曝光机的光源更换系统以及曝光机的制作方法

文档序号:16085630发布日期:2018-11-27 22:23阅读:204来源:国知局

本申请涉及显示技术领域,具体涉及一种曝光机的光源更换系统以及曝光机。



背景技术:

在现有的曝光工艺中,曝光机用于曝光的曝光灯使用一段时间后,随着其照度的下降,就需要更换曝光灯,而且曝光灯的使用还需要进行照度的确认才能进行使用,这对于连续生产及产能的制约都产生了非常大的影。

一般曝光灯临近其使用寿命时,就会影响产品的特性,这时需要提前进行新的曝光灯更换,但更换曝光灯需要停机和降温,并且更换手续也相对繁琐,如果更换过程存在操作不当会直接影响曝光的品质,使玻璃基板上出现曝光不均匀的现象,这样就导致玻璃基板上产生各类宏观和微观的缺陷,影响整张玻璃基板的良品率。另外,传统的曝光设备曝光灯更换方式还会涉及到曝光灯从点灯开始到照度稳定才能开始使用,因此需要等待新灯稳定后才能使用,整个过程浪费了大量的时间,降低了生产效率。



技术实现要素:

本申请实施例提供一种曝光机的光源更换系统以及曝光机,可以提高生产效率。

本申请实施例提供一种曝光机的光源更换系统,包括:

腔室,所述腔室包括相邻设置的工作腔室、测试腔室以及更换腔室,所述工作腔室内设置有第一光源,所述更换腔室内设置有第二光源;以及

导轨,所述导轨设置在所述腔室内;其中,

所述第一光源可沿着所述导轨移动至所述更换腔室内,所述第二光源可沿着所述导轨移动至所述测试腔室内,待所述第二光源测试通过后再沿着所述导轨移动至所述工作腔室内。

在本申请所述的曝光机的光源更换系统中,所述工作腔室与所述测试腔室并排设置,且所述更换腔室设置在所述工作腔室与测试腔室上。

在本申请所述的曝光机的光源更换系统中,所述导轨为环形导轨。

在本申请所述的曝光机的光源更换系统中,所述腔室内还设置有第一移动板、第二移动板和第三移动板;其中,所述第一移动板设置在所述工作腔室与所述更换腔室之间,所述第二移动板设置在所述测试腔室与所述更换腔室之间,所述第三移动板设置在所述工作腔室与所述测试腔室之间。

在本申请所述的曝光机的光源更换系统中,所述第一移动板包括第一移动部以及第一固定部,所述第二移动板包括第二移动部和第二固定部,所述第三移动板包括第三移动部和第三固定部;其中,所述第一固定部上设置有第一过孔,所述第二固定部设置有第二过孔,所述第三固定部设置有第三过孔,所述导轨沿着所述第一过孔、第二过孔以及第三过孔设置。

在本申请所述的曝光机的光源更换系统中,所述第一光源包括第一滑动部以及设置在所述第一滑动部一侧的第一发光部,所述第二光源包括第二滑动部以及设置在所述第二滑动部一侧的第二发光部;

其中,所述第一滑动部和第二滑动部均设置在所述导轨上,以使所述第一光源可沿着所述导轨移动至所述更换腔室内,所述第二光源可沿着所述导轨移动至所述测试腔室内,待所述第二光源测试通过后再沿着所述导轨移动至所述工作腔室内。

在本申请所述的曝光机的光源更换系统中,所述工作腔室内还设置有反射器,以及设置在所述工作腔室外的接收器;其中,所述反射器用于将所述第一光源发出的光线反射至所述接收器上。

在本申请所述的曝光机的光源更换系统中,其特征在于,所述测试腔室内还设置有一测试单元;

所述测试单元用于测试移动至所述测试腔室内的第二光源,以使所述测试腔室内的第二光源的参数达到预设参数。

在本申请所述的曝光机的光源更换系统中,所述第一光源与第二光源的形状、大小均一致

相应的,本申请实施例还提供一种曝光机,包括本申请任一实施例所述的光源更换系统。

本申请实施例提供的光源更换系统,包括腔室,腔室包括相邻设置的工作腔室、测试腔室以及更换腔室,工作腔室内设置有第一光源,更换腔室内设置有第二光源;以及导轨,导轨设置在腔室内;其中,第一光源可沿着导轨移动至更换腔室内,第二光源可沿着导轨移动至测试腔室内,待第二光源测试通过后再沿着导轨移动至工作腔室内。本申请实施例通过在腔室内设置导轨,更换曝光灯时无需停机和降温,因此提高了生产效率。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例,对于本领域技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请实施例提供的光源更换系统的结构示意图一。。

图2为本申请实施例提供的光源更换系统的结构示意图二。

图3为本申请实施例提供的光源更换系统的结构示意图三。

图4为本申请实施例提供的光源更换系统的结构示意图四。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图,对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然,所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例,本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本申请保护的范围。

在本申请的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本申请和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本申请的限制。此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本申请的描述中,“多个”的含义是两个或两个以上,除非另有明确具体的限定。

在本申请的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接或可以相互通讯;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

在本申请中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触,也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方,或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本申请的不同结构。为了简化本申请的公开,下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然,它们仅仅为示例,并且目的不在于限制本申请。此外,本申请可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母,这种重复是为了简化和清楚的目的,其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外,本申请提供了的各种特定的工艺和材料的例子,但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。

具体的,请参阅图1,图1为本申请实施例提供的光源更换系统的结构示意图。该光源更换系统用于更换曝光机内的曝光灯。

本申请提供一种曝光机的光源更换系统,包括:

