微振镜共振频率的确定方法、装置及计算机存储介质与流程

本发明涉及微振镜技术领域，更具体地，涉及一种微振镜共振频率的确定方法、一种用于检测微振镜的共振频率的装置、及一种计算机存储介质。

背景技术：

mems(micro-electro-mechanicalsystem，微机电模块)振镜是一种微型镜面，可以通过围绕轴的快速转动，反射各种光等。

mems振镜用于微激光投影领域，通过控制mems振镜转动，利用x、y两个转轴的反射镜的旋转运动来实现激光束在工作视场上的扫描。通常mems振镜以共振频率运行时，mems振镜的能量损耗最小，运行最省力。为了使减小mems振镜的运行阻力，通常使其运行在共振频率附近。而在mems振镜的生产过程中，由于装配、调校过程存在差别，mems振镜存在一定的差异性，即不同的mems振镜具有不同的共振频率。因此，有必要提供一种确定mems振镜的共振频率的方案。

技术实现要素：

本发明的一个目的是提供一种新的微振镜的技术方案。

根据本发明的第一方面，提供了一种微振镜共振频率的确定方法，包括：

向微振镜输入驱动信号并采集微振镜输出的反馈信号，确定第一相位差；所述第一相位差为同一时刻的驱动信号和反馈信号之间的相位差；

确定第一差值，所述第一差值为标准相位差与第一相位差的差值，所述标准相位差为微振镜以共振频率工作时驱动信号与反馈信号之间的相位差；

逐次调整驱动信号的频率，直至第一差值在预设的误差范围内，将最后一次后的驱动信号的频率确定为共振频率；

所述调整驱动信号的频率，包括：

根据前一次调整的频率调整量和本次调整的调整系数确定本次调整的频率调整量；本次调整的调整系数等于前一次调整后的第一差值与前一次调整后的第二差值的比值，所述前一次调整后的第二差值为前一次调整后的第一相位差与前一次调整前的第一相位差的差值；

根据本次调整的频率调整量对驱动信号的频率进行调整。

可选地或优选地，第一次调整驱动信号的频率时，频率调整量为预设的初始调整量。

可选地或优选地，所述根据前一次调整的频率调整量和本次调整的调整系数确定本次调整的频率调整量，包括：

根据前一次调整的频率调整量与本次调整的调整系数的乘积确定本次调整的频率调整量。

可选地或优选地，所述采集微振镜输出的反馈信号，包括：同步采集输入至微振镜的驱动信号和微振镜输出的反馈信号；所述第一相位差为同一时刻采集到的驱动信号和反馈信号之间的相位差。

根据本发明的第二方面，提供了一种用于检测微振镜的共振频率的装置，包括：

相位差确定模块，用于向微振镜输入驱动信号并采集微振镜输出的反馈信号，确定第一相位差；所述第一相位差为同一时刻的驱动信号和反馈信号之间的相位差；

第一差值确定模块，用于确定第一差值，所述第一差值为标准相位差与第一相位差的差值，所述标准相位差为微振镜以共振频率工作时驱动信号与反馈信号之间的相位差；

共振频率确定模块，用于逐次调整驱动信号的频率，直至第一差值在预设的误差范围内，将最后一次后的驱动信号的频率确定为共振频率；

所述共振频率确定模块，包括：

频率调整量确定单元，用于根据前一次调整的频率调整量和本次调整的调整系数确定本次调整的频率调整量；本次调整的调整系数等于前一次调整后的第一差值与前一次调整后的第二差值的比值，所述前一次调整后的第二差值为前一次调整后的第一相位差与前一次调整前的第一相位差的差值；

