容器以及监测泄漏的系统、设备的制作方法

本公开实施例涉及一种容器、监测泄漏的系统及设备，特别涉及一种具有防撞部的容器。

背景技术：

光刻胶(photoresist；pr)是半导体产业中关键的要素。在半导体制造过程的各阶段中使用光刻胶以在晶圆上形成图案。可手动替换光刻胶瓶(例如容纳用于半导体制造的光刻胶的瓶子)以进行重新填入/替换光刻胶。然而，手动替换光刻胶瓶是耗时的且成本不菲，易受人为失误所影响及受损。

技术实现要素：

本公开实施例提供一种容器，包括：容器本体、盖体、防撞部、配对识别机构以及检测液体感测器。盖体位于前述容器本体上方。防撞部被附接至前述容器本体和前述盖体的其中一或多者，且配置以缓冲冲击力。配对识别机构被配置以检测放置于前述容器本体中的物件。检测液体感测器被配置以检测来自前述物件的泄漏。

本公开实施例提供一种监测泄漏的系统，包括：中央控制器、通信网络、容器以及通信装置。前述容器包括：容器本体、盖体、防撞部、配对识别机构、以及检测液体感测器。前述盖体位于前述容器本体上方。前述防撞部被附接至前述容器本体和前述盖体的其中一或多者，且配置以缓冲冲击力。前述配对识别机构被配置以检测放置于前述容器本体中的物件。前述检测液体感测器被配置以检测来自前述物件的泄漏。前述通信装置被配置以通过前述通信网络与前述中央控制器进行通信。

本公开实施例提供一种监测泄漏的设备，包括：容器本体、盖体、检测液体感测器以及液体收集孔。前述容器本体的底部包括下防撞部。前述盖体位于前述容器本体上方，且包括上防撞部。前述检测液体感测器被配置以检测来自放置于前述容器本体中的物件的泄漏。前述液体收集孔位于前述容器本体的底面，且配置以收集来自前述物件的泄漏。前述检测液体感测器位于前述液体收集孔中。

附图说明

根据以下的详细说明并配合说明书附图以更加了解本发明实施例的概念。应注意的是，根据本产业的标准惯例，附图中的各种部件未必按照比例绘制。事实上，可能任意地放大或缩小各种部件的尺寸，以做清楚的说明。

图1a至图1c示出根据一些实施例的示范光刻胶容器的不同视图。

图2a至图2b示出根据一些实施例的示范容器底部的俯视图和剖视图。

图3a至图3b示出根据一些实施例的示范下防撞部的俯视图和剖视图。

图4a至图4b示出根据一些实施例的示范位置锁定销的剖视图。

图5示出根据一些实施例的示范系统。

图6示出用以实施各种实施例的范例电脑系统的视图。

附图标记说明：

100、110、120视图

101光刻胶瓶

101-1瓶顶

101-2瓶底

102盖体

103容器本体

104下防撞部

105载体插入部

106底平台

107-1、107-2插入开口

108配对识别装置

109上防撞部

111、302开口

112防摇晃部

112-1第一部分

112-2第二部分

113-1、113-2铰链

114、303、403凹陷部

150容器

200、300俯视图

202元件

203-1、203-2、203-3位置锁定销

204液体收集孔

205集成电路

206检测液体感测器

250、350剖视图

301周缘

400、450放大剖视图

401销帽

402销本体

500系统

501容器

502中央控制器

503、503-1、503-2接收装置

504通信网络

600电脑系统

602输入/输出接口(使用者输入/输出接口)

603输入/输出装置(使用者输入/输出装置)

604处理器

606通信基础设施

608主存储器

610次级存储器

612硬盘驱动机

614可移动存储驱动机

618、622可移动存储单元

620接口

624通信接口

626通信路径

628远端装置、网络、实体

a角度

2-2’、3-3’方向

4-4’中心线

具体实施方式

以下的公开内容提供许多不同的实施例或范例以实施本公开实施例的不同部件。以下叙述构件及配置的特定范例，以简化本公开实施例的说明。这些特定的范例仅为示范而并非用以限定。另外，在以下的公开内容的不同范例中可能重复使用相同的参考符号及/或标记。这些重复是为了简化与清晰的目的，并非用以限定所讨论的不同实施例及/或结构之间的关系。

在半导体制造中，光刻胶(pr)是形成各种图案/特征的关键要素。光刻胶保存在瓶中，其分布于制造设施的不同位置。可使用塑胶盖/袋来包覆光刻胶瓶，以防止光刻胶受损/溢出的可能。在使用时，光刻胶瓶被放置在容器中，其保持光刻胶瓶在适当的定向(orientation)(例如瓶子的顶部朝上)，以防止光刻胶溢出/泄漏。当光刻胶瓶是空的或光刻胶量少时，技术员可搬移光刻胶瓶，例如根据报告，手动地将光刻胶瓶移动至特定位置(例如放置空光刻胶瓶的仓库)，并手动重新填入光刻胶。可通过扫描分配至光刻胶瓶上的条码，来记录/确认光刻胶瓶的替换。然而，在替换及运送光刻胶瓶的期间，极少或没有对光刻胶瓶提供保护以免于碰撞及/或不当的人为操作，而使得光刻胶瓶可能易受损或光刻胶溢出。扫描条码亦需要技术员的注意，且难以检测出人为失误(例如误放不正确的光刻胶瓶)。因此，替换及运送光刻胶瓶需要不理想的大量时间及劳力，且成本不菲。另外，当发生损害及/或溢出时，难以检测损害/溢出的位置与时间。

