光学装置的制作方法

本发明涉及一种例如作为mems(microelectromechanicalsystems(微机电系统))装置而构成的光学装置。

背景技术：

作为mems装置，已知有一种光学装置，其具备：基座；可动部，其具有光学功能部；及弹性支撑部，其连接于基座与可动部之间，且以可动部能够沿着移动方向移动的方式支撑可动部(例如参照专利文献1)。在此种光学装置中，存在如下情况：具备：可动梳齿电极，其具有多个可动梳齿；及固定梳齿电极，其具有与多个可动梳齿相互交替地配置的多个固定梳齿。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：美国专利申请公开2008/0284078号说明书

技术实现要素：

发明所要解决的问题

如上所述的可动梳齿电极及固定梳齿电极用作驱动用的电极、监视用的电极、或驱动兼监视用的电极。在使用可动梳齿电极及固定梳齿电极作为驱动用的电极的情况下，为了使可动部沿着移动方向移动，而对可动梳齿电极与固定梳齿电极之间施加电压。在使用可动梳齿电极及固定梳齿电极作为监视用的电极的情况下，为了掌握沿着移动方向移动的可动部的位置，而检测可动梳齿电极与固定梳齿电极之间的静电容量。

在为了任一用途而使用可动梳齿电极及固定梳齿电极的情况下，也在可动部沿着移动方向移动时，优选为可动梳齿电极与可动部一体地移动，且相互相邻的可动梳齿与固定梳齿之间的间隔维持为固定。然而，若仅设置可动梳齿电极及固定梳齿电极，则有可动部沿着移动方向移动时可动梳齿电极应变，作为装置的可靠性降低的担忧。

本发明的一方面的目的在于提供一种可靠性较高的光学装置。

解决问题的技术手段

本发明的一方面的光学装置具备：基座，其具有主面；可动部，其具有光学功能部；弹性支撑部，其连接于基座与可动部之间，且以可动部能够沿着与主面垂直的规定方向移动的方式支撑可动部；固定梳齿电极，其设置于基座，且具有多个固定梳齿；及可动梳齿电极，其设置于可动部及弹性支撑部的至少一者，且具有与多个固定梳齿相互交替地配置的多个可动梳齿；可动部及弹性支撑部的至少一者具有支撑可动梳齿电极的电极支撑部，电极支撑部具有以规定方向上的电极支撑部的厚度厚于规定方向上的可动梳齿的厚度的方式形成的梁部。

在该光学装置中，通过形成梁部，而规定方向上的电极支撑部的厚度较规定方向上的可动梳齿的厚度厚，通过该电极支撑部而支撑可动梳齿电极。由此，可抑制在可动部沿着规定方向移动时，支撑可动梳齿电极的电极支撑部应变。因此，可使可动梳齿电极与可动部一体地移动，可抑制相互相邻的可动梳齿与固定梳齿之间的间隔变动。其结果，可提高可靠性。

在本发明的一方面的光学装置中，也可为弹性支撑部具有杆，电极支撑部自杆延伸。在该情况下，可通过自杆延伸的电极支撑部而抑制可动梳齿电极的应变。

在本发明的一方面的光学装置中，也可为可动梳齿电极在杆的延伸方向上相对于杆的中心位于与可动部相反侧。在该情况下，即使可动部沿着规定方向大幅度移动，可动梳齿也不易自相互相邻的固定梳齿间的区域偏移。因此，在将固定梳齿电极及可动梳齿电极用作驱动用的电极的情况下，可遍及可动部的可动范围的整体，使固定梳齿电极与可动梳齿电极之间产生静电力。另外，在将固定梳齿电极及可动梳齿电极用作监视用的电极的情况下，可遍及可动部的可动范围的整体，检测固定梳齿电极与可动梳齿电极之间的静电容量的变化。

在本发明的一方面的光学装置中，也可为可动梳齿电极在杆的延伸方向上相对于杆的中心位于可动部侧。在该情况下，可确保自弹性支撑部中的相对于基座的连接位置至可动梳齿电极的距离。因此，在将固定梳齿电极及可动梳齿电极用作驱动用的电极的情况下，可将固定梳齿电极与可动梳齿电极之间所产生的静电力作为可动部的驱动力而高效率地利用。另外，在将固定梳齿电极及可动梳齿电极用作监视用的电极的情况下，由于固定梳齿电极与可动梳齿电极之间的静电容量的变化较大，因而可容易且可靠地检测可动部的位置。

在本发明的一方面的光学装置中，也可为杆具有以规定方向上的杆的厚度厚于规定方向上的可动梳齿的厚度的方式形成的梁部。在该情况下，可进一步可靠地抑制相互相邻的可动梳齿与固定梳齿之间的间隔变动，可进一步提高可靠性。

在本发明的一方面的光学装置中，也可为弹性支撑部具有多个自杆延伸的电极支撑部，多个电极支撑部沿着杆的延伸方向排列而配置。在该情况下，由于设置有多个电极支撑部，因而在将固定梳齿电极及可动梳齿电极用作驱动用的电极的情况下，可确保驱动力。另外，在将固定梳齿电极及可动梳齿电极用作监视用的电极的情况下，可容易且可靠地检测可动部的位置。在该光学装置中，通过使电极支撑部的厚度增加而并非使宽度增加，抑制支撑可动梳齿电极的电极支撑部的应变，因而能够将多个电极支撑部以沿着杆的延伸方向排列的方式配置。

在本发明的一方面的光学装置中，也可为规定方向上的电极支撑部的厚度t1、及规定方向上的可动梳齿的厚度t2满足下述式(1)。

t1³×w1/c1³≧n×t2³×w2/c2³…(1)

在上述式(1)中，w1：自规定方向观察的情况下的电极支撑部的宽度，c1：自规定方向观察的情况下的电极支撑部的长度，n：可动梳齿的根数，w2：自规定方向观察的情况下的可动梳齿的宽度，c2：自规定方向观察的情况下的可动梳齿的长度。在该情况下，可更进一步可靠地抑制可动梳齿电极的应变。

在本发明的一方面的光学装置中，也可为电极支撑部以沿着可动部的外缘配置的方式设置于可动部。在该情况下，可确保自弹性支撑部中的相对于基座的连接位置至可动梳齿电极的距离。因此，在将固定梳齿电极及可动梳齿电极用作驱动用的电极的情况下，可将固定梳齿电极与可动梳齿电极之间所产生的静电力作为可动部的驱动力高效率地利用。另外，在将固定梳齿电极及可动梳齿电极用作监视用的电极的情况下，由于固定梳齿电极与可动梳齿电极之间的静电容量的变化较大，因而可容易且可靠地检测可动部的位置。

在本发明的一方面的光学装置中，也可为可动部具有：主体部，其设置有光学功能部；及框部，其在自规定方向观察的情况下包围主体部；电极支撑部由框部构成。在该情况下，通过包围主体部的框部，可抑制相互相邻的可动梳齿与固定梳齿之间的间隔变动。

本发明的一方面的光学装置中，也可为可动部具有：中央部，其设置有光学功能部；及外缘部，其规定方向上的厚度厚于中央部；电极支撑部由外缘部构成。在该情况下，通过规定方向上的厚度较中央部厚的外缘部，可抑制相互相邻的可动梳齿与固定梳齿之间的间隔变动。

在本发明的一方面的光学装置中，也可为弹性支撑部具有一对杆及架设于一对杆间的连杆，电极支撑部由连杆构成。在该情况下，通过架设于一对杆间的连杆，可抑制相互相邻的可动梳齿与固定梳齿之间的间隔变动。

在本发明的一方面的光学装置中，也可为弹性支撑部具有一对杆及架设于一对杆间的连杆，电极支撑部由一对杆及连杆构成，可动梳齿电极遍及一对杆及连杆而配置。在该情况下，通过一对杆及连杆，可抑制相互相邻的可动梳齿与固定梳齿之间的间隔变动。

在本发明的一方面的光学装置中，也可为弹性支撑部具有杆及在自规定方向观察的情况下在杆与可动部之间延伸的延伸部，电极支撑部由延伸部构成。在该情况下，通过在自规定方向观察的情况下在杆与可动部之间延伸的延伸部，可抑制相互相邻的可动梳齿与固定梳齿之间的间隔变动。

在本发明的一方面的光学装置中，也可为弹性支撑部具有：扭转支撑部，其沿着与规定方向垂直的第2方向延伸；及非线性缓和弹簧，其连接于扭转支撑部与可动部之间；非线性缓和弹簧构成为，在可动部在规定方向移动的状态下，第2方向周围的非线性缓和弹簧的变形量小于第2方向周围的扭转支撑部的变形量，且与规定方向及第2方向垂直的第3方向上的非线性缓和弹簧的变形量大于第3方向上的扭转支撑部的变形量。在该情况下，可抑制扭转支撑部的扭转变形产生非线性。另外，在设置有非线性缓和弹簧的结构中，可抑制相互相邻的可动梳齿与固定梳齿之间的间隔变动。

发明的效果

根据本发明的一方面，可提供一种可靠性较高的光学装置。

附图说明

图1是具备一实施方式的光学装置的光模块的纵剖视图。

图2是图1所示的光学装置的俯视图。

图3是将图2的一部分放大表示的俯视图。

图4是沿着图2的iv-iv线的剖视图。

图5是沿着图2的v-v线的剖视图。

图6是沿着图2的vi-vi线的剖视图。

图7是表示第1变形例的光学装置的俯视图。

图8是表示第2变形例的光学装置的俯视图。

图9是表示第3变形例的光学装置的俯视图。

图10是表示第4变形例的光学装置的俯视图。

图11是表示第5变形例的光学装置的俯视图。

具体实施方式

以下，一面参照附图，一面对本发明的一方面的实施方式详细地进行说明。再者，在以下的说明中，对相同或相当要素使用相同符号，并省略重复的说明。

[光模块的结构]

