投射光学系统的制作方法

技术特征：

1.投射光学系统，沿着光轴由像源侧至成像侧依序包括：第一透镜和第二透镜，其特征在于，

所述第一透镜具有正光焦度，其近成像侧面为凸面；

所述第二透镜具有负光焦度，其近像源侧面为凹面，近成像侧面为凸面；

所述第一透镜于所述光轴上的中心厚度CT1与所述第二透镜于所述光轴上的中心厚度CT2满足0.5＜CT1/CT2＜1。

2.根据权利要求1所述的投射光学系统，其特征在于，所述投射光学系统的像源面至所述第一透镜的近像源侧面在所述光轴上的距离TR与所述第一透镜的近像源侧面至所述第二透镜的近成像侧面在所述光轴上的距离Tr1r4满足0.7＜TR/Tr1r4＜1.3。

3.根据权利要求2所述的投射光学系统，其特征在于，所述第一透镜和所述第二透镜在所述光轴上的间隔距离T12、所述第一透镜于所述光轴上的中心厚度CT1以及所述第二透镜于所述光轴上的中心厚度CT2满足T12/(CT1+CT2)＜0.5。

4.根据权利要求1所述的投射光学系统，其特征在于，所述第一透镜的近像源侧面的最大半口径DT11与所述第二透镜的近像源侧面的最大半口径DT21满足0.6＜DT11/DT21＜1。

5.根据权利要求1所述的投射光学系统，其特征在于，所述第二透镜的近像源侧面的曲率半径R3与所述第二透镜的近成像侧面的曲率半径R4满足0.3＜R3/R4＜0.8。

6.根据权利要求5所述的投射光学系统，其特征在于，所述第二透镜的近像源侧面和所述光轴的交点至所述第二透镜的近像源侧面的最大有效半口径顶点之间的轴上距离SAG21与所述第二透镜的近成像侧面和所述光轴的交点至所述第二透镜的近成像侧面的最大有效半口径顶点之间的轴上距离SAG22满足0.5＜SAG21/SAG22＜1。

7.根据权利要求1所述的投射光学系统，其特征在于，所述第一透镜的近成像侧面的曲率半径R2与所述投射光学系统的总有效焦距f满足-0.5＜R2/f＜0。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的投射光学系统，其特征在于，所述投射光学系统的实际应用波长λ的最短波长比使用光源的最短波长短0nm-100nm，所述投射光学系统的实际应用波长λ的最长波长比使用光源的最长波长长0nm-100nm。

9.根据权利要求1至7中任一项所述的投射光学系统，其特征在于，所述投射光学系统的最大半视场角HFOV满足TAN(HFOV)＜0.23。

10.根据权利要求1至7中任一项所述的投射光学系统，其特征在于，所述投射光学系统的物方数值孔径NA满足NA≥0.18。

11.根据权利要求1至7中任一项所述的投射光学系统，其特征在于，所述投射光学系统的主光线的最大入射角度CRAmax满足CRAmax＜10°。

12.投射光学系统，沿着光轴由像源侧至成像侧依序包括：第一透镜和第二透镜，其特征在于，

所述第一透镜具有正光焦度，其近成像侧面为凸面；

所述第二透镜具有负光焦度，其近像源侧面为凹面，近成像侧面为凸面；

所述第一透镜和所述第二透镜在所述光轴上的间隔距离T12、所述第一透镜于所述光轴上的中心厚度CT1以及所述第二透镜于所述光轴上的中心厚度CT2满足T12/(CT1+CT2)＜0.5。