频率调整单元，用于根据本次调整的频率调整量对驱动信号的频率进行调整。

可选地或优选地，所述频率调整量确定单元，用于在第一次调整驱动信号的频率时，确定频率调整量为预设的初始调整量。

可选地或优选地，所述频率调整量确定单元，用于根据前一次调整的频率调整量与本次调整的调整系数的乘积确定本次调整的频率调整量。

可选地或优选地，还包括：

采集单元，用于同步采集输入至微振镜的驱动信号和微振镜输出的反馈信号；所述第一相位差为同一时刻采集到的驱动信号和反馈信号之间的相位差。

根据本发明的第三方面，提供了一种用于检测微振镜的共振频率的装置，包括：

存储器，所述存储器用于存储计算机指令；

处理器，所述处理器用于从所述存储器中调用所述计算机指令，并在所述计算机指令的控制下执行如本发明第一方面提供的一种微振镜共振频率的确定方法。

根据本发明的第四方面，提供了一种计算机存储介质，存储有可执行计算机指令，所述可执行计算机指令被处理器执行时，实现如本发明第一方面提供的一种微振镜共振频率的确定方法。

根据本公开的一个实施例，通过逐次调整驱动信号的频率，直至驱动信号与反馈信号之间的第一相位差在预设的误差范围内，将最后一次后的驱动信号的频率确定为共振频率，每次调整是根据前一次调整的频率调整量和本次调整的调整系数确定的，能够实现对驱动信号的频率的精确调整，从而实现对微振镜的共振频率的精确定位。

通过以下参照附图对本发明的示例性实施例的详细描述，本发明的其它特征及其优点将会变得清楚。

附图说明

被结合在说明书中并构成说明书的一部分的附图示出了本发明的实施例，并且连同其说明一起用于解释本发明的原理。

图1示出了本发明实施例提供的微激光投影系统的硬件配置示意图；

图2示出了本发明第一实施例的微振镜共振频率的确定方法的流程示意图；

图3示出了本发明第二实施例的用于检测微振镜的共振频率的装置的框图；

图4示出了本发明第三实施例的用于检测微振镜的共振频率的装置的框图。

具体实施方式

现在将参照附图来详细描述本发明的各种示例性实施例。应注意到：除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本发明的范围。

以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本发明及其应用或使用的任何限制。

对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为说明书的一部分。

在这里示出和讨论的所有例子中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它例子可以具有不同的值。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。

<硬件配置>

图1示出了微激光投影系统的硬件配置示意图。

本实施例的微激光投影系统1000包括mems振镜100和共振频率检测装置200。

mems(micro-electro-mechanicalsystem，微机电模块)振镜100是一种微型镜面，可以通过围绕轴的快速转动，反射各种光等。

mems振镜用于微激光投影领域，通过控制mems振镜转动，利用x、y两个转轴的反射镜的旋转运动来实现激光束在工作视场上的扫描。通常mems振镜以共振频率运行时，mems振镜的能量损耗最小，运行最省力。为了使减小mems振镜的运行阻力，通常使其运行在共振频率附近。

共振频率检测装置200可以用于检测mems振镜100工作的共振频率。

在一个例子中，共振频率检测装置200可以如图1所示，包括处理器210、存储器220、接口装置230、通信装置240、显示装置250、输入装置260、扬声器270、麦克风280等。

其中，处理器210可以是中央处理器cpu、微处理器mcu等。存储器220例如包括rom(只读存储器)、ram(随机存取存储器)、诸如硬盘的非易失性存储器等。接口装置230例如包括usb接口、耳机接口等。通信装置240可以包括短距离通信装置，例如是基于hilink协议、wifi(ieee802.11协议)、mesh、蓝牙、zigbee、thread、z-wave、nfc、uwb、lifi等短距离无线通信协议进行短距离无线通信的任意装置，通信装置240也可以包括远程通信装置，例如是进行wlan、gprs、2g/3g/4g/5g远程通信的任意装置。显示装置250例如是液晶显示屏、触摸显示屏等。输入装置260例如可以包括触摸屏、键盘、体感输入等。用户可以通过扬声器270和麦克风280输入/输出语音信息。