如图1所示，光模块1具备镜单元2及分光镜单元3。镜单元2具有光学装置10及固定镜21。光学装置10包含可动镜(可动部)11。在光模块1中，分光镜单元3通过可动镜11及固定镜21而针对测定光l0构成干涉光学系统。干涉光学系统在此处为迈克尔逊干涉光学系统。

光学装置10除了可动镜11以外，还包含基座12、驱动部13，第1光学功能部17及第2光学功能部18。基座12具有主面12a。可动镜11具有沿着与主面12a平行的平面的镜面(光学功能部)11a。可动镜11以能够沿着与主面12a垂直的z轴方向(与z轴平行的方向，规定方向)移动的方式在基座12上被支撑。驱动部13沿着z轴方向使可动镜11移动。第1光学功能部17在自z轴方向观察的情况下，配置于与z轴方向垂直的x轴方向(与x轴平行的方向，第3方向)上的可动镜11的一侧。第2光学功能部18在自z轴方向观察的情况下，配置于x轴方向上的可动镜11的另一侧。第1光学功能部17及第2光学功能部18分别是设置于基座12的光通过开口部，且在z轴方向上的一侧及另一侧开口。再者，在光模块1中，第2光学功能部18不用作光通过开口部。在将光学装置10应用于其他装置的情况下，第1光学功能部17及第2光学功能部18的至少一者也可用作光学功能部，第1光学功能部17及第2光学功能部18的两者也可不用作光学功能部。

固定镜21具有沿着与主面12a平行的平面(与z轴方向垂直的平面)延伸的镜面21a。固定镜21相对于基座12的位置固定。在镜单元2中，可动镜11的镜面11a及固定镜21的镜面21a朝向z轴方向上的一侧(分光镜单元3侧)。

镜单元2除了光学装置10及固定镜21以外，还具有支撑体22、子基台23及封装体24。封装体24收纳光学装置10、固定镜21、支撑体22及子基台23。封装体24包含底壁241、侧壁242及顶壁243。封装体24例如形成为长方体箱状。封装体24例如具有30×25×10(厚度)mm左右的尺寸。底壁241及侧壁242相互一体地形成。顶壁243在z轴方向与底壁241相对，且固定于侧壁242。顶壁243相对于测定光l0具有透光性。在镜单元2中，通过封装体24而形成有空间s。空间s例如经由设置于封装体24的通气孔或间隙等而向镜单元2的外部开放。在如此空间s并非气密的空间的情况下，可抑制来自存在于封装体24内的树脂材料的释气、或存在于封装体24内的水分等所引起的镜面11a的污染或污点等。再者，空间s也可为维持有较高的真空度的气密的空间、或者填充有氮气等不活泼气体的气密的空间。

在底壁241的内面，经由子基台23而固定有支撑体22。支撑体22例如形成为矩形板状。支撑体22相对于测定光l0具有透光性。在支撑体22中的与子基台23相反侧的表面22a，固定有光学装置10的基座12。即，基座12通过支撑体22而支撑。在支撑体22的表面22a，形成有凹部22b，在光学装置10与顶壁243之间，形成有间隙(空间s的一部分)。由此，在可动镜11沿着z轴方向移动时，防止可动镜11及驱动部13接触于支撑体22及顶壁243。

在子基台23，形成有开口23a。固定镜21以位于开口23a内的方式，配置于支撑体22中的子基台23侧的表面22c。即，固定镜21配置于支撑体22中的与基座12相反侧的表面22c。在自z轴方向观察的情况下，固定镜21配置于x轴方向上的可动镜11的一侧。在自z轴方向观察的情况下，固定镜21与光学装置10的第1光学功能部17重叠。

镜单元2还具有多个引线接脚25及多个导线26。各引线接脚25以贯通底壁241的状态，固定于底壁241。各引线接脚25经由导线26而与驱动部13电连接。在镜单元2中，用于使可动镜11沿着z轴方向移动的电信号经由多个引线接脚25及多个导线26而赋予至驱动部13。

分光镜单元3通过封装体24的顶壁243而支撑。具体而言，分光镜单元3通过光学树脂4而固定于顶壁243中的与光学装置10相反侧的表面243a。光学树脂4相对于测定光l0具有透光性。

分光镜单元3具有半反射镜面31、全反射镜面32及多个光学面33a、33b、33c、33d。分光镜单元3通过将多个光学区块接合而构成。半反射镜面31例如通过电介质多层膜而形成。全反射镜面32例如通过金属膜而形成。

光学面33a是例如与z轴方向垂直的面，在自z轴方向观察的情况下，与光学装置10的第1光学功能部17及固定镜21的镜面21a重叠。光学面33a使沿着z轴方向入射的测定光l0透过。

半反射镜面31是例如相对于光学面33a倾斜45度的面，在自z轴方向观察的情况下，与光学装置10的第1光学功能部17及固定镜21的镜面21a重叠。半反射镜面31使沿着z轴方向入射至光学面33a的测定光l0的一部分沿着x轴方向反射且使该测定光l0的剩余部分沿着z轴方向透过至固定镜21侧。

全反射镜面32是与半反射镜面31平行的面，在自z轴方向观察的情况下与可动镜11的镜面11a重叠且在自x轴方向观察的情况下与半反射镜面31重叠。全反射镜面32使通过半反射镜面31而反射的测定光l0的一部分沿着z轴方向反射至可动镜11侧。

光学面33b是与光学面33a平行的面，在自z轴方向观察的情况下与可动镜11的镜面11a重叠。光学面33b使通过全反射镜面32而反射的测定光l0的一部分沿着z轴方向透过至可动镜11侧。

光学面33c是与光学面33a平行的面，在自z轴方向观察的情况下与固定镜21的镜面21a重叠。光学面33c使透过半反射镜面31的测定光l0的剩余部分沿着z轴方向透过至固定镜21侧。

光学面33d是例如与x轴方向垂直的面，在自x轴方向观察的情况下与半反射镜面31及全反射镜面32重叠。光学面33d使测定光l1沿着x轴方向透过。测定光l1为由可动镜11的镜面11a及全反射镜面32依次反射后透过半反射镜面31的测定光l0的一部分、与由固定镜21的镜面21a及半反射镜面31依次反射的测定光l0的剩余部分的干涉光。

在以如上的方式构成的光模块1中，若测定光l0自光模块1的外部经由光学面33a而入射至分光镜单元3，则测定光l0的一部分由半反射镜面31及全反射镜面32依次反射，朝向可动镜11的镜面11a前进。然后，测定光l0的一部分由可动镜11的镜面11a反射，在相同的光路(下述光路p1)上向相反方向前进，透过分光镜单元3的半反射镜面31。

另一方面，测定光l0的剩余部分透过分光镜单元3的半反射镜面31之后，通过第1光学功能部17，再有，透过支撑体22，朝向固定镜21的镜面21a前进。然后，测定光l0的剩余部分由固定镜21的镜面21a反射，在相同的光路(下述的光路p2)上向相反方向前进，由分光镜单元3的半反射镜面31反射。

透过分光镜单元3的半反射镜面31的测定光l0的一部分、与由分光镜单元3的半反射镜面31反射的测定光l0的剩余部分成为干涉光即测定光l1，测定光l1自分光镜单元3经由光学面33d而向光模块1的外部出射。根据光模块1，由于可使可动镜11沿着z轴方向以高速往返移动，因而可提供小型且高精度的ftir(傅立叶变换型红外分光分析仪)。

支撑体22修正分光镜单元3与可动镜11之间的光路p1、和分光镜单元3与固定镜21之间的光路p2之间的光路差。具体而言，光路p1为自半反射镜面31依次经由全反射镜面32及光学面33b而到达至位于基准位置的可动镜11的镜面11a的光路，且为测定光l0的一部分前进的光路。光路p2为自半反射镜面31依次经由光学面33c及第1光学功能部17而到达至固定镜21的镜面21a的光路，且为测定光l0的剩余部分前进的光路。支撑体22以光路p1的光路长度(考虑到光路p1所通过的各介质的折射率的光路长度)与光路p2的光路长度(考虑到光路p2所通过的各介质的折射率的光路长度)的差变小(例如消失)的方式，修正光路p1与光路p2之间的光路差。再者，支撑体22例如可通过与构成分光镜单元3的各光学区块相同的透光性材料而形成。在该情况下，支撑体22的厚度(z轴方向上的长度)可与x轴方向上的半反射镜面31与全反射镜面32的距离相同。

[光学装置的结构]

如图2～图6所示，可动镜11中镜面11a以外的部分、基座12、驱动部13、第1光学功能部17及第2光学功能部18通过soi(silicononinsulator(绝缘层上硅))基板50而构成。即，光学装置10通过soi基板50而构成。光学装置10例如形成为矩形板状。光学装置10例如具有15×10×0.3(厚度)mm左右的尺寸。soi基板50具有支撑层51、装置层52及中间层53。支撑层51为第1硅层。装置层52为第2硅层。中间层53为配置于支撑层51与装置层52之间的绝缘层。

基座12通过支撑层51、装置层52及中间层53的一部分而形成。基座12的主面12a为装置层52中的与中间层53相反侧的表面。基座12中的与主面12a相反侧的主面12b为支撑层51中的与中间层53相反侧的表面。在光模块1中，基座12的主面12a与支撑体22的表面22a相互接合(参照图1)。

可动镜11以轴线r1与轴线r2的交点为中心位置(重心位置)而配置。轴线r1为在x轴方向延伸的直线。轴线r2为在与x轴方向及z轴方向垂直的y轴方向(与y轴平行的方向，第2方向)延伸的直线。光学装置10在自z轴方向观察的情况下，呈关于轴线r1线对称且关于轴线r2线对称的形状。