本公开实施例描述一种监测光刻胶泄漏的设备及系统。光刻胶瓶容器(或称“容器”以方便说明)可保持光刻胶瓶于适当的定向，并防止潜在的光刻胶瓶碰撞和光刻胶泄漏。前述容器可于使用及运送期间对光刻胶瓶提供保护。前述容器能够自动化替换、运送并记录光刻胶瓶。前述容器亦可允许检测光刻胶泄漏、以及与中央控制器进行关于容器状态的双向通信。当发生光刻胶泄漏时，容器可与中央控制器及/或其他装置进行通信，并传输溢出/泄漏的详细信息(例如光刻胶瓶/容器的识别(identification；id)码、位置及时间)。因此，可轻易检测出光刻胶溢出/泄漏。

通过容器的保护，光刻胶瓶较不易与容器的侧壁和其他部分碰撞。因此，光刻胶瓶较不易产生光刻胶溢出/泄漏。另外，容器可通过适当的配对识别装置(例如射频识别方法、蓝牙方法等)确认正确的光刻胶瓶放置于容器中，使得替换/重新填入光刻胶瓶较不易受人为失误影响。容器可还包括上防撞部及下防撞部，其可防止光刻胶瓶被放置于偏离垂直方向的定向。容器可还包括防摇晃部，其可防止光刻胶瓶在容器中跳动及移动。通过所公开的容器及方法，光刻胶瓶较不易受损，以及发生光刻胶溢出/泄漏。替换及运送光刻胶瓶可较不耗时且降低成本。

图1a、图1c示出不同观察角度的盖体关闭的示范容器的不同视图100、120，而图1b示出根据一些实施例的盖体开启的示范容器的视图110。如图1a至图1c所示，容器150可包括盖体102、容器本体103、下防撞部104、载体插入部105、配对识别装置108的一部分、上防撞部109及防摇晃部112。盖体102可包括开口111，以显露出光刻胶瓶的顶部。盖体102可通过允许盖体102开关的任何适合的装置113共同地连接至容器本体103。为了说明的目的，显示一对铰链113-1、113-2作为范例。载体插入部105可包括供适合的支撑结构(例如机械手臂)插入的多个插入开口，并将容器150承载于载体(例如载具)上，以重新填入/替换光刻胶瓶。为了说明的目的，显示两个插入开口107-1、107-2。当光刻胶瓶101被放置于容器150中且盖体102关闭时，瓶顶101-1可装配于开口111中，并从开口111显露出，而瓶底101-2可装配于下防撞部104中，并倚靠于其上。防摇晃部112可固定/限制盖体102和容器本体103之间的运动，而上防撞部109及下防撞部104可接触光刻胶瓶101，并使光刻胶瓶101保持朝上(例如直线向上)。因此，可在容器150中限制光刻胶瓶101的移动或使其不移动。以下将详细说明容器150。

盖体102可包括具有足够刚性及强度的任何适合的材料，以保持及保护光刻胶瓶101。举例而言，盖体102可以由包括强化塑胶及金属的其中一或多者的材料形成。在一些实施例中，盖体102包括不锈钢。盖体102可包括开口111，以显露出瓶顶101-1。显露的瓶顶101-1可允许在光刻胶瓶101上操作的其他应用。举例而言，盖体102可显露出光刻胶瓶101的罩盖(例如位在瓶顶101-1的最顶部)，以允许自动化的机械手臂转动并打开盖体(当盖体102关闭时)。当盖体102关闭时，光刻胶瓶101可以保持在稳定的位置/定向，因此光刻胶瓶101不易于溢出。通过共同连接至容器本体103，盖体102可以向下翻转以关闭容器150或向上翻转以打开容器150。

容器本体103可包括具有足够刚度和强度的任何适合的材料，用于保持和保护光刻胶瓶101和容器150中的其他部件。容器本体103可由与盖体102相同的材料或不同的材料制成。在一些实施例中。容器本体103包括强化塑胶，因为其重量轻。容器本体103可具有可容置光刻胶瓶101的任何适合的形状。举例而言，容器本体103的水平横切面(例如沿x-y平面)可以为方形、圆形、矩形及/或不规则的形状。容器本体103的水平横切面可以具有比光刻胶瓶101更大的尺寸，以允许光刻胶瓶101完全地放置在容器本体103内。在一些实施例中，盖体102具有与水平横切面相同的形状和尺寸。在一些实施例中，容器本体103的水平横切面为方形。

上防撞部109可以固定至盖体102上，并且下防撞部104可以放置在容器150的容器底部(例如容器本体103的底部)上。上防撞部109和下防撞部104可包括具有所需刚度的任何适合的材料，并且可提供光刻胶瓶101的支撑和缓冲。形成上防撞部109和下防撞部104的材料应具有所需的刚度和柔软度，以提供容器150支撑，并缓冲光刻胶瓶101的任何移动/冲击。举例而言，前述材料可包括吸震材料，例如各种橡胶(例如丁腈橡胶(nitrilerubber)，聚丙烯(polypropylene；pp)橡胶及/或聚氯乙烯(polyvinylchloride；pvc))。在一些实施例中，上防撞部109和下防撞部104可包括丁腈橡胶。