尽管在图1中对共振频率检测装置200示出了多个装置，但是，本发明可以仅涉及其中的部分装置，例如共振频率检测装置200只涉及存储器220和处理器210。

在上述描述中，技术人员可以根据本公开所提供的方案设计指令。指令如何控制处理器进行操作，这是本领域公知，故在此不再详细描述。

图1所示的共振频率检测装置仅是解释性的，并且决不是为了要限制本公开、其应用或用途。

<第一实施例>

本实施例提供一种微振镜共振频率的确定方法。该方法由上述共振频率检测装置实施。

如图2所示，该微振镜共振频率的确定方法可以包括如下步骤s2100～s2300。

步骤s2100，向微振镜输入驱动信号并采集微振镜输出的反馈信号，确定第一相位差。

该例子中，微振镜为mems(micro-electro-mechanicalsystem，微机电模块)振镜。

驱动信号可以用于控制微振镜的运行，通过调整驱动信号的频率控制微振镜工作。

反馈信号反应了在当前驱动信号下mems振镜的实际运行情况，可以基于反馈信号对输入微振镜的驱动信号进行调整，达到精确控制微振镜运行的目的。

第一相位差为同一时刻的驱动信号和反馈信号之间的相位差。

该例子中，通过数模转换器dac(digitaltoanalogconverter)向微振镜输入驱动信号，通过采集单元同步采集输入至微振镜的驱动信号和微振镜输出的反馈信号。具体地，采集单元包括第一模数转换器adc1(analog-to-digitalconverter)和第二模数转换器adc2(analog-to-digitalconverter)，第一模数转换器adc1可以用于采集输入至微振镜的驱动信号，第二模数转换器adc2可以用于微振镜输出的反馈信号，第一模数转换器adc1和第二模数转换器adc2进行同步采集。

以一定频率的驱动信号控制微振镜运行时，当前同一时刻的驱动信号和反馈信号之间具有一定的相位差，第一相位差可以反映驱动信号的频率。根据同一时刻的驱动信号和反馈信号之间的相位差，确定第一相位差，根据第一相位差与标准相位差的差值的大小，可以判断该驱动信号的频率与微振镜的共振频率的接近程度，从而根据驱动信号的频率与微振镜的共振频率的接近程度进一步对驱动信号的频率进行调整，能够快速确定微振镜的共振频率。

在一个例子中，输入微振镜的驱动信号的频率是预设的初始频率，预设的初始频率可以从预设的频率范围内选取。预设的频率范围可以根据工程经验或者试验仿真结果来设定的。预设的频率范围可以是通常情况下微振镜的共振频率所在的频率范围，例如，26500hz～29000hz。

在确定第一相位差之后，进入：

步骤s2200，确定第一差值，第一差值为标准相位差与第一相位差的差值。

标准相位差为微振镜以共振频率工作时驱动信号与反馈信号之间的相位差，标准相位差是预先设置的，标准相位差可以从微振镜出厂时的参数中获取。

不同的微振镜具有不同的共振频率。不同的共振频率对应有不同的标准相位差。微振镜以共振频率运行时，微振镜的能量损耗最小，运行最省力。

在确定第一差值之后，进入：

步骤s2300，逐次调整驱动信号的频率，直至第一差值在预设的误差范围内，将最后一次后的驱动信号的频率确定为共振频率。

第一差值可以体现驱动信号的频率与微振镜的共振频率之间的差距。

预设的误差范围可以反映微振镜的工作频率是否达到共振频率，当第一差值在预设的误差范围内，当前驱动信号与反馈信号的第一相位差接近标准相位差，此时，可以认为该第一相位差对应的驱动信号的频率为微振镜的共振频率。预设的误差范围可以根据工程经验或者试验仿真结果来设定的。

在一个更具体例子中，可以是利用如下公式判断第m次调整后的第一差值在预设的误差范围内。

|dtar-dm|≤espc公式(1)

以上公式(1)中，dtar-dm表示第m次调整后的第一差值，espc表示预设的误差范围，m为正整数。直至调整后的第一差值在预设的误差范围内，则将最后一次后的驱动信号的频率确定为共振频率。

逐次调整驱动信号的频率，存储每一次调整后驱动信号的频率以及第一相位差，根据每一次调整后的第一相位差和标准相位差确定第一差值，判断每一次调整后的第一差值是否在预设的误差范围内，直至第一差值在预设的误差范围内，可以确定该第一差值对应的驱动信号的频率为共振频率。