可动镜11具有主体部111、框部112(电极支撑部)及一对连结部113。主体部111在自z轴方向观察的情况下呈圆形状。主体部111具有中央部114及外缘部115。在中央部114中的主面12b侧的表面上，例如，通过形成金属膜，而设置有圆形状的镜面11a。中央部114通过装置层52的一部分而形成。外缘部115自z轴方向观察的情况下包围中央部114。外缘部115具有第1主体部115a及第1梁部115b。第1主体部115a通过装置层52的一部分而形成。

第1梁部115b通过支撑层51及中间层53的一部分而形成。第1梁部115b设置于第1主体部115a中的主面12b侧的表面上。第1梁部115b以z轴方向上的外缘部115的厚度较z轴方向上的中央部114的厚度厚的方式形成。第1梁部115b在自z轴方向观察的情况下，呈圆环状，且包围镜面11a。第1梁部115b在自z轴方向观察的情况下，沿着主体部111的外缘延伸。在本实施方式中，第1梁部115b的外缘在自z轴方向观察的情况下，自主体部111的外缘空开规定的间隔，沿着主体部111的外缘延伸。第1梁部115b的内缘在自z轴方向观察的情况下，自镜面11a的外缘空开规定的间隔，沿着镜面11a的外缘延伸。

框部112在自z轴方向观察的情况下，自主体部111空开规定的间隔而包围主体部111。框部112在自z轴方向观察的情况下呈圆环状。框部112以沿着可动镜11的外缘的方式(以构成可动镜11的外缘的方式)配置。框部112具有第2主体部112a及第2梁部112b。第2主体部112a通过装置层52的一部分而形成。

第2梁部112b通过支撑层51及中间层53的一部分而形成。第2梁部112b设置于第2主体部112a中的主面12b侧的表面上。第2梁部112b以z轴方向上的框部112的厚度较z轴方向上的中央部114的厚度厚的方式形成。第2梁部112b在自z轴方向观察的情况下呈圆环状。第2梁部112b的外缘在自z轴方向观察的情况下，自框部112的外缘空开规定的间隔，沿着框部112的外缘延伸。第2梁部112b的内缘在自z轴方向观察的情况下，自框部112的内缘空开规定的间隔，沿着框部112的内缘延伸。

z轴方向上的第2梁部112b的厚度与z轴方向上的第1梁部115b的厚度相等。在自z轴方向观察的情况下，第2梁部112b的宽度较第1梁部115b的宽度宽。再者，所谓自z轴方向观察的情况下的第1梁部115b的宽度，是指与第1梁部115b的延伸方向垂直的方向上的第1梁部115b的长度，在本实施方式中，为第1梁部115b的半径方向上的第1梁部115b的长度。该方面针对自z轴方向观察的情况下的第2梁部112b的宽度也相同。

一对连结部113分别将主体部111与框部112相互连结。一对连结部113相对于主体部111分别配置于y轴方向上的一侧与另一侧。各连结部113具有第3主体部113a及第3梁部113b。第3主体部113a通过装置层52的一部分而形成。第3主体部113a连接于第1主体部115a及第2主体部112a。

第3梁部113b通过支撑层51及中间层53的一部分而形成。第3梁部113b连接于第1梁部115b及第2梁部112b。第3梁部113b设置于第3主体部113a中的主面12b侧的表面上。第3梁部113b以z轴方向上的连结部113的厚度较z轴方向上的中央部114的厚度厚的方式形成。z轴方向上的第3梁部113b的厚度与z轴方向上的第1梁部115b及第2梁部112b的各自的厚度相等。第3梁部113b的宽度大于第1梁部115b及第2梁部112b的各自的宽度。所谓第3梁部113b的宽度，是指沿着第1梁部115b的延伸方向的第3梁部113b的长度。

可动镜11还具有一对支架116及一对支架117。各支架116及各支架117通过装置层52的一部分而形成。各支架116沿着y轴方向延伸，且在自z轴方向观察的情况下呈矩形状。一个支架116自框部112的侧面朝向y轴方向上的一侧突出，另一个支架116自框部112的侧面朝向y轴方向上的另一侧突出。一对支架116配置于与y轴方向平行的相同的中心线上。各支架116相对于主体部111的中心配置于第1光学功能部17侧。

各支架117沿着y轴方向延伸，且在自z轴方向观察的情况下呈矩形状。一个支架117自框部112的侧面朝向y轴方向上的一侧突出，另一个支架117自框部112的侧面朝向y轴方向上的另一侧突出。一对支架117配置于与y轴方向平行的相同的中心线上。各支架117相对于主体部111的中心配置于第2光学功能部18侧。

驱动部13具有第1弹性支撑部14、第2弹性支撑部15及致动器部16。第1弹性支撑部14、第2弹性支撑部15及致动器部16中，下述第4梁部141e、第5梁部147b、第6梁部151e及第7梁部157b以外的部分通过装置层52的一部分而形成。

第1弹性支撑部14及第2弹性支撑部15分别连接于基座12与可动镜11之间。第1弹性支撑部14及第2弹性支撑部15以可动镜11能够沿着z轴方向移动的方式支撑可动镜11。

第1弹性支撑部14具有一对杆141、连杆142、连杆143、一对第1扭力棒(扭转支撑部)145、一对第2扭力棒(扭转支撑部)146、及一对电极支撑部147。一对杆141配置于y轴方向上的第1光学功能部17的两侧。各杆141呈沿着与z轴方向垂直的平面延伸的板状。在本实施方式中，各杆141沿着x轴方向延伸。

连杆142架设于一对杆141中的可动镜11侧的端部141a间。连杆142呈沿着与z轴方向垂直的平面延伸的板状。连杆142的两端部沿着y轴方向延伸。连杆142的中间部沿着框部112延伸，且朝向与可动镜11相反侧弯曲为凸状。连杆143架设于一对杆141中的与可动镜11相反侧的端部141b间。连杆143呈沿着与z轴方向垂直的平面延伸的板状，且沿着y轴方向延伸。在本实施方式中，第1光学功能部17为通过一对杆141、连杆142及连杆143而划定的开口部。第1光学功能部17在自z轴方向观察的情况下呈矩形状。第1光学功能部17例如为空腔。或者，也可在构成第1光学功能部17的开口部内，配置相对于测定光l0具有透光性的材料。

一对第1扭力棒145分别架设于一个支架116的前端部与一个端部141a之间、及另一个支架116的前端部与另一个端部141a之间。即，一对第1扭力棒145分别连接于一对杆141与可动镜11之间。各第1扭力棒145沿着y轴方向延伸。一对第1扭力棒145配置于与y轴方向平行的相同的中心线上。

一对第2扭力棒146分别架设于一个杆141中的与可动镜11相反侧的端部141b与基座12之间、及另一个杆141中的与可动镜11相反侧的端部141b与基座12之间。即，一对第2扭力棒146分别连接于一对杆141与基座12之间。各第2扭力棒146沿着y轴方向延伸。一对第2扭力棒146配置于与y轴方向平行的相同的中心线上。在各杆141的端部141b，设置有向y轴方向上的外侧突出的突出部141c，第2扭力棒146连接于突出部141c。

各电极支撑部147沿着y轴方向延伸，且在自z轴方向观察的情况下呈矩形状。一个电极支撑部147自一个杆141的中间部朝向与第1光学功能部17相反侧延伸。另一个电极支撑部147自另一个杆141的中间部向与第1光学功能部17相反侧突出。一对电极支撑部147在自z轴方向观察的情况下，配置于与y轴方向平行的相同的中心线上。

第2弹性支撑部15具有一对杆151、连杆152、连杆153、一对第1扭力棒(扭转支撑部)155、一对第2扭力棒(扭转支撑部)156、及一对电极支撑部157。一对杆151配置于y轴方向上的第2光学功能部18的两侧。各杆151呈沿着与z轴方向垂直的平面延伸的板状。在本实施方式中，各杆151沿着x轴方向延伸。

连杆152架设于一对杆151中的可动镜11侧的端部151a间。连杆152呈沿着与z轴方向垂直的平面延伸的板状。连杆152的两端部沿着y轴方向延伸。连杆152的中间部沿着框部112延伸，且朝向与可动镜11相反侧弯曲为凸状。连杆153架设于一对杆151中的与可动镜11相反侧的端部151b间。连杆153呈沿着与z轴方向垂直的平面延伸的板状，且沿着y轴方向延伸。在本实施方式中，第2光学功能部18为通过一对杆151、连杆152及连杆153而划定的开口部。第2光学功能部18在自z轴方向观察的情况下呈矩形状。第2光学功能部18例如为空腔。或者，也可在构成第2光学功能部18的开口部内，配置相对于测定光l0具有透光性的材料。

一对第1扭力棒155分别架设于一个支架117的前端部与一个端部151a之间、及另一个支架117的前端部与另一个端部151a之间。即，一对第1扭力棒155分别连接于一对杆151与可动镜11之间。各第1扭力棒155沿着y轴方向延伸。一对第1扭力棒155配置于与y轴方向平行的相同的中心线上。

一对第2扭力棒156分别架设于一个杆151中的与可动镜11相反侧的端部151b与基座12之间、及另一个杆151中的与可动镜11相反侧的端部151b与基座12之间。即，一对第2扭力棒156分别连接于一对杆151与基座12之间。各第2扭力棒156沿着y轴方向延伸。一对第2扭力棒156配置于与y轴方向平行的相同的中心线上。在各杆151的端部151b，设置有向y轴方向上的外侧突出的突出部151c，第2扭力棒156连接于突出部151c。

各电极支撑部157沿着y轴方向延伸，且在自z轴方向观察的情况下呈矩形状。一个电极支撑部157自一个杆151的中间部朝向与第2光学功能部18相反侧延伸。另一个电极支撑部157自另一个杆151的中间部向与第2光学功能部18相反侧突出。一对电极支撑部157在自z轴方向观察的情况下，配置于与y轴方向平行的相同的中心线上。