上防撞部109和下防撞部104可以具有能够保持光刻胶瓶101的位置和定向的任何合适的形状。举例而言，上防撞部109可通过任何适合的方式(例如，黏合及/或接合)固定至盖体102的内侧(例如面向容器150内侧的侧面)，并且具有小于盖体102的水平横切面的水平横切面。在一些实施例中，上防撞部109的水平横切面为圆形，并与光刻胶瓶101的表面周缘相匹配，使得上防撞部109可沿垂直方向(例如，z轴)和任何水平方向(例如，在x-y平面中)接触及缓冲光刻胶瓶101。当盖体102向下翻转以关闭容器150时，上防撞部109可接触光刻胶瓶101并缓冲光刻胶瓶101的移动，使得光刻胶瓶101可以保持朝上并具有改良的稳定性。

同时，当光刻胶瓶101放置在容器150中并且接触下防撞部104时，可将下防撞部104固定至容器底部上。下防撞部104的外周缘可与容器本体103的内周缘相匹配或相似，使得下防撞部104可以稳固地装配至容器本体103中。因此，可以减少/防止下防撞部104的移动。在一些实施例中，下防撞部104包括凹陷部114，允许瓶底101-2装配至凹陷部114中，进而可以进一步保持光刻胶瓶101的位置和定向。凹陷部114可大致上位于下防撞部104的中心，并且可具有与瓶底101-2相同的形状和尺寸。当将光刻胶瓶101放置在下防撞部104上时，瓶底101-2可以稳固地装配在凹陷部114中，并且倚靠在凹陷部114中。凹陷部114的形状和尺寸可限制光刻胶瓶101在垂直方向(例如沿z轴)和水平方向(例如沿x-y平面)上的移动。在一些实施例中，瓶底101-2的水平横切面为圆形，并且凹陷部114的水平横切面为大致上相同尺寸的圆形。当将光刻胶瓶101放置在凹陷部114上时，下防撞部104可沿垂直方向(例如z轴)和任何水平方向(例如在x-y平面中)接触及缓冲光刻胶瓶101。

因此，使用上防撞部109和下防撞部104可以减少光刻胶瓶101在不同方向上的移动。它们可从各种方向(例如水平地和垂直地)支撑光刻胶瓶101，并且光刻胶瓶101沿任何方向的撞击/冲击可以被所接触的上防撞部109及/或下防撞部104吸收或缓冲。光刻胶瓶101可以保持在适合的位置和定向(例如直线朝上)，并具有改良的稳定性。因此，光刻胶瓶101不易与容器150的其他部分碰撞。

在将光刻胶瓶101放置在容器150中之后，防摇晃部112可以防止光刻胶瓶101移动和滑动/弹跳(例如由来自下防撞部104的反作用力所引起)。防摇晃部112可固定盖体102和容器本体103之间的相对运动，使得光刻胶瓶101顶部的移动可以限制于开口111，且上防撞部109和下防撞部104可限制/防止光刻胶瓶101的垂直移动。因此，可防止光刻胶瓶101在放入容器150中之后摇摆。防摇晃部112可包括能够限制光刻胶瓶101的运动的任何装置及/或结构。在一个范例中，防摇摆部112可以是拨动闩锁。当光刻胶瓶101放置在容器150中，且盖体102向下翻转至容器本体103上时，可关闭拨动闩锁的第一部分112-1和第二部分112-2，以锁定盖体102和容器本体103之间的相对运动，使得盖体102和容器本体103可相对于彼此静止。因此，可以减少/消除光刻胶瓶101的移动。在一些实施例中，防摇晃部112可以维持期望量的拉力，使得防摇晃部112可在来自光刻胶瓶101的反作用力下，使盖体102相对于容器本体103静止。因此，光刻胶瓶101可通过上防撞部109和下防撞部104由容器150支撑而具有改善的稳定性，且可更进一步限制光刻胶瓶101的运动。

容器150和光刻胶瓶101可以共同包括配对识别装置。配对识别装置可以包括任何合适的无线识别方法，其可以专门且自动地将容器150与光刻胶瓶101配对。举例而言，配对识别装置可包括无线射频辨识(radiofrequencyidentification；rfid)标签、读取器及/或蓝牙发送器、读取器。在一些实施例中，容器150和光刻胶瓶101各自包括rfid标签和读取器之中的不同者。为了说明的目的，在容器150上标示rfid标签。举例而言，容器150可包括rfid读取器，而光刻胶瓶101则可包括rfid标签。为了说明的目的，配对识别装置的一部分显示为在容器150上的rfid读取器108，配对识别装置的另一部分，即rfid标签，可位于光刻胶瓶101上而未显示。可分别将rfid读取器108和标签放置于容器150和光刻胶瓶101的任何适合的位置。rfid读取器108可以通过无线网络与制造设施的中央控制器通信，以提供光刻胶瓶101的更新状态。rfid读取器108可以被设计成通过rfid标签以专门识别光刻胶瓶101。在一些实施例中，当另一个光刻胶瓶(例如，具有与rfid读取器108不匹配的rfid标签的光刻胶瓶)被错误地放置在容器150中时，可以将错误信息传送至中央控制器，并且可以将通知传送至一或多个技术人员(例如，负责更换光刻胶瓶的技术人员)的接收装置，以通知错误的光刻胶瓶更换。错误信息及/或通知亦可包括容器/光刻胶瓶的id、时间和更换的位置。在一些实施例中，容器150包括附接在适合的位置(例如容器本体103或盖子102的侧壁)的指示灯(未图示)。指示灯可以通过有线及/或无线装置与容器150通信。在一些实施例中，当将错误的光刻胶瓶放置在容器150中时，指示灯会发出警告信号(例如红色闪烁的灯)；当将光刻胶瓶101放入容器150中时，指示灯会发出不同的信号(例如绿灯)。因此，容器150可自动识别配对的光刻胶瓶101，并在将错误的光刻胶瓶放置在容器150内时传送通知。因此，使用容器150更换光刻胶瓶可更不易出错且更不耗时。

