1.一种线缆牵拉刚度的调节装置，其特征在于，包括：
线缆张紧单元、线缆支架、振动检测传感器以及控制器；
其中，所述控制器与所述线缆张紧单元以及所述振动检测传感器连接；
所述线缆张紧单元位于固定台的支撑面上，所述线缆支架位于运动台的支撑面上，所述固定台和所述运动台相距预设距离设置；
所述线缆张紧单元和所述线缆支架共同支撑多条线缆，多条所述线缆与所述线缆支架固定连接；
所述振动检测传感器安装于所述运动台的支撑面上，所述振动检测传感器用于检测所述运动台的振动加速度，并将所述振动加速度传输给所述控制器；所述控制器用于根据接收到的所述振动加速度和预设振动加速度的比较结果，控制所述线缆张紧单元调节所述线缆张紧单元和所述线缆支架之间的多条所述线缆的长度。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述线缆张紧单元包括l型支架、滑动线缆支架，以及弹簧；
所述l型支架包括相互垂直的第一分支和第二分支，所述第一分支垂直于所述固定台的支撑面，所述滑动线缆支架和所述第二分支滑动连接；所述弹簧的两端分别固定于所述第一分支和所述滑动线缆支架上。
3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述第二分支包括第一滑轨，所述第一滑轨沿所述第二分支的延伸方向延伸，所述滑动线缆支架包括与所述第一滑轨适配的第一滑动轮结构。
4.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，还包括与所述控制器连接的拉力检测传感器，所述拉力检测传感器设置于所述滑动线缆支架上。
5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述滑动线缆支架包括固定连接多条所述线缆的第一子部；
所述拉力检测传感器设置于所述第一子部的中心位置。
6.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，还包括与所述控制器连接的运动载台，所述运动载台包括延伸方向相互垂直的基杆和调节杆，所述调节杆的一端固定于所述基杆上；所述基杆为多自由度运动部件；
所述运动载台放置于所述固定台的支撑面上；所述第一分支与所述调节杆滑动连接。
7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述调节杆包括第二滑轨，所述第二滑轨沿所述调节杆的延伸方向延伸，所述第二分支包括与所述第二滑轨适配的第二滑动轮结构。
8.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，还包括与所述控制器连接的位移传感器，所述位移传感器设置于所述固定台靠近所述运动台的一侧表面上，用于检测所述运动台相对于所述固定台的位移。
9.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括主动减震器和振动检测器，所述主动减震器与所述运动台连接，所述振动检测器与所述主动减震器以及所述控制器连接；
所述振动检测器用于检测所述主动减震器的工作状态，并将所述主动减震器的工作状态传输给所述控制器；所述控制器用于根据接收到的所述工作状态控制所述线缆张紧单元的工作状态。
10.一种光刻机，其特征在于，包括上述权利要求1-9任一项所述的线缆牵拉刚度调节装置。