致动器部16沿着z轴方向使可动镜11移动。致动器部16具有一对第1固定梳齿电极161、一对第1可动梳齿电极162、一对第1固定梳齿电极163、一对第1可动梳齿电极164、一对第2固定梳齿电极165、及一对第2可动梳齿电极166。第1固定梳齿电极161、163及第2固定梳齿电极165的位置固定。第1可动梳齿电极162、164及第2可动梳齿电极166伴随可动镜11的移动而移动。

一个第1固定梳齿电极161设置于基座12的装置层52中的与一个电极支撑部147相对的表面。另一个第1固定梳齿电极161设置于装置层52中的与另一个电极支撑部147相对的表面。各第1固定梳齿电极161具有沿着与y轴方向垂直的平面延伸的多个第1固定梳齿161a。这些第1固定梳齿161a在y轴方向空开规定的间隔排列而配置。

一个第1可动梳齿电极162设置于一个电极支撑部147中的x轴方向的另一侧(电极支撑部157侧)的表面。另一个第1可动梳齿电极162设置于另一个电极支撑部147中的x轴方向的另一侧的表面。即，一对第1可动梳齿电极162分别通过一对电极支撑部147而支撑。各第1可动梳齿电极162具有沿着与y轴方向垂直的平面延伸的多个第1可动梳齿162a。这些第1可动梳齿162a在y轴方向空开规定的间隔排列而配置。

在一个第1固定梳齿电极161及一个第1可动梳齿电极162中，多个第1固定梳齿161a与多个第1可动梳齿162a相互交替地配置。即，一个第1固定梳齿电极161的各第1固定梳齿161a位于一个第1可动梳齿电极162的第1可动梳齿162a间。在另一个第1固定梳齿电极161及另一个第1可动梳齿电极162中，多个第1固定梳齿161a与多个第1可动梳齿162a相互交替地配置。即，另一个第1固定梳齿电极161的各第1固定梳齿161a位于另一个第1可动梳齿电极162的第1可动梳齿162a间。在一对第1固定梳齿电极161及一对第1可动梳齿电极162中，相邻的第1固定梳齿161a与第1可动梳齿162a在y轴方向上相互相对。相邻的第1固定梳齿161a及第1可动梳齿162a间的距离例如为数μm左右。

一个第1固定梳齿电极163设置于基座12的装置层52中的与一个电极支撑部157相对的表面。另一个第1固定梳齿电极163设置于装置层52中的与另一个电极支撑部157相对的表面。各第1固定梳齿电极163具有沿着与y轴方向垂直的平面延伸的多个第1固定梳齿163a。这些第1固定梳齿163a在y轴方向空开规定的间隔排列而配置。

一个第1可动梳齿电极164设置于一个电极支撑部157中的x轴方向的一侧(电极支撑部147侧)的表面。另一个第1可动梳齿电极164设置于另一个电极支撑部157中的x轴方向的一侧的表面。即，一对第1可动梳齿电极164分别通过一对电极支撑部157而支撑。各第1可动梳齿电极164具有沿着与y轴方向垂直的平面延伸的多个第1可动梳齿164a。这些第1可动梳齿164a在y轴方向空开规定的间隔排列而配置。

在一个第1固定梳齿电极163及一个第1可动梳齿电极164中，多个第1固定梳齿163a与多个第1可动梳齿164a相互交替地配置。即，一个第1固定梳齿电极163的各第1固定梳齿163a位于一个第1可动梳齿电极164的第1可动梳齿164a间。在另一个第1固定梳齿电极163及另一个第1可动梳齿电极164中，多个第1固定梳齿163a与多个第1可动梳齿164a相互交替地配置。即，另一个第1固定梳齿电极163的各第1固定梳齿163a位于另一个第1可动梳齿电极164的第1可动梳齿164a间。在一对第1固定梳齿电极163及一对第1可动梳齿电极164中，相邻的第1固定梳齿163a与第1可动梳齿164a在y轴方向上相互相对。相互相邻的第1固定梳齿163a及第1可动梳齿164a间的距离例如为数μm左右。

一对第2固定梳齿电极165沿着可动镜11的外缘配置。一对第2固定梳齿电极165在基座12的装置层52中，分别设置于框部112中的与y轴方向的外侧的表面相对的表面。各第2固定梳齿电极165具有沿着与x轴方向垂直的平面延伸的多个第2固定梳齿165a。这些第2固定梳齿165a在x轴方向空开规定的间隔排列而配置。

一对第2可动梳齿电极166沿着可动镜11的外缘配置。一对第2可动梳齿电极166分别设置于框部112中的y轴方向的外侧的表面。即，框部112构成支撑各第2可动梳齿电极166的电极支撑部。各第2可动梳齿电极166具有沿着与x轴方向垂直的平面延伸的多个第2可动梳齿166a。这些第2可动梳齿166a在x轴方向空开规定的间隔排列而配置。

在一个第2固定梳齿电极165及一个第2可动梳齿电极166中，多个第2固定梳齿165a与多个第2可动梳齿166a相互交替地配置。即，一个第2固定梳齿电极165的各第2固定梳齿165a位于一个第2可动梳齿电极166的第2可动梳齿166a间。在另一个第2固定梳齿电极165及另一个第2可动梳齿电极166中，多个第2固定梳齿165a与多个第2可动梳齿166a相互交替地配置。即，另一个第2固定梳齿电极165的各第2固定梳齿165a位于另一个第2可动梳齿电极166的第2可动梳齿166a间。在一对第2固定梳齿电极165及一对第2可动梳齿电极166中，相邻的第2固定梳齿165a与第2可动梳齿166a在x轴方向上相互相对。相邻的第2固定梳齿165a及第2可动梳齿166a间的距离例如为数μm左右。

在基座12设置有多个电极垫121、122。各电极垫121、122以到达至装置层52的方式在形成于基座12的主面12b的开口12c内，形成于装置层52的表面。各电极垫121经由装置层52，而与第1固定梳齿电极161、第1固定梳齿电极163或第2固定梳齿电极165电连接。几个电极垫122经由第1弹性支撑部14或第2弹性支撑部15，而与第1可动梳齿电极162或第1可动梳齿电极164电连接。其他电极垫122经由第1弹性支撑部14及可动镜11的框部112，或者经由第2弹性支撑部15及可动镜11的框部112，而与第2可动梳齿电极166电连接。导线26架设于各电极垫121、122与各引线接脚25之间。

第1固定梳齿电极161、163及第1可动梳齿电极162、164用作驱动用的电极。具体而言，若经由多个引线接脚25及多个导线26，而对多个电极垫121与多个电极垫122之间施加电压，则例如以向z轴方向上的一侧使可动镜11移动的方式，在相互相对的第1固定梳齿电极161与第1可动梳齿电极162之间、及相互相对的第1固定梳齿电极163与第1可动梳齿电极164之间产生静电力。此时，在第1弹性支撑部14及第2弹性支撑部15中各第1扭力棒145、155及各第2扭力棒146、156扭转，在第1弹性支撑部14及第2弹性支撑部15产生弹性力。在光学装置10中，通过经由多个引线接脚25及多个导线26而对第1固定梳齿电极161、163及第1可动梳齿电极162、164赋予周期性的电信号，可沿着z轴方向使可动镜11以其共振频率水平往返移动。如此，驱动部13作为静电致动器而发挥功能。

第2固定梳齿电极165及第2可动梳齿电极166用作监视用的电极。具体而言，经由多个引线接脚25及多个导线26、以及多个电极垫121及多个电极垫122，而检测第2固定梳齿电极165与第2可动梳齿电极166之间的静电容量。该静电容量根据z轴方向上的可动镜11的位置而变化。因此，通过根据检测出的静电容量调整驱动振动(所施加的电压的大小、周期等)，可反馈控制可动镜11的位置。

[各部的详细的结构]

一面参照图2～图6，一面对框部112、杆141、151及电极支撑部147、157的结构进一步进行说明。

如上所述，框部112构成支撑各第2可动梳齿电极166的电极支撑部。另外，如上所述，框部112具有以z轴方向上的框部112的厚度较z轴方向上的中央部114的厚度厚的方式形成的第2梁部112b。此处，z轴方向上的框部112的厚度较z轴方向上的第2可动梳齿166a的厚度厚(参照图5)。即，第2梁部112b以z轴方向上的框部112的厚度较z轴方向上的第2可动梳齿166a的厚度厚的方式形成。

各杆141具有第4主体部141d及第4梁部141e。第4主体部141d通过装置层52的一部分而形成。第4梁部141e通过支撑层51及中间层53的一部分而形成。第4梁部141e设置于第4主体部141d中的主面12b侧的表面上。第4梁部141e在自z轴方向观察的情况下呈长条的矩形状。

第4梁部141e在各杆141中，以如下方式形成。第4梁部141e以z轴方向上的杆141的厚度较z轴方向上的第1可动梳齿162a的厚度厚的方式形成。第4梁部141e遍及杆141中的两者的端部141a、141b间，沿着x轴方向延伸。即，第4梁部141e在杆141中，遍及与第1扭力棒145的连接位置和与连杆143的连接位置之间而延伸。第4梁部141e中的y轴方向的外缘(与第1光学功能部17相反侧的边缘)在自z轴方向观察的情况下，自杆141中的y轴方向的外缘空开规定的间隔，沿着该外缘延伸。第4梁部141e中的y轴方向的内缘(第1光学功能部17侧的边缘)在自z轴方向观察的情况下，自杆141中的y轴方向的内缘空开规定的间隔，沿着该内缘延伸。