载体插入部105可包括多个插入开口107，其可允许适合的支撑结构插入且提起容器150并成为一体。接着，光刻胶瓶101可与容器150一起移动(例如为了更换/再填充)，且容器150可在运输期间保护和支撑光刻胶瓶101。适合的支撑结构可为任何形状，以装配于插入开口107中，且可包括任何具有足够刚度的结构，以承受容器150和填充有光刻胶的光刻胶瓶101的重量。载体插入部105可包括任何适合数量的插入开口107。为了说明的目的，显示两个插入开口107-1和107-2。支撑结构可以手动或自动操作。在一些实施例中，支撑结构可包括自动机械手臂/叉，其作为运输车辆的一部分。机械手臂/叉可插入至插入开口107-1和107-2中，提起容器150，并将容器150移动至运输车辆上。在一些实施例中，插入开口107的垂直横切面(例如沿x-z平面的横切面)为矩形，且插入开口具有足够的水平长度(例如沿y轴的长度)，以允许平稳地拾取容器150。在一些实施例中，插入开口107是沿y轴的通孔。载体插入部105可包括具有足够刚度和强度的任何适合的材料。在一些实施例中，载体插入部105包括金属及/或合金(例如不锈钢)。载体插入部105可与容器本体103分开制造，并且可在容器本体103形成之后接合至容器本体103上。载体插入部105可以通过任何适合的方式稳固地连接至容器本体103的底部，例如黏合/接合及/或钉牢。

在一些实施例中，容器150包括位于载体插入部105下方并稳固地固定至载体插入部105的底平台106。底平台106可包括足够平坦的底表面，以允许容器150沿垂直方向(例如z方向)稳定地保持其定向。当将容器150放置在表面上时，底平台106还可以缓冲冲击。底平台106可具有相较于载体插入部105更大的水平面积(例如沿着x-y平面)，使得容器150可以改善的稳定性放置在水平表面上。底平台106可沿x-y平面具有任何适合的形状。在一些实施例中，底平台106为圆形，且载体插入部105/容器150被固定于底平台106的中心。底平台106可包括具有足够刚度和强度的任何适合的材料，以支撑容器150和光刻胶瓶101。在一些实施例中，底平台106可包括金属及/或合金(例如不锈钢)。

图2a示出根据一些实施例的示范容器底部(例如容器150的底部)的俯视图200，而图2b示出根据一些实施例的示范容器底部沿2-2’方向的剖视图250。图2a和图2b显示不具有下防撞部的容器底部的结构和构件。如图2a和图2b所示，容器底部可以由容器本体103所包围。容器底部可包括多个位置锁定销203，用以在将光刻胶瓶放置在下防撞部上时，固定下防撞部的位置。前述位置锁定销203可以从下防撞部的后侧支撑下防撞部和光刻胶瓶。为了提高光刻胶瓶的稳定性，位置锁定销203的数量可以至少为3，且位置锁定销203可围绕容器底部的中心(或光刻胶瓶101的中心，或由锁定销203所形成的图案的中心)对称地分布。为了说明的目的，显示三个位置锁定销(例如203-1、203-2和203-3)。容器底部亦可包括泄漏检测机构，其包括液体收集孔204和位于液体收集孔204底部的检测液体感测器206。当发生溢出时，溢出的光刻胶可以流入液体收集孔204，并可由检测液体感测器206所检测。液体收集孔204可具有沿水平面(例如x-y平面)的任何适合的横切面。在一些实施例中，液体收集孔204可具有圆形的横切面。容器底部可还包括集成电路(integratedcircuit；ic)205，其具有适合的软件和硬件，用以促进容器的不同部分之间以及容器和中央控制器之间的通信。集成电路205可嵌入容器底部中，并可从检测液体感测器206接收检测结果。集成电路205亦可包括配对识别部分的一部分(例如rfid读取器/标签)，以验证正确的光刻胶瓶。容器底部可包括具有足够刚度、强度以及耐腐蚀性的任何适合的材料。在一些实施例中，容器底部包括不锈钢。中空并以虚线标示的载体插入开口107-1和107-2可形成在容器底部的顶面下方。填充有材料的容器底部的部分标示为元件202。