在该例子中，第一次调整驱动信号的频率时，频率调整量为预设的初始调整量。预设的初始调整量可以用δf1表示。

预设的初始调整量可以根据工程经验或者试验仿真结果来设定。例如，50hz。

在本例中，根据本次调整的频率调整量对驱动信号的频率进行调整，可以进一步为：

根据预设的初始调整量对驱动信号的频率进行调整。

例如，设定驱动信号的初始频率为f1＝27000hz，预设的初始调整量δf1为50hz，第一次调整后驱动信号的频率f2＝f1+δf1＝27000+50＝27050hz。

例如，设定驱动信号的初始频率为f1＝27000hz，预设的初始调整量δf1为-50hz，第一次调整后驱动信号的频率f2＝f1+δf1＝27000-50＝26950hz。

在该例子中，第二次以及后续整调整驱动信号的频率时，每一次调整驱动信号的频率的步骤可以进一步包括：步骤s2310-s2320。

步骤s2310，根据前一次调整的频率调整量和本次调整的调整系数确定本次调整的频率调整量。

本次调整的调整系数等于前一次调整后的第一差值与前一次调整后的第二差值的比值。前一次调整后的第二差值为前一次调整后的第一相位差与前一次调整前的第一相位差的差值。

前一次调整后的第一差值反映了前一次调整后驱动信号与反馈信号之间的第一相位差与标准相位差的差值。前一次调整后的第二差值反映了第一调整前后驱动信号与反馈信号之间的第一相位差的变化。本次调整的调整系数是基于前一次调整后的第一差值与前一次调整后的第二差值确定。根据前一次调整的频率调整量和本次调整的调整系数，能够实现对驱动信号的频率的精确调整，从而实现对微振镜的共振频率的精确定位。

步骤s2320，根据本次调整的频率调整量对驱动信号的频率进行调整。

在一个例子中，根据前一次调整的频率调整量和本次调整的调整系数确定本次调整的频率调整量的步骤s2320可以进一步包括：

根据前一次调整的频率调整量与本次调整的调整系数的乘积确定本次调整的频率调整量。

下面以一个具体的例子，对该微振镜共振频率的确定方法进行说明。

在本例中，向微振镜输入驱动信号，驱动信号的频率为初始频率f1，同步采集输入至微振镜的驱动信号和微振镜输出的反馈信号，确定第一相位差为d1，第一相位差为同一时刻采集到的驱动信号和反馈信号之间的相位差。

在本例中，对驱动信号的频率进行第一次调整。在第一次调整驱动信号的频率时，频率调整量为预设的初始调整量。预设的初始调整量可以用δf1表示。

根据预设的初始调整量和初始频率，确定第一次调整后的驱动信号的频率，可以利用如下公式计算第一次调整后的驱动信号的频率：

f2＝f1+δf1公式(2)

以上公式(2)中，f2表示第一次调整后的驱动信号的频率，f1表示驱动信号的初始频率，δf1表示预设的初始调整量。

同步采集输入至微振镜的驱动信号和微振镜输出的反馈信号，确定第一次调整后的驱动信号与反馈信号的第一相位差为d2。

确定标准相位差与第一次调整后的驱动信号与反馈信号的第一相位差d2的差值，确定第一差值。根据公式(1)判断第一次调整后的驱动信号对应的第一差值是否在预设的误差范围内。

如果第一次调整后的驱动信号对应的第一差值在预设的误差范围内，将第一次调整后的驱动信号的频率确定为微振镜的共振频率。

如果第一次调整后的驱动信号对应的第一差值不在预设的误差范围内，对第一次调整后的驱动信号的频率进行第二次调整。

在本例中，对驱动信号的频率进行第二次调整。第二次调整驱动信号的频率时，根据第一次调整的频率调整量和第二次调整的调整系数确定频率调整量，第一次调整的频率调整量为初始调整量。

第二次调整的调整系数等于第一次调整后的第一差值与第一次调整后的第二差值的比值，第一次调整后的第二差值为第一次调整后的第一相位差与第一次调整前的第一相位差的差值。

在本例中，第二次调整驱动信号的频率时，可以是利用如下公式计算第二次调整的调整系数：

以上公式(3)中，k2表示第二次调整的调整系数，dtar-d2表示第一次调整后的第一差值，d2-d1表示第一次调整后的第二差值，dtar表示标准相位差，d2表示第一次调整后第一相位差，d1表示以初始频率的驱动信号驱动时的第一相位差。