各电极支撑部147具有第5主体部147a及第5梁部147b。第5主体部147a通过装置层52的一部分而形成。第5主体部147a连接于第4主体部141d。第1可动梳齿电极162自第5主体部147a延伸。第5梁部147b通过支撑层51及中间层53的一部分而形成。第5梁部147b设置于第5主体部147a中的主面12b侧的表面上。第5梁部147b连接于第4梁部141e。第5梁部147b在自z轴方向观察的情况下呈矩形状。

第5梁部147b在各电极支撑部147中，以如下方式形成。第5梁部147b以z轴方向上的电极支撑部147的厚度较z轴方向上的第1可动梳齿162a的厚度厚的方式形成。第5梁部147b遍及电极支撑部147的两端部间，沿着y轴方向延伸。第5梁部147b中的x轴方向的一侧的边缘在自z轴方向观察的情况下，自电极支撑部147中的x轴方向的一侧的边缘空开规定的间隔，沿着该边缘延伸。第5梁部147b中的x轴方向的另一侧的边缘在自z轴方向观察的情况下，自电极支撑部147中的x轴方向的另一侧的边缘空开规定的间隔，沿着该边缘延伸。

z轴方向上的第4梁部141e的厚度与z轴方向上的第1梁部115b的厚度相等。第4梁部141e的宽度(y轴方向上的长度)较第1梁部115b的宽度宽，且与第2梁部112b的宽度大致相等。第5梁部147b的厚度与第4梁部141e的厚度大致相等。第5梁部147b的宽度(x轴方向上的长度)与第4梁部141e的宽度大致相等，或较第4梁部141e的宽度稍微小。z轴方向上的第1梁部115b、第4梁部141e及第5梁部147b的各自的厚度较z轴方向上的第1扭力棒145及第2扭力棒146的厚度厚。

为了抑制可动镜11沿着z轴方向移动时的支撑第1可动梳齿电极162的电极支撑部147的应变，而z轴方向上的电极支撑部147的厚度t1、及z轴方向上的第1可动梳齿162a的厚度t2也可满足下述式(2)。

t1³×w1/c1³≧n1×t2³×w2/c2³…(2)

在上述式(1)中，w1为电极支撑部147的宽度(x轴方向上的长度)，c1为电极支撑部147的长度(y轴方向上的长度)，n1为1个第1可动梳齿电极162中所包含的第1可动梳齿162a的根数，w2为第1可动梳齿162a的宽度(y轴方向上的长度)，c2为自z轴方向观察的情况下的第1可动梳齿162a的长度(x轴方向上的长度)。由此，能够使电极支撑部147与第1可动梳齿电极162相比不易应变。

在本实施方式中，为了确保第1固定梳齿电极161及第1可动梳齿电极162与可动镜11之间的距离，而各电极支撑部147及各第1可动梳齿电极162在x轴方向(杆141的延伸方向)上，以相对于杆141的中心a位于与可动镜11相反侧的方式配置(参照图2)。

各杆151具有第6主体部151d及第6梁部151e。第6主体部151d通过装置层52的一部分而形成。第6梁部151e通过支撑层51及中间层53的一部分而形成。第6梁部151e设置于第6主体部151d中的主面12b侧的表面上。第6梁部151e在自z轴方向观察的情况下呈长条的矩形状。

第6梁部151e在各杆151中，以如下方式形成。第6梁部151e以z轴方向上的杆151的厚度较z轴方向上的第1可动梳齿164a的厚度厚的方式形成。第6梁部151e遍及杆151中的两者的端部151a、151b间，沿着x轴方向延伸。即，第6梁部151e在杆151中，遍及与第1扭力棒155的连接位置、和与连杆153的连接位置之间而延伸。第6梁部151e中的y轴方向的外缘(与第2光学功能部18相反侧的边缘)在自z轴方向观察的情况下，自杆151中的y轴方向的外缘空开规定的间隔，沿着该外缘延伸。第6梁部151e中的y轴方向的内缘(第2光学功能部18侧的边缘)在自z轴方向观察的情况下，自杆151中的y轴方向的内缘空开规定的间隔，沿着该内缘延伸。第6梁部151e例如形成为与第4梁部141e相同的形状。

各电极支撑部157具有第7主体部157a及第7梁部157b。第7主体部157a通过装置层52的一部分而形成。第7主体部157a连接于第6主体部151d。第1可动梳齿电极164自第7主体部157a延伸。第7梁部157b通过支撑层51及中间层53的一部分而形成。第7梁部157b设置于第7主体部157a中的主面12b侧的表面上。第7梁部157b连接于第6梁部151e。第7梁部157b在自z轴方向观察的情况下呈矩形状。

第7梁部157b在各电极支撑部157中，以如下方式形成。第7梁部157b以z轴方向上的电极支撑部157的厚度较z轴方向上的第1可动梳齿164a的厚度厚的方式形成。第7梁部157b遍及电极支撑部157的两端部间，沿着y轴方向延伸。第7梁部157b中的x轴方向的一侧的边缘在自z轴方向观察的情况下，自电极支撑部157中的x轴方向的一侧的边缘空开规定的间隔，沿着该边缘延伸。第7梁部157b中的x轴方向的另一侧的边缘在自z轴方向观察的情况下，自电极支撑部157中的x轴方向的另一侧的边缘空开规定的间隔，沿着该边缘延伸。第7梁部157b例如形成为与第5梁部147b相同的形状。

为了抑制可动镜11沿着z轴方向移动时的支撑第1可动梳齿电极164的电极支撑部157的应变，而z轴方向上的电极支撑部157的厚度t3、及z轴方向上的第1可动梳齿164a的厚度t4也可满足下述式(3)。

t3³×w3/c3³≧n2×t4³×w4/c4³…(3)

在上述式(3)中，w3为电极支撑部157的宽度(x轴方向上的长度)，c1为电极支撑部157的长度(y轴方向上的长度)，n2为1个第1可动梳齿电极164中所包含的第1可动梳齿164a的根数，w4为第1可动梳齿164a的宽度(y轴方向上的长度)，c4为第1可动梳齿164a的长度(x轴方向上的长度)。由此，能够使电极支撑部157与第1可动梳齿电极164相比不易应变。

在本实施方式中，为了确保自第1固定梳齿电极163及第1可动梳齿电极164至可动镜11的距离，而各电极支撑部157及各第1可动梳齿电极164在x轴方向(杆151的延伸方向)上，以相对于杆151的中心b位于与可动镜11相反侧的方式配置(参照图2)。

[作用及效果]

在以上所说明的光学装置10中，通过形成第5梁部147b，而z轴方向上的电极支撑部147的厚度较z轴方向上的第1可动梳齿162a的厚度厚，通过该电极支撑部147而支撑第1可动梳齿电极162。另外，通过形成第7梁部157b，而z轴方向上的电极支撑部157的厚度较z轴方向上的第1可动梳齿164a的厚度厚，通过该电极支撑部157而支撑第1可动梳齿电极164。另外，通过形成第2梁部112b，而z轴方向上的框部112的厚度较z轴方向上的第2可动梳齿166a的厚度厚，通过该框部112而支撑第2可动梳齿电极166。由此，可抑制在可动镜11沿着z轴方向移动时，支撑第1可动梳齿电极162、164及第2可动梳齿电极166的电极支撑部147、157及框部112应变。因此，可使第1可动梳齿电极162、164及第2可动梳齿电极166与可动镜11一体地移动，可抑制相互相邻的第1可动梳齿162a与第1固定梳齿161a之间的间隔、相互相邻的第1可动梳齿164a与第1固定梳齿163a之间的间隔、及相互相邻的第2可动梳齿166a与第2固定梳齿165a之间的间隔变动。其结果，可提高可靠性。

另外，在光学装置10中，通过自杆141延伸的电极支撑部147、及自杆151延伸的电极支撑部157，可抑制第1可动梳齿电极162、164与第1固定梳齿电极161、163之间的间隔变动。

另外，在光学装置10中，第1可动梳齿电极162在x轴方向上，相对于杆141的中心a位于与可动镜11相反侧。由此，即使可动镜11沿着z轴方向大幅度移动，第1可动梳齿162a也不易自相互相邻的第1固定梳齿161a间的区域偏移。另外，第1可动梳齿电极164在x轴方向上，相对于杆151的中心b位于与可动镜11相反侧。由此，即使可动镜11沿着z轴方向大幅度移动，第1可动梳齿164a也不易自相互相邻的第1固定梳齿163a间的区域偏移。因此，遍及可动镜11的可动范围的整体，可使第1固定梳齿电极161与第1可动梳齿电极162之间、及第1固定梳齿电极163与第1可动梳齿电极164之间产生静电力。

另外，在光学装置10中，如图2所示，各电极支撑部147及各第1可动梳齿电极162在x轴方向上，位于将杆141三等分的点c、c间。另外，各电极支撑部157及各第1可动梳齿电极164在x轴方向上，位于将杆151三等分的点d、d间。由此，可同时实现遍及可动镜11的可动范围的整体，而使第1固定梳齿电极161与第1可动梳齿电极162之间、及第1固定梳齿电极163与第1可动梳齿电极164之间产生静电力，以及将该静电力作为可动镜11的驱动力高效率地利用。

另外，在光学装置10中，杆141具有以z轴方向上的杆141的厚度较z轴方向上的第1可动梳齿162a的厚度厚的方式形成的第4梁部141e。另外，杆151具有以z轴方向上的杆151的厚度较z轴方向上的第1可动梳齿164a的厚度厚的方式形成的第6梁部151e。由此，可进一步可靠地抑制第1可动梳齿电极162、164与第1固定梳齿电极161、163之间的间隔变动，可进一步提高可靠性。

