一种应用于RTP的蚀刻工具的制作方法

文档序号:17571079发布日期:2019-05-03 19:20阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种应用于RTP的蚀刻工具,其特征在于:用于在ITO层表面印刷蚀刻膏,丝印网由金属丝纵横交织而成,形成的网孔密度为320-400个/英寸,线径为18-30μm,孔径为39-55μm。

2.根据权利要求1所述的一种应用于RTP的蚀刻工具,其特征在于:所述金属丝为不锈钢线。

3.根据权利要求1所述的一种应用于RTP的蚀刻工具,其特征在于:纵向所述金属丝相对于刮刀印刷方向的夹角α为22.5±0.5度。

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