一种涂胶显影机光阻补液系统的排气管路的制作方法

本实用新型涉及一种半导体设备，尤其涉及一种涂胶显影机光阻补液系统的排气管路。

背景技术：

现有的涂胶显影机光阻补液系统管路上设置有积液瓶和排气管路，现有的光阻补液时阀门打开，在光阻瓶中的光阻袋还有光阻补液时系统正常运行，当光阻袋中的光阻补液用完后，由于整个光阻补液系统是密闭环境，因此光阻袋逐渐的缩小，最后光阻袋会将补液的管路的管口阻塞，再继续补液时光阻补液泵就会抽不动导致报警，现有的机器设计是在积液瓶上接排气管路，光阻补液泵报警了后，打开积液瓶上的排气管路的阀门使整个补液系统气压重新正常，但是在打开阀门后，排气管路中的光阻液不可避免的要与空气发生接触，而光阻液在接触到空气后容易变硬变干，短时间内排气管路可以正常使用，时间一长，硬化的光阻液积累多了，就容易在阀门处累积并堵塞住阀门通孔。

技术实现要素：

本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术的缺陷，提供一种能有效防止排气管中的固化的光阻液阻塞住排气管的涂胶显影机光阻补液系统的排气管路。

本实用新型为解决上述技术问题采用以下技术方案：

一种涂胶显影机光阻补液系统的排气管路，包括

一积液瓶，所述积液瓶上表面设置有多个管道连接孔；

一光阻瓶，所述光阻瓶内设置有光阻袋，所述光阻袋内装有光阻液；所述光阻瓶管道连接所述积液瓶；

一光阻瓶阀门，设置于所述光阻瓶和积液瓶的连接管道上；

一光阻补液泵，水平设置，所述光阻补液泵管道连接所述积液瓶；

一光阻补液泵阀门，设置于所述光阻补液泵和积液瓶的连接管道上；

一排气管，连接所述积液瓶；

一微型瓶，设置于排气管管路上，并在侧面设置通孔连接两端的排气管；

一微型瓶阀门，设置于积液瓶和微型瓶之间的排气管上。

为了进一步优化上述技术方案，本实用新型所采取的技术措施为：

优选的，还包括一光阻喷头，管道连接所述光阻补液泵。

更优选的，还包括一微型瓶排液管。

更优选的，所述微型瓶排液管上设置有微型瓶排液阀。

更优选的，还包括一主机台。

更优选的，所述微型瓶排液阀连接主机台。

更优选的，所述微型瓶内侧面设置有液位监测传感器。

更优选的，所述液位监测传感器连接所述主机台。

本实用新型采用以上技术方案，与现有技术相比，具有如下技术效果：

本实用新型在排气管路上设置增加一个带有液位感知的微型瓶来定期排出倒流到排气管路上的光阻从而防止排气管路堵塞，防止积液瓶的排气管路堵塞，避免光阻补液泵在光阻报空期间补液时报警，倒流的光阻会聚集在微型瓶中不会导致排气管路堵塞；微型瓶带有液位监测传感器和微型瓶排液阀，当光阻积累到一定液位时液位监测传感器就会反馈给主机台一个信号打开微型瓶排液阀将积累的光阻排到微型瓶排液管中。

附图说明

图1为现有的涂胶显影机光阻补液系统的排气管路的结构示意图；

图2为本实用新型的一种优选实施例的涂胶显影机光阻补液系统的排气管路的结构示意图；

其中的附图标记为：

1光阻瓶；2积液瓶；3光阻补液泵；4排气管；5微型瓶；6光阻喷头；7主机台；11光阻袋；12光阻瓶阀门；21管道连接孔；31光阻补液泵阀门；51微型瓶阀门；52微型瓶排液管；53微型瓶排液阀；54液位监测传感器。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的技术方案做进一步的详细说明。

图1为现有的涂胶显影机光阻补液系统的排气管路的结构示意图；图2为本实用新型的一种优选实施例的涂胶显影机光阻补液系统的排气管路的结构示意图。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