另外，在光学装置10中，z轴方向上的电极支撑部147的厚度t1、及z轴方向上的第1可动梳齿162a的厚度t2满足上述式(2)。另外，z轴方向上的电极支撑部157的厚度t3、及z轴方向上的第1可动梳齿164a的厚度t4满足上述式(3)。由此，可更进一步可靠地抑制第1可动梳齿电极162、164与第1固定梳齿电极161、163之间的间隔变动。

另外，在光学装置10中，电极支撑部(框部112)以沿着可动镜11的外缘配置的方式，设置于可动镜11。由此，可确保自第1弹性支撑部14及第2弹性支撑部15中的相对于基座12的连接位置至第2可动梳齿电极166的距离。其结果，由于第2固定梳齿电极165与第2可动梳齿电极166之间的静电容量的变化较大，因而可容易且可靠地检测可动镜11的位置。

另外，在光学装置10中，通过框部112而构成电极支撑部。由此，可通过包围主体部111的框部112而抑制第2可动梳齿电极166与第2固定梳齿电极165之间的间隔变动。另外，在光学装置10中，可动镜11具有：主体部111；框部112，其在自z轴方向观察的情况下自主体部111空开规定的间隔而包围主体部；及连结部113，其将主体部111与框部112相互连结。由此，来自第1扭力棒145、155的剖面力(弯曲力矩)不易传递至主体部111，可抑制在可动镜11沿着z轴方向移动时主体部111应变。

另外，在光学装置10中，通过形成第1梁部115b，而z轴方向上的外缘部115的厚度较z轴方向上的中央部114的厚度厚。由此，可抑制在可动镜11沿着z轴方向移动时主体部111应变。另外，通过形成第2梁部112b，而z轴方向上的框部112的厚度较z轴方向上的中央部114的厚度厚。由此，可抑制在可动镜11沿着z轴方向移动时框部112应变，甚至可抑制由框部112的应变所引起的主体部111的应变。

[变形例]

以上，对本发明的一实施方式进行了说明，但本发明并不限定于上述实施方式。光学装置10也可如图7所示的第1变形例那样构成。在第1变形例中，在各杆141设置有一对电极支撑部147。在各电极支撑部147设置有第1可动梳齿电极162。一对电极支撑部147在各杆141中，以如下方式形成。一对电极支撑部147沿着x轴方向排列而配置。一个电极支撑部147配置于与上述实施方式的电极支撑部147相同的位置。另一个电极支撑部147、及通过另一个电极支撑部147而支撑的第1可动梳齿电极162在x轴方向上，相对于杆141的中心a位于可动镜11侧。更详细而言，另一个电极支撑部147、及通过另一个电极支撑部147而支撑的第1可动梳齿电极162在x轴方向上，位于较将杆141三等分的点c、c靠可动镜11侧。

在第1变形例中，在各杆151设置有一对电极支撑部157。在各电极支撑部157设置有第1可动梳齿电极164。一对电极支撑部157在各杆151中，以如下方式形成。一对电极支撑部157沿着x轴方向排列而配置。一个电极支撑部157配置于与上述实施方式的电极支撑部157相同的位置。另一个电极支撑部157、及通过另一个电极支撑部157而支撑的第1可动梳齿电极164在x轴方向上，相对于杆151的中心a位于可动镜11侧。更详细而言，另一个电极支撑部157、及通过另一个电极支撑部157而支撑的第1可动梳齿电极164在x轴方向上，位于较将杆151三等分的点d、d靠可动镜11侧。

根据此种第1变形例，也与上述实施方式同样地，可抑制支撑第1可动梳齿电极162、164的电极支撑部147、157应变，可提高可靠性。另外，在第1变形例中，另一个第1可动梳齿电极162在x轴方向上，相对于杆141的中心a位于可动镜11侧。由此，可确保自第1弹性支撑部14中的相对于基座12的连接位置至另一个第1可动梳齿电极162的距离。另外，另一个第1可动梳齿电极164在x轴方向上，相对于杆151的中心b位于可动镜11侧。由此，可确保自第2弹性支撑部15中的相对于基座12的连接位置至另一个第1可动梳齿电极164的距离。其结果，可将产生于第1固定梳齿电极161与第1可动梳齿电极162之间、及第1固定梳齿电极163与第1可动梳齿电极164之间的静电力作为可动镜11的驱动力高效率地利用。

另外，在第1变形例中，一对电极支撑部147及一对电极支撑部157沿着x轴方向排列而配置。由此，由于设置有多个电极支撑部147、157，因而可确保驱动力。在第1变形例中，通过使电极支撑部147、157的厚度增加而并非使宽度增加，抑制支撑第1可动梳齿电极162、164的电极支撑部147、157的应变，因而能够将多个电极支撑部147、157以沿着x轴方向排列的方式配置。再者，也可在一个杆141设置3个以上的电极支撑部。该方面针对杆151也相同。

光学装置10也可如图8所示的第2变形例那样构成。在第2变形例中，第1弹性支撑部14具有一对杆141、连杆142、连杆143、一对第1扭力棒145、一对第2扭力棒146、一对第2杆171、连杆172、及一对第3扭力棒173。各杆141呈端部141b朝向第1光学功能部17侧屈曲的形状。一对第2杆171配置于y轴方向上的杆141的两侧。各第2杆171呈沿着与z轴方向垂直的平面延伸的板状，且沿着杆141延伸。

连杆172架设于一对第2杆171中的与可动镜11相反侧的端部171a间。连杆172呈沿着与z轴方向垂直的平面延伸的板状，且沿着y轴方向延伸。连杆172相对于连杆143配置于与第1光学功能部17相反侧，且沿着连杆143延伸。一对第2扭力棒146分别架设于一个杆141的端部141b与一个第2杆171的端部171a之间、及另一个杆141的端部141b与另一个第2杆171的端部171a之间。一对第3扭力棒173架设于一个第2杆171中的可动镜11侧的端部171b与基座12之间、及另一个第2杆171中的可动镜11侧的端部171b与基座12之间。

在连杆172中的与第1光学功能部17相反侧的表面，设置有具有多个第1可动梳齿162a的第1可动梳齿电极162。即，连杆172构成支撑第1可动梳齿电极162的电极支撑部。各连杆172具有第8主体部172a及第8梁部172b。第8主体部172a通过装置层52的一部分而形成。第1可动梳齿电极162自第8主体部172a延伸。第8梁部172b通过支撑层51及中间层53的一部分而形成。第8梁部172b设置于第8主体部172a中的主面12b侧的表面上。

第8梁部172b以z轴方向上的连杆172的厚度较z轴方向上的第1可动梳齿162a的厚度厚的方式形成。第8梁部172b遍及连杆172的两端部间，沿着y轴方向延伸。第8梁部172b中的x轴方向的一侧的边缘在自z轴方向观察的情况下，自连杆172中的x轴方向的一侧的边缘空开规定的间隔，沿着该边缘延伸。第8梁部172b中的x轴方向的另一侧的边缘在自z轴方向观察的情况下，自连杆172中的x轴方向的另一侧的边缘空开规定的间隔，沿着该边缘延伸。

第2弹性支撑部15具有一对杆151、连杆152、连杆153、一对第1扭力棒155、一对第2扭力棒156、一对第2杆181、连杆182、及一对第3扭力棒183。各杆151呈端部151b朝向第2光学功能部18侧屈曲的形状。一对第2杆181配置于y轴方向上的杆151的两侧。各第2杆181呈沿着与z轴方向垂直的平面延伸的板状，且沿着杆151延伸。

连杆182架设于一对第2杆181中的与可动镜11相反侧的端部181a间。连杆182呈沿着与z轴方向垂直的平面延伸的板状，且沿着y轴方向延伸。连杆182相对于连杆153配置于与第2光学功能部18相反侧，且沿着连杆153延伸。一对第2扭力棒156分别架设于一个杆151的端部151b与一个第2杆181的端部181a之间、及另一个杆151的端部151b与另一个第2杆181的端部181a之间。一对第3扭力棒183架设于一个第2杆181中的可动镜11侧的端部181b与基座12之间、及另一个第2杆181中的可动镜11侧的端部181b与基座12之间。

在连杆182中的与第2光学功能部18相反侧的表面，设置有具有多个第1可动梳齿164a的第1可动梳齿电极164。即，连杆182构成支撑第1可动梳齿电极164的电极支撑部。各连杆182具有第9主体部182a及第9梁部182b。第9主体部182a通过装置层52的一部分而形成。第1可动梳齿电极164自第9主体部182a延伸。第9梁部182b通过支撑层51及中间层53的一部分而形成。第9梁部182b设置于第9主体部182a中的主面12b侧的表面上。

第9梁部182b以z轴方向上的连杆182的厚度较z轴方向上的第1可动梳齿164a的厚度厚的方式形成。第9梁部182b遍及连杆182的两端部间，沿着y轴方向延伸。第9梁部182b中的x轴方向的一侧的边缘在自z轴方向观察的情况下，自连杆182中的x轴方向的一侧的边缘空开规定的间隔，沿着该边缘延伸。第9梁部182b中的x轴方向的另一侧的边缘在自z轴方向观察的情况下，自连杆182中的x轴方向的另一侧的边缘空开规定的间隔，沿着该边缘延伸。

根据此种第2变形例，也与上述实施方式同样地，可抑制第1可动梳齿电极162、164及第2可动梳齿电极166与第1固定梳齿电极161、163及第2固定梳齿电极165之间的间隔变动，可提高可靠性。特别是在第2变形例中，通过架设于一对第2杆171间的连杆172、及架设于一对第2杆181间的连杆182，可抑制第1可动梳齿电极162、164与第1固定梳齿电极161、163之间的间隔变动。

