激光光束匀化装置的制作方法

技术特征：

1.一种激光光束匀化装置，用于匀化功率分布为高斯分布的激光，其特征在于，包括：

发散光学元件组，用于将入射的激光转换为发散光；

分束光学元件组，用于对所述发散光分束，并将分束后的激光叠加形成平顶光束。

2.根据权利要求1所述的激光光束匀化装置，其特征在于，

所述发散光学元件组包括：

第一方向柱面镜，用于将其入射光转换为第一方向上的发散光；

第二方向柱面镜，用于将其入射光转换为第二方向上的发散光；

所述分束光学元件组包括：

第一方向棱镜，用于对其入射光关于所述第一方向分束；

第二方向棱镜，用于对其入射光关于所述第二方向分束；

所述第一方向与第二方向正交；

所述第一方向柱面镜、第二方向柱面镜、第一方向棱镜、第二方向棱镜沿光线传播方向依次排列，所述入射的激光由所述第一方向柱面镜射入，依次通过所述第二方向柱面镜以及第一方向棱镜，由所述第二方向棱镜射出形成平顶光束。

3.根据权利要求1所述的激光光束匀化装置，其特征在于，

所述发散光学元件组包括：

第一方向柱面镜，用于将其入射光转换为第一方向上的发散光；

第二方向柱面镜，用于将其入射光转换为第二方向上的发散光；

所述分束光学元件组包括：

第一方向棱镜，用于对其入射光关于所述第一方向分束；

第二方向棱镜，用于对其入射光关于所述第二方向分束；

所述第一方向与第二方向正交；

所述第一方向柱面镜、第一方向棱镜、第二方向柱面镜、第二方向棱镜沿光线传播方向依次排列，所述入射的激光由所述第一方向柱面镜射入，依次通过所述第一方向棱镜以及第二方向柱面镜，由所述第二方向棱镜射出形成平顶光束。

4.根据权利要求1所述的激光光束匀化装置，其特征在于，

所述发散光学元件组包括：

第一方向柱面镜，用于将其入射光转换为第一方向上的发散光；

第二方向柱面镜，用于将其入射光转换为第二方向上的发散光；

所述分束光学元件组包括：

第一方向棱镜，用于对其入射光关于所述第一方向分束；

第二方向棱镜，用于对其入射光关于所述第二方向分束；

所述第一方向与第二方向正交；

所述第一方向柱面镜、第二方向柱面镜、第二方向棱镜、第一方向棱镜沿光线传播方向依次排列，所述入射的激光由所述第一方向柱面镜射入，依次通过所述第二方向柱面镜以及第二方向棱镜，由所述第一方向棱镜射出形成平顶光束。

5.根据权利要求1所述的激光光束匀化装置，其特征在于，

所述发散光学元件组包括：

第一方向柱面镜，用于将其入射光转换为第一方向上的发散光；

第二方向柱面镜，用于将其入射光转换为第二方向上的发散光；

所述分束光学元件组包括：

双向棱镜，用于对其入射光关于所述第一方向、第二方向分束；

所述第一方向与第二方向正交；

所述第一方向柱面镜、第二方向柱面镜、双向棱镜沿光线传播方向依次排列，所述入射的激光由所述第一方向柱面镜射入，通过所述第二方向柱面镜，由所述双向棱镜射出形成平顶光束。

6.根据权利要求1所述的激光光束匀化装置，其特征在于，

所述发散光学元件组包括：

圆形凹透镜，用于将其入射光转换为圆形的发散光；

所述分束光学元件组包括：

双向棱镜，用于对其入射光关于第一方向、第二方向分束；

所述第一方向与第二方向正交；

所述圆形凹透镜、双向棱镜沿光线传播方向依次排列，所述入射的激光由所述圆形凹透镜射入，通过所述双向棱镜射出形成平顶光束。