如图2b所示，容器底部的顶面可具有相对于水平面(例如沿x方向)的斜率。容器底部的顶面可从边界朝向中心下降，并可以形成一“v”形，而液体收集孔204位于其中心。位置锁定销的顶面可位于同一水平面中。当光刻胶瓶放置在位置锁定销上时，位置锁定销(例如203-3)可以提供支撑，使得光刻胶瓶的底部可以水平地放置。在一些实施例中，形成“v”形的斜面可具有角度a(例如在约5度和约45度之间的范围内)。角度a可以是最佳化的角度，以允许溢出/泄漏的光刻胶及时流入液体收集孔204中以进行检测。角度a也应足够大，以使容器瓶具有紧凑的(compact)形状(或沿z轴的高度)。在一些实施例中，角度a约为20度。斜率可以允许溢出或泄漏的液体更容易流至液体收集孔204中，并因此可更容易地检测溢出/泄漏。在一些实施例中，位置锁定销可以分布在从光刻胶瓶底部的边界朝向光刻胶瓶底部的中心下降的表面上。在一些实施例中，位置锁定销可围绕光刻胶瓶底部的中心对称地分布。图2a中的箭头指示液体流过容器底部顶面的方向。

当检测到溢出/泄漏时，检测液体感测器206可以通过有线/无线通信装置与集成电路205通信。因此，集成电路205可向中央控制器传送通知及/或开启容器的指示灯。在一些实施例中，集成电路205包括时钟(或计时器)，且设计为包括设施/周围环境的地图。前述通知可包括溢出/泄漏的时间和位置。当接收到溢出/泄漏通知时，中央控制器可以通过通信装置传送通知(例如至负责监测光刻胶瓶更换的技术人员)。前述通知可包括泄漏/泄漏的时间和位置。因此，可更有效地解决容器中的液体泄漏/溢出。

图3a示出根据一些实施例的位于容器底部上的示范下防撞部的俯视图300，图3b示出根据一些实施例的位于容器底部上的示范下防撞部沿3-3’方向的剖视图350。为了说明的目的，粗线表示下防撞部104的轮廓。如第3a和3b图所示，在一些实施例中，下防撞部104被放置在容器底部的顶面上，并被容器本体103所围绕。光刻胶瓶(未图示)可放置在容器中，且凹陷部303的周缘301可围绕光刻胶瓶的本体。凹陷部303可与图1a至图1c中所示的凹陷部114相同或相似。在一些实施例中，光刻胶瓶具有沿x-y平面的圆形横切面，且周缘301具有与光刻胶瓶的尺寸大致上匹配的圆形。在一些实施例中，下防撞部104包括位于凹陷部303底部的开口302。开口302可显露出液体收集孔204，使得泄漏/溢出物可以流过凹陷部303，并被收集在液体收集中孔204中。开口302可沿x-y平面具有任何适合的形状。在一些实施例中，开口302为圆形。

在一些实施例中，下防撞部104由多个位置锁定销(例如203-3)固定，如图3b中的圈选处所示。下防撞部104的位置可被水平地及/或垂直地固定。限制下防撞部104的移动可允许光刻胶瓶被放置在所需的定向上(例如沿垂直方向)，而很少或没有水平移动。此外，由下防撞部104施加至光刻胶瓶的反作用力可更均匀地分布，使得光刻胶瓶可保持其位置和定向，并具有改善的稳定性。

图4a和图4b示出根据一些实施例的图3b所示的位置锁定销203-3的放大剖视图400、450。位置锁定销203-3可包括当在位置锁定销203-3顶部上施加压力(例如沿z轴)时可水平(例如沿x轴)膨胀的任何适合的装置/机构。举例而言，位置锁定销203-3可包括位于锁定销203-3顶部的压力检测器以检测压力，以及位于压力检测器下方的弹性结构(例如弹簧)。当检测到压力时，弹性结构会沿x轴或沿x-y平面扩展(y轴垂直于x-z平面)。在一些实施例中，位置锁定销203-3包括销本体402和位于销本体402上方的销帽401。位置锁定销203-3可固定在容器底部的顶面上方或部分地位在容器底部的顶面中。下防撞部104可包括凹入/凹陷部403，其至少覆盖销帽401。

如图4a所示，位置锁定销203-3未经受沿垂直方向的压力(例如由将光刻胶瓶放置在下防撞部104上所形成的沿z轴的压力)，且下防撞部104与销帽401之间很少或没有接触。如图4b所示，当将光刻胶瓶放置在下防撞部104上时，位置锁定销203-3沿垂直方向经受到压力，且下防撞部104会接触销帽401。如第4a和4b图所示，当感测压力向下施加至销帽401时，销帽401可自动水平地扩展(如图4b中的箭头所示)以接触凹陷部403的内侧壁。在一些实施例中，销帽401施加沿着凹陷部403的内侧壁的各个方向的水平力，使得销帽401和内侧壁之间的摩擦减少/消除下防撞部分104和位置锁定销203-3(其他位置锁定销亦相似)之间的相对运动。此动作可称为“位置锁定”过程。因此，下防撞部104可固定至位置锁定销上，从而更稳固地放置在容器中。下防撞部104可为由下防撞部104所围绕和支撑的光刻胶瓶提供更均匀和稳定的支撑。如此一来，可保持光刻胶瓶的稳定位置和定向。