腔室100,腔室包括相邻设置的工作腔室101、测试腔室102以及更换腔室103,工作腔室101内设置有第一光源201,更换腔室103内设置有第二光源202;以及

导轨301,导轨设置301在腔室100内;其中,

第一光源201可沿着导轨301移动至更换腔室103内,第二光源202可沿着导轨301移动至测试腔室102内,待第二光源202测试通过后再沿着导轨301移动至工作腔室101内。比如,该第一光源201与该第二光源202可以均为水银灯,且第一光源201与第二光源202的形状、大小均一致。

例如,具体的,当工作腔室101中的第一光源201照度下降时,第一光源201可以通过导轨301进入到更换腔室103中,同时,更换腔室103中的第二光源202通过导轨301进入到测试腔室102中进行测试。待该第二光源202测试完成后,即第二光源202的照度达到预设照度后,该第二光源202通过导轨301移动工作腔室101中,即完成第二光源202对第一光源201的替换。

在本申请实施例中,更换工作腔室101中的第一光源101的过程无需人工干预,因此可以提高生产效率。并且,由于在更换过程中,工作腔室101、测试腔室102以及更换腔室103共同形成了一个密闭的空间,因此,还降低了第二光源202被污染的概率,从而进一步提高了生产效率。

紧接着,请参阅图2,在一些实施例中,工作腔室101与测试腔室102并排设置,且更换腔室103设置在工作腔室101与测试腔室102上。其中,在本申请实施例中,该导轨301可以为环形导轨。

腔室100内还设置有第一移动板50、第二移动板60和第三移动板70;其中,第一移动板50设置在工作腔室101与更换腔室103之间,第二移动板60设置在测试腔室102与更换腔室103之间,第三移动板70设置在工作腔室101与测试腔室102之间。

第一移动板50包括第一移动部501以及第一固定部502,第二移动板60包括第二移动部601和第二固定部602,第三移动板70包括第三移动部701和第三固定部702;其中,第一固定部502上设置有第一过孔503,第二固定部602设置有第二过孔603,第三固定部702设置有第三过孔703,导轨沿着第一过孔503、第二过孔603以及第三过孔703设置。

比如,第一固定部502和第二固定部602可以贴合设置,第三固定部702垂直于第一固定部502和第二固定部602,并且该导轨301可以是环形导轨,第一固定部502、第二固定部602和第三固定部702可以设置在导轨301的内圆周侧。具体实施时,第一移动板50、第二移动板60、第三移动板70以及导轨301将工作腔室101、测试腔室102以及更换腔室103分隔开。当需要更换设置在工作腔室101中的第一光源201时,可以通过调节第一移动板50、第二移动板60以及第三移动板70的位置来完成更换第一光源201的进程。

例如,具体的,请参阅图3,当需要更换第一光源201时,首先移动第一移动部501,使得工作腔室101与更换腔室103之间形成一个可以让第一光源201通过的开口。即,第一光源201可以沿着导轨301通过该开口进入到更换腔室103中。同时,移动第三移动部701,使得已经检测完毕的位于检测腔室102中的第二光源202可以沿着导轨301移动至工作腔室101中。并且,移动第二移动部601,使更换腔室103中的第二光源202进入到测试腔室102中进行检测。这样,就完成了一次对第一光源201的更换进程。

在一些实施例中,请参阅图4,第一光源201包括第一滑动部2011以及设置在第一滑动部2011一侧的第一发光部2012,第二光源202包括第二滑动部2021以及设置在第二滑动部2021一侧的第二发光部2022;

其中,第一滑动部2011和第二滑动部2021均设置在导轨301上,以使第一光源201可沿着导轨301移动至更换腔室103内,第二光源202可沿着导轨301移动至测试腔室102内,待第二光源202测试通过后再沿着导轨301移动至工作腔室内101。

在一些实施例中,请继续参阅图4,工作腔室内101还设置有反射器80,以及设置在工作腔室101外的接收器90;其中,反射器80用于将第一光源201发出的光线反射至所述接收器90上。

例如,具体的,在工作腔室101处于工作状态时,第一光源201发出的光线照射在反射器80上,然后反射器80将第一光源201发出的光线反射至接收器90上。紧接着,接收器90再将第一光源201发出的光线照射在需要曝光的基板上,以完成曝光进程。

在一些实施例中,测试腔室102内还设置有一测试单元;

测试单元102用于测试移动至测试腔室内的第二光源,以使测试腔室内的第二光源的参数达到预设参数。

相应的,本申请还提供了一种曝光机,包括本申请任一实施例提供的光源更换系统。

本申请实施例提供的光源更换系统,包括腔室100,腔室100包括相邻设置的工作腔室101、测试腔室102以及更换腔室103,工作腔室101内设置有第一光源201,更换腔室103内设置有第二光源202;以及导轨301,导轨301设置在腔室100内;其中,第一光源201可沿着导轨301移动至更换腔室103内,第二光源202可沿着导轨301移动至测试腔室102内,待第二光源202测试通过后再沿着导轨301移动至工作腔室101内。本申请实施例通过在腔室100内设置导轨301,更换曝光灯时无需停机和降温,因此提高了生产效率。

在上述实施例中,对各个实施例的描述都各有侧重,某个实施例中没有详述的部分,可以参见其他实施例的相关描述。

以上对本申请实施例所提供的一种曝光机的光源更换系统以及曝光机进行了详细介绍,本文中应用了具体个例对本申请的原理及实施方式进行了阐述,以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请的技术方案及其核心思想;本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例的技术方案的范围。

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