促动器以及光扫描装置的制作方法

文档序号:18641182发布日期:2019-09-11 23:20阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供一种促动器以及光扫描装置。通过抑制促动器在厚度方向上的位移,也能够在利用光的干涉的测定装置中利用。本发明的促动器具备具有沿与预定轴垂直的方向延伸的梁且与驱动对象物连接的驱动梁、形成于上述梁的一个面上的驱动源、以及形成于上述梁的另一个的肋,在上述驱动源的与肋的端部对置的部分形成有切口部,通过上述驱动源的驱动,驱动上述驱动对象物使之在绕上述预定轴旋转的方向上摆动。

技术研发人员:山田健介
受保护的技术使用者:三美电机株式会社
技术研发日:2019.03.01
技术公布日:2019.09.10
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