销帽401可以是任何适合的形状，且可包括具有足够刚度和强度的任何适合的材料，以支撑下防撞部104和光刻胶瓶(例如具有或不具有容纳在其中的光刻胶)。举例而言，销帽401和销本体402包括金属及/或合金。在一些实施例中，销帽401和销本体402包括不锈钢。在一些实施例中，为了使销帽401和凹陷部403之间的力及/或摩擦更均匀，销帽401和凹陷部403都具有围绕销帽401的中心线4-4'的对称的形状。在一些实施例中，销帽401和凹陷部403皆具有沿水平面(例如x-y平面)的圆形。凹陷部403的尺寸可以适当地设计成允许销帽401在水平扩展之后接触凹陷部403的内侧壁，并在凹陷部403的内侧壁上施加压力。

当施加压力(例如通过放置于位置锁定销上的光刻胶瓶)时，位置锁定销可以锁定下防撞部104的位置，而当未施加压力时，释放下防撞部104。因此，当没有光刻胶瓶放置在容器中时，下防撞部104可较容易地移入和移出容器。此外，在一些实施例中，在下防撞部104和位置锁定销之间很少或不会发生相对运动，使得两个部件都不易磨损且需要维护。通过固定下防撞部104的位置，可减少光刻胶瓶的移动/摇晃。在一些实施例中，光刻胶瓶的移动/摇晃可在约3μm的范围内。

本公开亦提供了一种利用容器来更换/再填充光刻胶瓶的系统。图5显示根据一些实施例的由本公开所提供的示范性系统500。系统500可包括容器501、中央控制器502和一或多个接收装置503(例如503-1和503-2)。容器501可与图1a至图1c所示的容器相同或相似。容器501可包括适合的软件和硬件，以检测光刻胶瓶的放置和任何泄漏，且将容器501/光刻胶瓶的状态的更新(例如识别(id)号码和溢出/泄漏的位置、时间等详细信息)传输(例如实时(real-time))至中央控制器502。举例而言，容器501可包括室内定位系统，其可以定位容器501的位置并将容器501的位置(例如实时)传送至中央控制器502。容器501亦可以传输(例如实时)指示器信号(例如闪光灯)，以指示光刻胶瓶的状态。可通过任何适合的有线/无线通信网络504(例如，wifi)进行容器501和中央控制器502之间的通信。接着，中央控制器502可处理所接收的信号/信息，并将通知传输至接收装置503(例如由技术人员所持有)，以指示所报告的容器的潜在问题。接收装置503可包括具有无线通信功能的任何适合的设备。可通过相同或不同的通信网络进行中央控制器502和接收装置503之间的通信。在一些实施例中，中央控制器502和接收装置503之间的通信是通过通信网络504。在一些实施例中，接收装置503包括手机、平板电脑及/或其他移动/固定式计算装置。在一些实施例中，接收装置503可以与中央控制器502通信，以例如更新容器501/光刻胶瓶的状态。在一些实施例中，在泄漏/溢出已被解决(例如清理)之后，容器501停用(deactivates)实时指示器信号及/或停止传输实时更新。在一些实施例中，中央控制器502向容器501传送停用信号以停用实时指示器信号及/或停止实时更新。为了说明的目的，图5所示的一个容器501是作为范例。

可通过容器501中所包括的不同感测机构(例如配对识别装置(例如108)和检测液体感测器(例如206))来收集容器501的状态信息。配对识别装置(例如，rfid方法/装置)可允许容器501识别匹配/正确的光刻胶瓶是否放置在容器501中，且在中央控制器502中周期性地更新此信息及/或当检测到不匹配的光刻胶瓶时。感测机构(例如检测液体感测器)可以检测容器501中的任何液体泄漏/溢出，并将泄漏/溢出的详细信息(例如，识别(id)号码、时间和位置)传送至中央控制器502。感测机构可以各自将反映检测结果的信号发送至容器501的集成电路，使得容器501可以处理信号并将检测结果传送至中央控制器502。

容器501和中央控制器502的集成电路均可包括能够传送、接收和处理各种信号(例如检测结果和通知)的任何适合的硬件和软件。在一些实施例中，容器501和中央控制器502的集成电路均包括微处理器或电脑系统。

图6示出根据一些实施例的用以实施本公开的各种实施例的范例电脑系统600的视图。如上所述，电脑系统可以用于容器的集成电路和中央控制器中。电脑系统600可以是能够执行本公开所述的功能和操作的任何电脑。举例而言，电脑系统600能够处理和传输信号，但不限于此。电脑系统600可用于例如执行容器的一或多个功能，其描述容器的不同部分之间以及容器和中央控制器之间的通信的范例操作。

电脑系统600包括一或多个处理器(也称为中央处理单元(centralprocessingunit；cpu))，例如处理器604。处理器604被连接至通信基础设施或总线606。电脑系统600亦包括输入/输出装置603，例如屏幕、键盘、指示设备等，其通过输入/输出接口602与通信基础设施或总线606进行通信。电脑系统600可通过输入/输出装置603接收指令，以实施本公开所述的功能和操作(例如容器的功能)。电脑系统600亦包括主(或初级)存储器608，例如随机存取存储器(randomaccessmemory；ram)。主存储器608可包括一或多个级别的快取(cache)。主存储器608中存储有控制逻辑(例如电脑软件)及/或数据。在一些实施例中，控制逻辑(例如电脑软件)及/或数据可包括上述有关于容器的一或多个功能。