光学装置10也可如图9所示的第3变形例那样构成。在第3变形例中，未设置第2固定梳齿电极165及第2可动梳齿电极166。框部112在自z轴方向观察的情况下呈八边形环状，第2梁部112b在自z轴方向观察的情况下呈八边形环状。可动镜11具有各一个支架116及支架117。支架116以向第1光学功能部17侧突出的方式，设置于框部112中的第1光学功能部17侧的表面。支架117以向第2光学功能部18侧突出的方式，设置于框部112中的第2光学功能部18侧的表面。

第1弹性支撑部14包含一对杆141、连杆142、一对第1扭力棒145、一对第2扭力棒146、一对支架174、一对延伸部175、一对支架176、连杆177、及一对非线性缓和弹簧178。一对杆141自可动镜11侧向y轴方向上的第1光学功能部17的两侧，沿着与z轴方向垂直的平面延伸。

各杆141具有配置于可动镜11侧的第1部分141f，及相对于第1部分141f配置于与可动镜11相反侧的第2部分141g。在一对杆141中，第1部分141f以越远离可动镜11越相互分离的方式倾斜地延伸。各第2部分141g沿着x轴方向延伸。一对支架174以向可动镜11侧突出的方式，设置于第1部分141f中的可动镜11侧的表面。各支架174在自z轴方向观察的情况下，呈向相同侧屈曲为曲柄状的形状。

各延伸部175在自z轴方向观察的情况下呈矩形状。一个延伸部175在一个杆141与可动镜11之间延伸，在y轴方向上较可动镜11更向外侧突出。另一个延伸部175在另一个杆141与可动镜11之间延伸，在y轴方向上较可动镜11更向外侧突出。一对延伸部175在自z轴方向观察的情况下，配置于与y轴方向平行的相同的中心线上。

在延伸部175中的x轴方向的两侧的表面，设置有具有多个第1可动梳齿162a的第1可动梳齿电极162。即，延伸部175构成支撑第1可动梳齿电极162的电极支撑部。各延伸部175具有第10主体部175a及第10梁部175b。第10主体部175a通过装置层52的一部分而形成。第1可动梳齿电极162自第10主体部175a延伸。第10梁部175b通过支撑层51及中间层53的一部分而形成。第10梁部175b设置于第10主体部175a中的主面12b侧的表面上。

第10梁部175b以z轴方向上的延伸部175的厚度较z轴方向上的第1可动梳齿162a的厚度厚的方式形成。第10梁部175b遍及延伸部175的两端部间，沿着y轴方向延伸。第10梁部175b中的x轴方向的一侧的边缘在自z轴方向观察的情况下，自延伸部175中的x轴方向的一侧的边缘空开规定的间隔，沿着该边缘延伸。第10梁部175b中的x轴方向的另一侧的边缘在自z轴方向观察的情况下，自延伸部175中的x轴方向的另一侧的边缘空开规定的间隔，沿着该边缘延伸。

一对支架176以向第1光学功能部17侧突出的方式，设置于延伸部175中的第1光学功能部17侧的表面。各支架176在自z轴方向观察的情况下，呈向相同侧(其中，与各支架174相反侧)屈曲为曲柄状的形状。一个支架176的前端部在y轴方向上与一个支架174的前端部相对。另一个支架176的前端部在y轴方向上与另一个支架174的前端部相对。

连杆177架设于一对延伸部175中的内侧的端部间。连杆177在自z轴方向观察的情况下，呈朝向可动镜11侧开口的大致u字状。连杆177在y轴方向上与可动镜11的支架116相对。更详细而言，连杆177具有在x轴方向延伸、且在y轴方向上相互相对的一对边部177a，支架116配置于一对边部177a间。

一对第1扭力棒145分别架设于一个支架174的前端部与一个支架176的前端部之间、及另一个支架174的前端部与另一个支架176的前端部之间。一对第2扭力棒146分别架设于一个杆141的端部141b与基座12之间、及另一个杆141的端部141b与基座12之间。

一对非线性缓和弹簧178相对于支架116分别配置于y轴方向的一侧与另一侧。各非线性缓和弹簧178经由支架116而连接于可动镜11，并且经由连杆177、延伸部175及支架176而连接于第1扭力棒145。即，各非线性缓和弹簧178连接于可动镜11与第1扭力棒145之间。各非线性缓和弹簧178具有架设于支架116与连杆177的一对边部177a之间的一对板状部178a。

各板状部178a呈与x轴方向垂直的平板状。在一个非线性缓和弹簧178中，一对板状部178a在x轴方向上相互相对。在一对非线性缓和弹簧178中，位于x轴方向上的一侧的板状部178a沿着与x轴方向垂直的一个平面配置，位于x轴方向上的另一侧的板状部178a沿着与x轴方向垂直的另一个平面配置。

各板状部178a的长度(y轴方向上的长度)较第1扭力棒145的长度及第2扭力棒146的长度的各者长。各板状部178a的宽度(x轴方向上的长度)较第1扭力棒145的宽度及第2扭力棒146的宽度的各者窄。非线性缓和弹簧178以如下方式构成：在可动镜11在z轴方向移动的状态下，y轴方向周围的非线性缓和弹簧178的变形量小于y轴方向周围的第1扭力棒145及第2扭力棒146的各自的变形量，且x轴方向上的非线性缓和弹簧178的变形量大于x轴方向上的第1扭力棒145及第2扭力棒146的各自的变形量。再者，所谓y轴方向周围的第1扭力棒145、第2扭力棒146及非线性缓和弹簧178的变形量，例如是指扭转量(扭转角度)的绝对值。所谓x轴方向上的第1扭力棒145、第2扭力棒146及非线性缓和弹簧178的变形量，例如是指挠曲量的绝对值。在板状部178a中的支架116侧及边部177a侧的至少一者的端部，设置有越接近该端部而宽度越宽的扩宽部的情况下，所谓板状部178a的长度，是指不包含该扩宽部在内的板状部178a的长度，所谓板状部178a的宽度，是指不包含该扩宽部在内的板状部178a的宽度。这些方面针对第1扭力棒145、155及第2扭力棒146、156、以及下述板状部188a的各者也相同。

第2弹性支撑部15包含一对杆151、连杆152、一对第1扭力棒155、一对第2扭力棒156、一对支架184、一对延伸部185、一对支架186、连杆187、及一对非线性缓和弹簧188。一对杆151自可动镜11侧向y轴方向上的第2光学功能部18的两侧，沿着与z轴方向垂直的平面延伸。

各杆151具有配置于可动镜11侧的第1部分151f，及相对于第1部分151f配置于与可动镜11相反侧的第2部分151g。在一对杆151中，第1部分151f以越远离可动镜11越相互分离的方式倾斜地延伸。各第2部分151g沿着x轴方向延伸。一对支架184以向可动镜11侧突出的方式，设置于第1部分151f中的可动镜11侧的表面。各支架184在自z轴方向观察的情况下，呈向相同侧(其中，与各支架174相反侧)屈曲为曲柄状的形状。

各延伸部185在自z轴方向观察的情况下呈矩形状。一个延伸部185在一个杆151与可动镜11之间延伸，在y轴方向上较可动镜11更向外侧突出。另一个延伸部185在另一个杆151与可动镜11之间延伸，在y轴方向上较可动镜11更向外侧突出。一对延伸部185在自z轴方向观察的情况下，配置于与y轴方向平行的相同的中心线上。

在延伸部185中的x轴方向的两侧的表面，设置有具有多个第1可动梳齿164a的第1可动梳齿电极164。即，延伸部185构成支撑第1可动梳齿电极164的电极支撑部。各延伸部185具有第11主体部185a及第11梁部185b。第11主体部185a通过装置层52的一部分而形成。第1可动梳齿电极164自第11主体部185a延伸。第11梁部185b通过支撑层51及中间层53的一部分而形成。第11梁部185b设置于第11主体部185a中的主面12b侧的表面上。

第11梁部185b以z轴方向上的延伸部185的厚度较z轴方向上的第1可动梳齿164a的厚度厚的方式形成。第11梁部185b遍及延伸部185的两端部间，沿着y轴方向延伸。第11梁部185b中的x轴方向的一侧的边缘在自z轴方向观察的情况下，自延伸部185中的x轴方向的一侧的边缘空开规定的间隔，沿着该边缘延伸。第11梁部185b中的x轴方向的另一侧的边缘在自z轴方向观察的情况下，自延伸部185中的x轴方向的另一侧的边缘空开规定的间隔，沿着该边缘延伸。

一对支架186以向第2光学功能部18侧突出的方式，设置于延伸部185中的第2光学功能部18侧的表面。各支架186在自z轴方向观察的情况下，呈向相同侧(其中，与各支架184相反侧)屈曲为曲柄状的形状。一个支架186的前端部在y轴方向上与一个支架184的前端部相对。另一个支架186的前端部在y轴方向上与另一个支架184的前端部相对。

连杆187架设于一对延伸部185中的内侧的端部间。连杆187在自z轴方向观察的情况下，呈朝向可动镜11侧开口的大致u字状。连杆187在y轴方向上与可动镜11的支架117相对。更详细而言，连杆187具有在x轴方向延伸、且在y轴方向上相互相对的一对边部187a，支架117配置于一对边部187a间。

一对第1扭力棒155分别架设于一个支架184的前端部与一个支架186的前端部之间、及另一个支架184的前端部与另一个支架186的前端部之间。一对第2扭力棒156分别架设于一个杆151的端部151b与基座12之间、及另一个杆151的端部151b与基座12之间。

一对非线性缓和弹簧188相对于支架117分别配置于y轴方向的一侧与另一侧。各非线性缓和弹簧188经由支架117而连接于可动镜11，且经由连杆187、延伸部185及支架186而连接于第1扭力棒155。即，各非线性缓和弹簧188连接于可动镜11与第1扭力棒155之间。各非线性缓和弹簧188具有架设于支架117与连杆187的一对边部187a之间的一对板状部188a。

