使用图案化疏水性表面进行的自组装图案化的制作方法

文档序号:16806511发布日期:2019-02-10 13:04阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本文提供的实施方案涉及制备包括例如用于数字射流装置的图案化流动池或图案化表面的用于测序应用的图案化表面的自组装方法。该方法利用光刻术以产生具有由疏水性间隙区分隔的多个微米尺度或纳米尺度轮廓的图案化表面并且在光刻术工艺期间不需要氧等离子体处理。此外,该方法避免在沉积凝胶材料至轮廓之后使用任何化学或机械抛光步骤。

技术研发人员:吴仪宣;林彦佑;M·谢恩·博文;西里尔·德拉特;法比恩·阿贝尔;塔伦·库拉纳;阿诺德·里瓦尔;普尔亚·萨伯恩希;袁大军;玛利亚·坎德拉里亚·罗格特巴奇伽鲁普
受保护的技术使用者:ILLUMINA公司
技术研发日:2017.05.17
技术公布日:2019.02.05
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