技术总结
本实用新型是一种曝光内层板的对位标定装置，包括平台和曝光标定装置，所述平台表面设置有安装孔，所述曝光标定装置安装于安装孔内，所述曝光标定装置包括有两组，两组所述曝光标定装置分别靠近平台任意相邻的边缘设置。该对位标定装置，将曝光标定装置分为两组安装于平台内，两组曝光标定装置分别靠近平台任意相邻的两个边缘设置，满足了在XY方向上分别能曝光对位的要求，保证了在XY方向上曝光图形涨缩值的一致性，提高了曝光标定的精度。本实用新型还设计了应用该对位标定装置的曝光机。
技术研发人员：蔡志国;朱俊伟;吴斌;罗宜清;张显峰;张兴旺
受保护的技术使用者：苏州微影激光技术有限公司
文档号码：201720092909
技术研发日：2017.01.24
技术公布日：2017.10.13