各板状部188a呈与x轴方向垂直的平板状。在一个非线性缓和弹簧188中，一对板状部188a在x轴方向上相互相对。在一对非线性缓和弹簧188中，位于x轴方向上的一侧的板状部188a沿着与x轴方向垂直的一个平面配置，位于x轴方向上的另一侧的板状部188a沿着与x轴方向垂直的另一个平面配置。

各板状部188a例如形成为与板状部178a相同的形状。各板状部188a的长度较第1扭力棒155的长度及第2扭力棒156的长度的各者长。各板状部188a的宽度较第1扭力棒155的宽度及第2扭力棒156的宽度的各者窄。非线性缓和弹簧188以如下方式构成：在可动镜11在z轴方向移动的状态下，y轴方向周围的非线性缓和弹簧188的变形量小于y轴方向周围的第1扭力棒155及第2扭力棒156的各自的变形量，且x轴方向上的非线性缓和弹簧188的变形量大于x轴方向上的第1扭力棒155及第2扭力棒156的各自的变形量。

第1光学功能部17及第2光学功能部18分别为形成于soi基板50的光通过开口部。第1光学功能部17及第2光学功能部18分别在自z轴方向观察的情况下呈圆形状。

根据此种第3变形例，也与上述实施方式同样地，可抑制第1可动梳齿电极162、164与第1固定梳齿电极161、163之间的间隔变动，可提高可靠性。特别是在第3变形例中，通过在自z轴方向观察的情况下在杆141与可动镜11之间延伸的延伸部175、及在自z轴方向观察的情况下在杆151与可动镜11之间延伸的延伸部185，可抑制第1可动梳齿电极162、164与第1固定梳齿电极161、163之间的间隔变动。另外，由于第1弹性支撑部14具有非线性缓和弹簧178，并且第2弹性支撑部15具有非线性缓和弹簧188，因而可抑制第1扭力棒145、155及第2扭力棒146、156的扭转变形产生非线性。另外，在如此设置有非线性缓和弹簧178、188的结构中，可抑制第1可动梳齿电极162、164与第1固定梳齿电极161、163之间的间隔变动。

光学装置10也可如图10所示的第4变形例那样构成。第4变形例在以下的方面与上述第3变形例不同。在第4变形例中，第1可动梳齿电极162遍及一对杆141中的第1部分141f、及连杆142而配置。即，一对杆141及连杆142构成支撑第1可动梳齿电极162的电极支撑部。以下，有时将一对杆141及连杆142记为电极支撑部179。第1可动梳齿电极164遍及一对杆151中的第1部分151f、及连杆152而配置。即，一对杆151及连杆152构成支撑第1可动梳齿电极164的电极支撑部。以下，有时将一对杆141及连杆142记为电极支撑部189。

代替一对延伸部175，设置有一对中间部175a。各中间部175a经由支架174、176及第1扭力棒145而连接于杆141，并且经由连杆177及非线性缓和弹簧178而连接于支架116。代替一对延伸部185，设置有一对中间部185a。各中间部185a经由支架184、186及第1扭力棒155而连接于杆151，并且经由连杆187及非线性缓和弹簧188而连接于支架117。在自z轴方向观察的情况下，第1光学功能部17配置于y轴方向上的可动镜11的一侧，第2光学功能部18配置于y轴方向上的可动镜11的另一侧。

在电极支撑部179中的与可动镜11相反侧的表面，设置有具有多个第1可动梳齿162a的第1可动梳齿电极162。各电极支撑部179具有第12主体部179a及第12梁部179b。第12主体部179a通过装置层52的一部分而形成。第1可动梳齿电极162自第12主体部179a延伸。第12梁部179b通过支撑层51及中间层53的一部分而形成。第12梁部179b设置于第12主体部179a中的主面12b侧的表面上。

第12梁部179b以z轴方向上的电极支撑部179的厚度较z轴方向上的第1可动梳齿162a的厚度厚的方式形成。第12梁部179b遍及电极支撑部179的两端部间延伸。第12梁部179b中的x轴方向的一侧的边缘在自z轴方向观察的情况下，自电极支撑部179中的x轴方向的一侧的边缘空开规定的间隔，沿着该边缘延伸。第12梁部179b中的x轴方向的另一侧的边缘在自z轴方向观察的情况下，自电极支撑部179中的x轴方向的另一侧的边缘空开规定的间隔，沿着该边缘延伸。

在电极支撑部189中的与可动镜11相反侧的表面，设置有具有多个第1可动梳齿164a的第1可动梳齿电极164。各电极支撑部189具有第13主体部189a及第13梁部189b。第13主体部189a通过装置层52的一部分而形成。第1可动梳齿电极164自第13主体部189a延伸。第13梁部189b通过支撑层51及中间层53的一部分而形成。第13梁部189b设置于第13主体部189a中的主面12b侧的表面上。

第13梁部189b以z轴方向上的电极支撑部189的厚度较z轴方向上的第1可动梳齿164a的厚度厚的方式形成。第13梁部189b遍及电极支撑部189的两端部间延伸。在自z轴方向观察的情况下，第13梁部189b中的x轴方向的一侧的边缘自电极支撑部189中的x轴方向的一侧的边缘空开规定的间隔，沿着该边缘延伸。在自z轴方向观察的情况下，第13梁部189b中的x轴方向的另一侧的边缘自电极支撑部189中的x轴方向的另一侧的边缘空开规定的间隔，沿着该边缘延伸。

根据此种第4变形例，也与上述实施方式同样地，可抑制第1可动梳齿电极162、164与第1固定梳齿电极161、163之间的间隔变动，可提高可靠性。特别是在第4变形例中，通过电极支撑部179、189，可抑制第1可动梳齿电极162、164与第1固定梳齿电极161、163之间的间隔变动。

光学装置10也可如图11所示的第5变形例那样构成。在第5变形例中，不设置框部112及连结部113，各支架116、117直接连接于主体部111。一对第2可动梳齿电极166分别设置于主体部111的外缘部115中的y轴方向的外侧的表面。即，在第5变形例中，外缘部115构成支撑各第2可动梳齿电极166的电极支撑部。如上所述，外缘部115具有以z轴方向上的外缘部115的厚度较z轴方向上的中央部114的厚度厚的方式形成的第1梁部115b。

根据此种第5变形例，也与上述实施方式同样地，可抑制第1可动梳齿电极162、164及第2可动梳齿电极166与第1固定梳齿电极161、163及第2固定梳齿电极165之间的间隔变动，可提高可靠性。特别是在第5变形例中，通过z轴方向上的厚度较中央部114厚的外缘部115，可抑制第2可动梳齿电极166与第2固定梳齿电极165之间的间隔变动。

在上述实施方式及各变形例中，将第1固定梳齿电极161、163及第1可动梳齿电极162、164(以下，记为第1电极)用作驱动用的电极，将第2固定梳齿电极165及第2可动梳齿电极166(以下，记为第2电极)用作监视用的电极，但也可将第1电极用作监视用的电极，将第2电极用作驱动用的电极。也可省略第2电极，仅设置第1电极。在该情况下，第1电极也可用作驱动用的电极，或者也可用作驱动兼监视用的电极。也可省略第1电极，仅设置第2电极。在该情况下，第2电极也可用作驱动用的电极，或者也可用作驱动兼监视用的电极。

在上述实施方式及各变形例中，各构成的材料及形状并不限定于上述材料及形状，可采用各种材料及形状。例如，主体部111及镜面11a分别可在自z轴方向观察的情况下，呈矩形状、八边形状等任意的形状。框部112可在自z轴方向观察的情况下，呈矩形环状、八边形环状等任意的环形状。

第1梁部115b、第2梁部112b、第3梁部113b、第4梁部141e、第5梁部147b、第6梁部151e、第7梁部157b分别可形成为任意的形状。例如，梁部也可相对于x轴方向或y轴方向倾斜地延伸，或者锯齿状地延伸。各梁部的配置、数量、长度、宽度及厚度可任意地设定。也可省略这些梁部的至少1个。在上述实施方式中，第1梁部115b设置于第1主体部115a中的主面12b侧的表面上，但第1梁部115b也可设置于第1主体部115a中的主面12a侧的表面上。该方面针对其他梁部也相同。第1扭力棒145、155及第2扭力棒146、156的形状并不限定，可为棒状等任意的形状。

第1光学功能部17及第2光学功能部18分别也可在自z轴方向观察的情况下具有圆形状、八边形状等任意的形状。光学装置10也可代替可动镜11，具备设置有镜面11a以外的其他光学功能部的可动部。作为其他光学功能部，例如，可列举透镜等。致动器部16并不限定于静电致动器，例如，也可为压电式致动器、电磁式致动器等。光模块1并不限定于构成ftir的光模块，也可为构成其他光学系统的光模块。

符号的说明

10…光学装置、11…可动镜(可动部)、11a…镜面(光学功能部)、12…基座、12a…主面、14…第1弹性支撑部、15…第2弹性支撑部、111…主体部、112…框部、112b…第2梁部、113…连结部、114…中央部、115…外缘部、115b…第1梁部、141、151…杆、141e…第4梁部、151e…第6梁部、145、155…第1扭力棒(扭转支撑部)、146、156…第2扭力棒(扭转支撑部)、147、157…电极支撑部、147b…第5梁部、157b…第7梁部、161、163…第1固定梳齿电极、161a、163a…第1固定梳齿、162、164…第1可动梳齿电极、162a、164a…第1可动梳齿、165…第2固定梳齿电极、165a…第2固定梳齿、166…第2可动梳齿电极、166a…第2可动梳齿、171、181…第2杆、172、182…连杆、172b…第8梁部、182b…第9梁部、175、185…延伸部、175b…第10梁部、185b…第11梁部、178、188…非线性缓和弹簧、179、189…电极支撑部、179b…第12梁部、189b…第13梁部。