在本例中，第二次调整驱动信号的频率时，根据第一次调整的频率调整量和第二次调整的调整系数确定第二次调整的频率调整量，可以是利用如下公式计算第二次调整的频率调整量：

以上公式(4)中，δf2表示第二次调整的频率调整量，δf1表示第一次调整的频率调整量，k2表示第二次调整的调整系数，dtar-d2表示第一次调整后的第一差值，d2-d1表示第一次调整后的第二差值，dtar表示标准相位差，d2表示第一次调整后第一相位差，d1表示以初始频率的驱动信号驱动时的第一相位差。

其中，第一次调整的频率调整量为预设的初始调整量。

根据第二次调整的频率调整量和第一次调整后的驱动信号的频率，确定第二次调整后的驱动信号的频率，可以利用如下公式计算第二次调整后的驱动信号的频率：

f3＝f2+δf2公式(5)

以上公式(5)中，f3表示第二次调整后的驱动信号的频率，f2表示第一次调整后的驱动信号的频率，δf2表示第二次调整的频率调整量。

同步采集输入至微振镜的驱动信号和微振镜输出的反馈信号，确定第二次调整后的驱动信号与反馈信号的第一相位差为d3。

确定标准相位差与第二次调整后的驱动信号与反馈信号的第一相位差d3的差值，确定第一差值。根据公式(1)判断第二次调整后的驱动信号对应的第一差值是否在预设的误差范围内。

如果第二次调整后的驱动信号对应的第一差值在预设的误差范围内，将第二次调整后的驱动信号的频率确定为微振镜的共振频率。

如果第二次调整后的驱动信号对应的第一差值不在预设的误差范围内，对第二次调整后的驱动信号的频率进行第三次调整。

在本例中，对驱动信号的频率进行第三次调整。第三次调整驱动信号的频率时，根据第二次调整的频率调整量和第三次调整的调整系数确定频率调整量。

第三次调整的调整系数等于第二次调整后的第一差值与第二次调整后的第二差值的比值，第二次调整后的第二差值为第二次调整后的第一相位差与第一次调整后的第一相位差的差值。

在本例中，第三次调整驱动信号的频率时，可以是利用如下公式计算第三次调整的调整系数：

以上公式(6)中，k3表示第三次调整的调整系数，dtar-d3表示第二次调整后的第一差值，d3-d2表示第二次调整后的第二差值，dtar表示标准相位差，d3表示第二次调整后的第一相位差，d2表示第一次调整后第一相位差。

在本例中，第三次调整驱动信号的频率时，根据第二次调整的频率调整量和第三次调整的调整系数确定第三次调整的频率调整量，可以是利用如下公式计算第三次调整的频率调整量：

以上公式(7)中，δf3表示第三次调整的频率调整量，δf2表示第二次调整的频率调整量，k3表示第三次调整的调整系数，dtar-d3表示第二次调整后的第一差值，d3-d2表示第二次调整后的第二差值，dtar表示标准相位差，d3表示第二次调整后的第一相位差，d2表示第一次调整后第一相位差。

根据第三次调整的频率调整量和第二次调整后的驱动信号的频率，确定第三次调整后的驱动信号的频率，可以利用如下公式计算第三次调整后的驱动信号的频率：

f4＝f3+δf3公式(8)

以上公式(8)中，f4表示第三次调整后的驱动信号的频率，f3表示第二次调整后的驱动信号的频率，δf3表示第三次调整的频率调整量。

同步采集输入至微振镜的驱动信号和微振镜输出的反馈信号，确定第三次调整后的驱动信号与反馈信号的第一相位差为d4。

确定标准相位差与第三次调整后的驱动信号与反馈信号的第一相位差d4的差值，确定第一差值。根据公式(1)判断第三次调整后的驱动信号对应的第一差值是否在预设的误差范围内。

