光刻机照明系统的微反射镜阵列配置方法与流程

技术总结
本发明公开了一种用于产生自由形式光刻机照明光源的光刻照明系统微反射镜阵列配置方法。该方法通过解卷积和量化处理得到产生目标自由形式光源所需的微反射镜阵列配置，提高了光刻照明系统获得自由形式照明光源的速度。

技术研发人员：杨朝兴;王向朝;李思坤
受保护的技术使用者：中国科学院上海光学精密机械研究所
技术研发日：2018.02.12
技术公布日：2018.06.29