电脑系统600亦可包括一或多个次级存储装置或存储器610。次级存储器610可包括例如硬盘驱动机(harddiskdrive；hdd)612及/或可移动存储装置或驱动机614。可移动存储驱动机614可以是软盘驱动机(floppydiskdrive；fdd)、磁带驱动机、光盘驱动机、光学存储装置、磁带备份装置及/或任何其他存储装置/驱动机。

可移动存储驱动机614可以与可移动存储单元618相互作用。可移动存储单元618包括电脑可用或可读取的存储装置，其上存储有电脑软件(控制逻辑)及/或数据。可移动存储单元618可以是软盘、磁带、cd(compactdisk)、dvd、光盘及/或任何其他的电脑数据存储装置。可移动存储驱动机614以众所周知的方式读取及/或写入可移动存储单元618。

根据一些实施例，次级存储器610可包括用以允许电脑程序及/或其他指令及/或数据能被电脑系统600存取的其他装置、工具或其他途径。此装置、工具或其他途径可包括例如可移动存储单元622和接口620。可移动存储单元622和接口620的范例可包括程序匣和匣接口(例如在电子游戏装置中所找到的)、可移动存储器芯片(例如可擦除可程序化只读存储器(erasableprogrammablereadonlymemory；eprom)或可程序化只读存储器(programmablereadonlymemory；prom))和相关的插槽、存储条和usb端口、存储卡和相关的存储卡插槽及/或任何其他可移动存储单元和相关的接口。在一些实施例中，次级存储器610、可移动存储单元618及/或可移动存储单元622可包括上述有关于容器的一或多个功能。

电脑系统600可还包括通信或网络接口624。通信接口624使电脑系统600能够与远端装置、远端网络、远端实体等的任何组合(由标号628单独地和共同地标示)进行通信和相互作用。举例而言，通信接口624可允许电脑系统600通过通信路径626与远端装置628进行通信，通信路径626可以是有线及/或无线的，并可包括区域网络(localareanetwork；lan)、广域网络(wideareanetwork；wan)、网际网络等的任意组合。控制逻辑及/或数据可以通过通信路径626传输至电脑系统600和从电脑系统600传输。

前述实施例中的功能/操作可以用各式各样的配置和架构来实施。因此，前述实施例中的一些或所有操作(例如容器和中央控制器的功能)可以硬件、软件或两者兼具的方式来执行。在一些实施例中，包括存储具有控制逻辑(软件)的有形电脑可用或可读取的媒介的有形设备或制品在本公开中也称为电脑程序产品或程序存储装置。此包括但不限于电脑系统600、主存储器608、次级存储器610、可移动存储单元618、622以及体现前述任何组合的有形制品。当由一或多个数据处理装置(例如电脑系统600)执行此控制逻辑时，会使得此数据处理装置如本公开所述来进行操作。在一些实施例中，电脑系统600包括用以制造光罩和电路制造的硬件/设备。举例而言，硬件/设备可连接至电脑系统600的元件628(一或多个远端装置、网络、实体628)或者是电脑系统600的一部分。

本公开的实施例描述用以监测光刻胶泄漏的设备和系统。所公开的容器可将光刻胶瓶保持在适当的定向，并防止潜在的光刻胶瓶碰撞和光刻胶泄漏。前述容器可在使用和运输过程中为光刻胶瓶提供保护。前述容器可实施光刻胶瓶的自动更换、运输和记录。容器亦可允许检测光刻胶泄漏，并与中央控制器进行有关于容器状态的双向通信。当发生光刻胶泄漏时，容器可与中央控制器及/或其他装置进行通信，并发送溢出/泄漏的详细信息(例如光刻胶瓶/容器的标识(id)号码、位置和时间)。因此，可更容易地检测光刻胶溢出/泄漏。

在容器的保护下，光刻胶瓶不易与容器的侧壁和其他部分碰撞。因此，光刻胶瓶不易发生光刻胶溢出/泄漏。此外，容器可以通过适合的配对识别装置(例如射频识别方法、蓝牙方法等)验证正确的光刻胶瓶被放入容器中，使得光刻胶瓶更换/再填充不易受人为错误的影响。容器还可包括上防撞部和下防撞部，其可防止光刻胶瓶被放置在偏离垂直方向的定向。容器还可包括防摇晃部，其防止光刻胶瓶在容器中弹跳和移动。通过使用所公开的容器和方法，光刻胶瓶不易发生损坏和光刻胶溢出/泄漏。光刻胶瓶的运输和更换可以更省时，成本更低。

虽然容器是以防止光刻胶从光刻胶瓶溢出/泄漏的方面来说明，但是前述容器亦可用以防止其他含液体的物体(或含有流体的物体)的溢出/泄漏。可调节容器的形状和尺寸以容纳任何适合的含液体的物体(具有或未具有与容器的配对机构)，并检测来自含液体的物体的溢出/泄漏。