一种涂胶显影机光阻补液系统的排气管路，包括

一积液瓶2，所述积液瓶2上表面设置有多个管道连接孔21；

一光阻瓶1，所述光阻瓶1内设置有光阻袋11，所述光阻袋11内装有光阻液；所述光阻瓶1管道连接所述积液瓶2；

一光阻瓶阀门12，设置于所述光阻瓶1和积液瓶2的连接管道上；

一光阻补液泵3，水平设置，所述光阻补液泵3管道连接所述积液瓶2；

一光阻补液泵阀门31，设置于所述光阻补液泵3和积液瓶2的连接管道上；

一排气管4，连接所述积液瓶2；

一微型瓶5，设置于排气管4的管路上，并在侧面设置通孔连接两端的排气管4；

一微型瓶阀门51，设置于积液瓶2和微型瓶5之间的排气管4上。

积液瓶2在瓶盖上设置有连接各个管道的管道连接孔21；所述排气管4也从瓶盖连接积液瓶2；

所述光阻瓶1中的光阻袋11围绕着管道设置，管道从光阻袋11中吸取光阻液，在吸取的过程中，光阻袋11随着袋中的光阻液的减少逐渐的缩小贴近管道，在袋中液体被吸取完后，光阻袋11就将管道堵塞住了，就需要从排气管4中进部分空气以平衡气压；

光阻补液泵3将光阻液从光阻瓶1中一直抽取出来，直到光阻袋11堵塞了管道后停止抽取；

微型瓶5设置在排气管4中间段，微型瓶5的作用是存积接触到空气和光的排气管4中的光阻液，将堵塞排气管4的硬化后的光阻液收集起来，使其不堵塞排气管4。优选的，微型瓶5的高度低于积液瓶2的高度，排气管4优选为向下延伸连接微型瓶5。

进一步的，在一种较佳的实施例中，还包括一光阻喷头6，管道连接所述光阻补液泵3。

所述光阻喷头6与光阻补液泵3连接，将光阻液喷涂到晶圆表面上。

再进一步的，在一种较佳的实施例中，还包括一微型瓶排液管52。

更进一步的，在一种较佳的实施例中，所述微型瓶排液管52上设置有微型瓶排液阀53。

微型瓶排液管52连接于微型瓶5的底部，在微型瓶排液管52上的微型瓶排液阀53控制微型瓶5中的光阻液的排放。

更进一步的，在一种较佳的实施例中，还包括一主机台7。

更进一步的，在一种较佳的实施例中，所述微型瓶排液阀53连接主机台7。

更进一步的，在一种较佳的实施例中，所述微型瓶5内侧面设置有液位监测传感器54。

更进一步的，在一种较佳的实施例中，所述液位监测传感器54连接所述主机台7。

在设置有液位监测传感器54时，当微型瓶5中的液位超过了液位监测传感器54的设置高度后，液位监测传感器54发出信号到主机台7，主机台7收到信号后，发出信号给微型瓶排液阀53，微型瓶排液阀53打开，液体就从微型瓶5中排出。

本实用新型的涂胶显影机光阻补液系统的排气管路的操作方法为：

在需要进行光阻液喷涂时，光阻瓶阀门12、光阻补液泵阀门31打开，微型瓶阀门51和微型瓶排液阀53均关闭；光阻补液泵3开始工作，从光阻瓶1中的光阻袋11中抽取光阻液到光阻喷头6进行喷涂；当光阻袋11中的光阻液使用完后，光阻补液泵3抽取不出光阻液，从而开始报警，此时关闭光阻补液泵3和光阻瓶阀门12和光阻补液泵阀门31，进行补充光阻液的操作；打开微型瓶阀门51，使空气进入，使积液瓶2中的气压恢复正常后再关闭微型瓶阀门51，而接触到空气的排气管4中的光阻液在重力作用下退回到微型瓶5中，从而不会使排气管4堵塞。

综上所述，本实用新型在排气管路上设置增加一个带有液位感知的微型瓶来定期排出倒流到排气管路上的光阻从而防止排气管路堵塞，防止积液瓶的排气管路堵塞，避免光阻补液泵在光阻报空期间补液时报警，倒流的光阻会聚集在微型瓶中不会导致排气管路堵塞；微型瓶带有液位监测传感器和微型瓶排液阀，当光阻积累到一定液位时液位监测传感器就会反馈给主机台一个信号打开微型瓶排液阀将积累的光阻排到微型瓶排液管中。

在本说明书的描述中，参考术语“一个较佳的实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上对本实用新型的具体实施例进行了详细描述，但其只作为范例，本实用新型并不限制于以上描述的具体实施例。对于本领域技术人员而言，任何对该实用进行的等同修改和替代也都在本实用新型的范畴之中。因此，在不脱离本实用新型的精神和范围下所作的均等变换和修改，都应涵盖在本实用新型的范围内。