如果第三次调整后的驱动信号对应的第一差值在预设的误差范围内，将第三次调整后的驱动信号的频率确定为微振镜的共振频率。

如果第三次调整后的驱动信号对应的第一差值不在预设的误差范围内，对第三次调整后的驱动信号的频率继续进行调整。

在本例中，对驱动信号的频率进行第n次调整，n为正整数且n≥2。

第n次调整驱动信号的频率时，根据第n-1次调整的频率调整量和第n次调整的调整系数确定频率调整量。

第n次调整的调整系数等于第n-1次调整后的第一差值与第n-1次调整后的第二差值的比值，第n-1次调整后的第二差值为第n-1次调整后的第一相位差与第n-1次调整前的第一相位差的差值。

在本例中，第n次调整驱动信号的频率时，可以是利用如下公式计算第n次调整的调整系数：

以上公式(9)中，kn表示第n次调整的调整系数，dtar-dn表示第n-1次调整后的第一差值，dn-dn-1表示第n-1次调整后的第二差值，dtar表示标准相位差，dn表示第n-1次调整后的第一相位差，dn-1表示第n-1次调整前第一相位差。

在本例中，第n次调整驱动信号的频率时，根据第n-1次调整的频率调整量和第n次调整的调整系数确定第n次调整的频率调整量，可以是利用如下公式计算第n次调整的频率调整量：

以上公式(10)中，δfn表示第n次调整的频率调整量，δfn-1表示第n-1次调整的频率调整量，kn表示第n次调整的调整系数，dtar-dn表示第n-1次调整后的第一差值，dn-dn-1表示第n-1次调整后的第二差值，dtar表示标准相位差，dn表示第n-1次调整后的第一相位差，dn-1表示第n-1次调整前第一相位差。

根据第n次调整的频率调整量和第n-1次调整后的驱动信号的频率，确定第n次调整后的驱动信号的频率，可以利用如下公式计算第n次调整后的驱动信号的频率：

fn＝fn-1+δfn公式(11)

以上公式(1)中，fn表示第n次调整后的驱动信号的频率，fn-1表示第n-1次调整后的驱动信号的频率，δfn表示第n次调整的频率调整量。

同步采集输入至微振镜的驱动信号和微振镜输出的反馈信号，确定第n次调整后的驱动信号与反馈信号的第一相位差为dn+1。

确定标准相位差与第n次调整后的驱动信号与反馈信号的第一相位差dn+1的差值，确定第一差值。根据公式(1)判断第n次调整后的驱动信号对应的第一差值是否在预设的误差范围内。

直至第一差值在预设的误差范围内，将第n次后的驱动信号的频率确定为微振镜的共振频率。

以上已经结合附图说明本实施例中提供的微振镜共振频率的确定方法，通过逐次调整驱动信号的频率，直至驱动信号与反馈信号之间的第一相位差在预设的误差范围内，将最后一次后的驱动信号的频率确定为微振镜的共振频率，每次调整是根据前一次调整的频率调整量和本次调整的调整系数确定的，能够实现对驱动信号的频率的精确调整，从而实现对微振镜的共振频率的精确定位。

<第二实施例>

在本实施例中，提供一种用于检测微振镜的共振频率的装置3000，如图3所示，用于检测微振镜的共振频率的装置3000与mems振镜连接。

该用于检测微振镜的共振频率的装置3000包括相位差确定模块3100、第一差值确定模块3200、共振频率确定模块3300。

该相位差确定模块3100可以用于向微振镜输入驱动信号并采集微振镜输出的反馈信号，确定第一相位差；第一相位差为同一时刻的驱动信号和反馈信号之间的相位差。

该第一差值确定模块3200可以用于确定第一差值，第一差值为标准相位差与第一相位差的差值，标准相位差为微振镜以共振频率工作时驱动信号与反馈信号之间的相位差。

该共振频率确定模块3300可以用于逐次调整驱动信号的频率，直至第一差值在预设的误差范围内，将最后一次后的驱动信号的频率确定为微振镜的共振频率。

在一个例子中，该共振频率确定模块3300可以进一步包括：频率调整量确定单元3310和频率调整单元3320。

该频率调整量确定单元3310可以用于根据前一次调整的频率调整量和本次调整的调整系数确定本次调整的频率调整量；本次调整的调整系数等于前一次调整后的第一差值与前一次调整后的第二差值的比值，前一次调整后的第二差值为前一次调整后的第一相位差与前一次调整前的第一相位差的差值；