在一些实施例中，一容器包括：容器本体、盖体、防撞部、配对识别机构以及检测液体感测器。盖体位于前述容器本体上方。防撞部被附接至前述容器本体和前述盖体的其中一或多者，且配置以缓冲冲击力。配对识别机构被配置以检测放置于前述容器本体中的物件。检测液体感测器被配置以检测来自前述物件的泄漏。在一些实施例中，前述防撞部包括上防撞部和下防撞部，前述上防撞部位于前述盖体上，且前述下防撞部位于前述容器本体的底部上。在一些实施例中，容器还包括防摇晃部，配置以防止在前述容器本体和前述盖体之间的相对运动，并减少前述物件在前述上防撞部和前述下防撞部之间的运动。在一些实施例中，前述下防撞部包括凹陷部，配置以围绕前述物件的底面。在一些实施例中，前述配对识别机构包括射频识别装置。在一些实施例中，前述容器本体的底部的表面从前述容器本体的底部的边界朝前述容器本体的底部的中心下降。在前述容器本体的底部的表面和水平面之间的角度介于约5度至约45度之间。在一些实施例中，前述容器还包括指示器部，配置以根据前述配对识别机构的检测结果指示前述物件的状态，其中前述物件的状态包括与前述容器匹配、与前述容器不匹配以及来自前述物件的泄漏的其中一或多者。在一些实施例中，前述容器还包括液体收集孔，位于前述容器本体的底部的中心，其中前述液体收集孔被配置以收集来自前述物件的泄漏，且前述检测液体感测器位于前述液体收集孔中。在一些实施例中，前述容器还包括下防撞部，其具有开口以显露出前述液体收集孔。在一些实施例中，前述容器还包括多个位置锁定销，配置以防止前述下防撞部的运动，其中前述下防撞部包括多个凹陷部，覆盖前述位置锁定销的至少一部分。在一些实施例中，前述容器还包括载体插入部，附接至前述容器本体且位于前述容器本体下方，其中前述载体插入部包括通过前述载体插入部的多个插入开口，用于抬升前述容器。

在一些实施例中，用以监测泄漏的系统包括：一种监测泄漏的系统，包括：中央控制器、通信网络、容器以及通信装置。前述容器可包括：容器本体、盖体、防撞部、配对识别机构、以及检测液体感测器。前述盖体位于前述容器本体上方。前述防撞部被附接至前述容器本体和前述盖体的其中一或多者，且配置以缓冲冲击力。前述配对识别机构被配置以检测放置于前述容器本体中的物件。前述检测液体感测器被配置以检测来自前述物件的泄漏。前述通信装置被配置以通过前述通信网络与前述中央控制器进行通信。在一些实施例中，前述容器还包括液体收集孔，位于前述容器本体的底部的中心，前述检测液体感测器位于前述液体收集孔中。前述容器本体的底部的表面从前述容器本体的底部的边界朝前述容器本体的底部的中心下降。在前述容器本体的前述底部的表面和水平面之间的角度介于约5度至约45度之间。前述液体收集孔收集流自前述容器本体的底部的表面的泄漏。在一些实施例中，前述通信装置被配置以根据前述配对识别机构和前述检测液体感测器的检测结果来传输前述物件的实时状态数据，且前述实时状态数据包括前述物件与前述容器匹配、前述物件与前述容器不匹配以及前述泄漏的时间及位置的其中一或多者。在一些实施例中，前述监测泄漏的系统还包括接收装置，配置以与前述中央控制器进行通信，以接收前述实时状态数据。在一些实施例中，前述防撞部包括上防撞部和下防撞部，前述上防撞部位于前述盖体上，且前述下防撞部位于前述容器本体的底部上。在一些实施例中，前述容器还包括多个位置锁定销，配置以防止前述下防撞部的运动，其中前述下防撞部包括多个凹陷部，覆盖前述位置锁定销的至少一部分。

在一些实施例中，一设备包括：容器本体及位于前述容器本体上方的盖体。前述盖体可包括上防撞部，且前述容器本体的底部可包括下防撞部。前述设备亦可包括检测液体感测器，配置以检测来自放置于前述容器本体中的物件的泄漏。前述设备还可包括液体收集孔，位于前述容器本体的底面。前述液体收集孔可配置以收集来自前述物件的泄漏，其中前述检测液体感测器位于前述液体收集孔中。在一些实施例中，前述设备还包括多个位置锁定销，配置以防止前述上防撞部和前述下防撞部的运动。在一些实施例中，前述设备还包括感测机构，配置以检测前述物件的身份。

应理解的是，实施方式的段落而非本公开的摘要是意图用以解释权利要求。本公开的摘要可阐述一或多个但不是所有的示范性实施例，因此，并非意图限制所附加的权利要求。

以上概述了许多实施例的部件，使本公开所属技术领域中技术人员可以更加理解本公开的各实施例。本公开所属技术领域中技术人员应可理解，可以本公开实施例为基础轻易地设计或改变其他制程及结构，以实现与在此介绍的实施例相同的目的及/或达到与在此介绍的实施例相同的优点。本公开所属技术领域中技术人员也应了解，这些相等的结构并未背离本公开的精神与范围。在不背离本公开的精神与范围的前提下，可对本公开实施例进行各种改变、置换及变动。