一种基于步进器的透镜控制部的制作方法

文档序号:17207060发布日期:2019-03-27 10:29阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基于步进器的透镜控制部,其特征在于,包括晶片工作台(1)、光源(2)、缩小投影镜头(3)、大气压传感器(4)、压力调整部(5)、压力计算机演算部(6)和焦点计算机演算部(7),所述光源(2)一端通过折返镜头(8)设有与所述晶片工作台(1)相连接的控制室(9),所述控制室(9)内壁顶部和底部分别设有控制A室和控制B室,所述控制室(9)一侧通过所述压力调整部(5)双向连接有所述压力计算机演算部(6),所述控制室(9)另一侧连接有所述焦点计算机演算部(7),所述压力计算机演算部(6)和所述焦点计算机演算部(7)之间设有步进器重复曝光系统传感器(10),所述焦点计算机演算部(7)输入端同时连接有所述大气压传感器(4)和所述控制室(9),所述晶片工作台(1)顶部的检测器(11)连接有所述压力计算机演算部(6),所述压力计算机演算部(6)输入端连接有位于所述光源(2)和所述折返镜头(8)之间的反射量传感器(12)。

2.根据权利要求1所述的一种基于步进器的透镜控制部,其特征在于,所述折返镜头(8)和所述控制室(9)之间设有与所述光源(2)相连接的对物镜头(13)。

3.根据权利要求1所述的一种基于步进器的透镜控制部,其特征在于,所述控制室(9)一侧安装有与焦点控制器双向连接的自动聚焦部(14)。

4.根据权利要求1所述的一种基于步进器的透镜控制部,其特征在于,所述大气压传感器(4)和反射量传感器(12)型号分别为MIK-P300和KFD2-STC4-EX2。

5.根据权利要求1所述的一种基于步进器的透镜控制部,其特征在于,所述压力计算机演算部(6)输出端连接有显示装置(15)。

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