在一个更具体例子中，该频率调整量确定单元3310可以用于在第一次调整驱动信号的频率时，确定频率调整量为预设的初始调整量。

在另一个更具体例子中，该频率调整量确定单元3310可以用于根据前一次调整的频率调整量与本次调整的调整系数的乘积确定本次调整的频率调整量。

在另一个例子中，该装置还包括采集单元3400。

该采集单元3400可以用于同步采集输入至微振镜的驱动信号和微振镜输出的反馈信号；第一相位差为同一时刻采集到的驱动信号和反馈信号之间的相位差。

在一个更具体的例子中，采集单元3400包括第一模数转换器adc1(analog-to-digitalconverter)和第二模数转换器adc2(analog-to-digitalconverter)，第一模数转换器adc1可以用于采集输入至微振镜的驱动信号，第二模数转换器adc2可以用于微振镜输出的反馈信号，第一模数转换器adc1和第二模数转换器adc2进行同步采集。

以上已经结合附图说明本实施例中提供的微振镜共振频率的确定方法，通过逐次调整驱动信号的频率，直至驱动信号与反馈信号之间的第一相位差在预设的误差范围内，将最后一次后的驱动信号的频率确定为微振镜的共振频率，每次调整是根据前一次调整的频率调整量和本次调整的调整系数确定的，能够实现对驱动信号的频率的精确调整，从而实现对微振镜的共振频率的精确定位。

<第三实施例>

在本实施例中，提供一种用于检测微振镜的共振频率的装置4000，该用于检测微振镜的共振频率的装置可以是如图1所示的共振频率检测装置200。

如图4所示，该用于检测微振镜的共振频率的装置4000包括处理器4100和存储器4200。

存储器4200，可以用于存储可执行的指令；

处理器4100，可以用于根据可执行的指令的控制，执行如本第一实施例中提供的微振镜共振频率的确定方法。

<第四实施例>

在本实施例中，提供一种计算机存储介质，存储有可执行计算机指令，所述可执行计算机指令被处理器执行时，实现如本第一实施例中提供的微振镜共振频率的确定方法。

上述各实施例主要重点描述与其他实施例的不同之处，但本领域技术人员应当清楚的是，上述各实施例可以根据需要单独使用或者相互结合使用。

本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，各个实施例之间相同相似的部分相互参见即可，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，但本领域技术人员应当清楚的是，上述各实施例可以根据需要单独使用或者相互结合使用。另外，对于装置实施例而言，由于其是与方法实施例相对应，所以描述得比较简单，相关之处参见方法实施例的对应部分的说明即可。以上所描述的系统实施例仅仅是示意性的，其中作为分离部件说明的模块可以是或者也可以不是物理上分开的。

本发明可以是系统、方法和/或计算机程序产品。计算机程序产品可以包括计算机可读存储介质，其上载有用于使处理器实现本发明的各个方面的计算机可读程序指令。

计算机可读存储介质可以是可以保持和存储由指令执行设备使用的指令的有形设备。计算机可读存储介质例如可以是――但不限于――电存储设备、磁存储设备、光存储设备、电磁存储设备、半导体存储设备或者上述的任意合适的组合。计算机可读存储介质的更具体的例子(非穷举的列表)包括：便携式计算机盘、硬盘、随机存取存储器(ram)、只读存储器(rom)、可擦式可编程只读存储器(eprom或闪存)、静态随机存取存储器(sram)、便携式压缩盘只读存储器(cd-rom)、数字多功能盘(dvd)、记忆棒、软盘、机械编码设备、例如其上存储有指令的打孔卡或凹槽内凸起结构、以及上述的任意合适的组合。这里所使用的计算机可读存储介质不被解释为瞬时信号本身，诸如无线电波或者其他自由传播的电磁波、通过波导或其他传输媒介传播的电磁波(例如，通过光纤电缆的光脉冲)、或者通过电线传输的电信号。

