1. 一种光刻机光源装置，包括光源安装架，其特征在于，光源安装架上设有多块光源单元板，所述光源单元板包括基板及多个UV LED光源，基板上开设有多个螺孔，基板通过螺丝固定于光源安装架上；UV LED光源包括UV LED灯芯及对应的透镜，透镜穿设于光源安装架上且透镜与光源安装架之间垫设有橡胶圈，所述透镜的透光角度小于2.5度，UV LED灯芯设于基板正面上对应透镜的焦点处。
2. 如权利要求1所述的光刻机光源装置，其特征在于，所述多块光源单元板上的UV LED光源呈至少一组多行等距排列。
3. 如权利要求2所述的光刻机光源装置，其特征在于，所述每个光源单元板包括12个且组成4*3矩阵的UV LED光源。
4. 如权利要求1所述的光刻机光源装置，其特征在于，所述UV LED灯芯的光波长范围为250nm-450nm。
5.如权利要求1所述的光刻机光源装置，其特征在于，所述基板为铝基板。
6.如权利要求5所述的光刻机光源装置，其特征在于，还包括散热片，所述散热片贴设于基板的背面。