载件20在彼此相互抵顶时会受控制而旋转的情况等，所述横向吹气模块40a及纵向吹气模块40b也可以同时设置于承载件20及抵压组件10。

在较佳的应用中，为了确使待曝光件不贴附于光罩m，抵压组件10还可以设置有多个顶针组件50，各个顶针组件50可以包含有一顶针件51，所述顶针件51的部分能受控制模块控制而选择性地穿过透光板体11的穿孔111及光罩m的避让孔m1，而凸出于光罩m的表面，从而推抵贴附于光罩m表面的待曝光件，据以使待曝光件与光罩m彼此相互分离。控制模块可以在控制抵压组件10与承载件20相互分离时，控制抵顶针组件50作动，以使顶针件51凸出于光罩m，而推抵待曝光件。

如图5所示，顶针组件50可以与纵向吹气模块40b模块化设计，而顶针件51及纵向吹气模块40b可以受控制模块先后作动或同时作动，以使贴附于光罩m上的待曝光件与光罩m相互分离。在实际应用中，抵压组件10可以同时设置有横向吹气模块40a、纵向吹气模块40b及顶针组件50，而控制模块可以在对待曝光件完成曝光作业时，先控制纵向吹气模块40b及顶针组件50先后或同时作动，以使待曝光件与光罩m之间形成有间隙，而后再控制横向吹气模块40a吹气，如此横向吹气模块40a所吹出的气体，将可进入待曝光件与光罩m之间的间隙中，进而使待曝光件容易地与光罩m相互分离。

如图5及图6所示，在实际应用中，抵压组件10可以设置有两个顶针组件50及一横向吹气模块40a，而横向吹气模块40a的两个侧吹气孔412可以位于透光板体11的穿孔111及两个顶针组件50于光罩m表面的避让孔m1之间，如此，横向吹气模块40a所吹出的气体，将较容易进入前述待曝光件受顶针件51推抵而与光罩m间形成的间隙中。

特别说明的是，于前述实施例中，以曝光光源30及光罩m设置于抵压组件10，而待曝光件于曝光后可能发生贴附于光罩m的表面的情况为例进行说明，但在另一实施例中，曝光光源30及光罩m也可以设置于承载件20，而待曝光件于曝光完成后，则可能会发生贴附于透光板体11的情况，此时，横向吹气模块40a、纵向吹气模块40b及顶针组件50同样可以进行前述实施例所载的作动方式作动，而使待曝光件与透光板体11相互分离，于此不再赘述。

综上所述，本发明的防黏板结构1通过吹气模块40、顶针组件50的相互配合，可以有效使待曝光件于曝光作业完成后，不贴附于光罩或透光板体上，从而可使后续作业(例如利用机械手臂搬移待曝光件)顺利进行，借此可有效提升整体作业的效能。

以上所述仅为本发明的较佳可行实施例，非因此局限本发明的专利范围，故凡是运用本发明说明书及图式内容所做的等效技术变化，均包含于本发明的保护范围内。