这里所描述的计算机可读程序指令可以从计算机可读存储介质下载到各个计算/处理设备，或者通过网络、例如因特网、局域网、广域网和/或无线网下载到外部计算机或外部存储设备。网络可以包括铜传输电缆、光纤传输、无线传输、路由器、防火墙、交换机、网关计算机和/或边缘服务器。每个计算/处理设备中的网络适配卡或者网络接口从网络接收计算机可读程序指令，并转发该计算机可读程序指令，以供存储在各个计算/处理设备中的计算机可读存储介质中。

用于执行本发明操作的计算机程序指令可以是汇编指令、指令集架构(isa)指令、机器指令、机器相关指令、微代码、固件指令、状态设置数据、或者以一种或多种编程语言的任意组合编写的源代码或目标代码，所述编程语言包括面向对象的编程语言—诸如smalltalk、c++等，以及常规的过程式编程语言—诸如“c”语言或类似的编程语言。计算机可读程序指令可以完全地在用户计算机上执行、部分地在用户计算机上执行、作为一个独立的软件包执行、部分在用户计算机上部分在远程计算机上执行、或者完全在远程计算机或服务器上执行。在涉及远程计算机的情形中，远程计算机可以通过任意种类的网络—包括局域网(lan)或广域网(wan)—连接到用户计算机，或者，可以连接到外部计算机(例如利用因特网服务提供商来通过因特网连接)。在一些实施例中，通过利用计算机可读程序指令的状态信息来个性化定制电子电路，例如可编程逻辑电路、现场可编程门阵列(fpga)或可编程逻辑阵列(pla)，该电子电路可以执行计算机可读程序指令，从而实现本发明的各个方面。

这里参照根据本发明实施例的方法、装置(系统)和计算机程序产品的流程图和/或框图描述了本发明的各个方面。应当理解，流程图和/或框图的每个方框以及流程图和/或框图中各方框的组合，都可以由计算机可读程序指令实现。

这些计算机可读程序指令可以提供给通用计算机、专用计算机或其它可编程数据处理装置的处理器，从而生产出一种机器，使得这些指令在通过计算机或其它可编程数据处理装置的处理器执行时，产生了实现流程图和/或框图中的一个或多个方框中规定的功能/动作的装置。也可以把这些计算机可读程序指令存储在计算机可读存储介质中，这些指令使得计算机、可编程数据处理装置和/或其他设备以特定方式工作，从而，存储有指令的计算机可读介质则包括一个制造品，其包括实现流程图和/或框图中的一个或多个方框中规定的功能/动作的各个方面的指令。

也可以把计算机可读程序指令加载到计算机、其它可编程数据处理装置、或其它设备上，使得在计算机、其它可编程数据处理装置或其它设备上执行一系列操作步骤，以产生计算机实现的过程，从而使得在计算机、其它可编程数据处理装置、或其它设备上执行的指令实现流程图和/或框图中的一个或多个方框中规定的功能/动作。

附图中的流程图和框图显示了根据本发明的多个实施例的系统、方法和计算机程序产品的可能实现的体系架构、功能和操作。在这点上，流程图或框图中的每个方框可以代表一个模块、程序段或指令的一部分，所述模块、程序段或指令的一部分包含一个或多个用于实现规定的逻辑功能的可执行指令。在有些作为替换的实现中，方框中所标注的功能也可以以不同于附图中所标注的顺序发生。例如，两个连续的方框实际上可以基本并行地执行，它们有时也可以按相反的顺序执行，这依所涉及的功能而定。也要注意的是，框图和/或流程图中的每个方框、以及框图和/或流程图中的方框的组合，可以用执行规定的功能或动作的专用的基于硬件的系统来实现，或者可以用专用硬件与计算机指令的组合来实现。对于本领域技术人员来说公知的是，通过硬件方式实现、通过软件方式实现以及通过软件和硬件结合的方式实现都是等价的。

以上已经描述了本发明的各实施例，上述说明是示例性的，并非穷尽性的，并且也不限于所披露的各实施例。在不偏离所说明的各实施例的范围和精神的情况下，对于本技术领域的普通技术人员来说许多修改和变更都是显而易见的。本文中所用术语的选择，旨在最好地解释各实施例的原理、实际应用或对市场中的技术改进，或者使本技术领域的其它普通技术人员能理解本文披露的各实施例。本发明的范围由所附权利要求来限定。