一种光学部件及其制造方法与流程

文档序号:21543308发布日期:2020-07-17 17:47阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种光学部件,其特征在于,所述光学部件包括:衬底,该衬底设有上表面和与上表面对应的下表面,形成在所述衬底上表面图形化的介质层,形成于所述介质层上图形化的阻挡层。

2.根据权利要求1所述的光学部件,其特征在于,所述衬底的上表面为图形化的磨砂面。

3.根据权利要求1所述的光学部件,其特征在于,所述衬底的材料包括但不限于玻璃。

4.根据权利要求1所述的光学部件,其特征在于,所述介质层的材料包括但不限于tin、aln、crn、ti、w。

5.根据权利要求1所述的光学部件,其特征在于,所述介质层的厚度大于等于10nm小于等于50μm。

6.根据权利要求1所述的光学部件,其特征在于,所述阻挡层至少包括高反层及覆盖于所述高反层上的高吸低反层。所述高反层的材料包括但不限于al、ni、ag、cu、sn,厚度大于等于100nm小于等于100μm;所述高吸低反层的材料包括但不限于tin、aln、crn、ti、w,厚度大于等于10nm小于等于50μm。

7.一种如权利要求1~6所述的光学部件的制造方法,其特征在于,至少包括以下步骤:

1)提供一衬底;

2)在该衬底上沉积介质层;

3)在该介质层上沉积阻挡层;

4)通过光刻及刻蚀,选择性去除阻挡层及介质层,得到所述的光学部件。

8.根据权利要求7所述的光学部件的制造方法,其特征在于,所述步骤1)中还包括将衬底磨砂的步骤,所述步骤4)中还包括选择性去除磨砂面的步骤。

9.根据权利要求7所述的光学部件的制造方法,其特征在于,所述介质层的制备方法包括但不限于物理气相沉积法、化学气相沉积法或等离子化学气相沉积。

10.根据权利要求7所述的光学部件的制造方法,其特征在于,所述阻挡层的制备方法包括但不限于物理气相沉积法、化学气相沉积法或等离子化学气相沉积。


技术总结
本发明提供一种光学部件及其制造方法,所述光学部件包括:衬底,该衬底设有上表面和与上表面对应的下表面,形成在所述衬底上表面图形化的介质层,形成于所述介质层上图形化的阻挡层。通过对衬底的改进,能够在很大程度上减少2次和多次反射、折射的光噪声对正常信号的干涉影响,进一步提高光学元件的信噪比,增强元件对信号处理的准确性和稳定性。

技术研发人员:郑晨焱;张小辛;粟笛
受保护的技术使用者:华润微电子(重庆)有限公司
技术研发日:2019.01.10
技术公布日:2020.07.17
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