一种基于可移动反射镜的级联F-P腔式光滤波器的制作方法

文档序号:18714515发布日期:2019-09-20 20:59阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基于可移动反射镜的级联F-P腔式光滤波器,其特征在于,包括信号输入/输出单元、阶梯型F-P腔、反射镜和位移驱动器,入射光经过阶梯型F-P腔至反射镜,并通过反射镜反射后按原光路路径的相反方向射出,所述信号输入/输出单元的数量与阶梯型F-P腔的阶层数一致,且每个阶梯型F-P腔的阶层均对应一个信号输入/输出单元,其中反射镜是通过位移驱动器带动自身的运动,使得光线经过两次级联F-P腔的腔长发生变化。

2.根据权利要求1所述的一种基于可移动反射镜的级联F-P腔式光滤波器,其特征在于,所述阶梯型F-P腔的左侧为平滑的平面,右侧包括许多阶梯状的平面,形成了腔长不等的若干F-P支腔,所述的F-P支腔有7个,其中可将最中间的F-P支腔为第一谐振腔,其余F-P支腔为第二谐振腔。

3.根据权利要求1所述的一种基于可移动反射镜的级联F-P腔式光滤波器,其特征在于,所述阶梯型F-P腔左右两侧均镀有多层介质薄膜。

4.根据权利要求2所述的一种基于可移动反射镜的级联F-P腔式光滤波器,其特征在于,所述不同的F-P支腔的腔长彼此之间呈整倍数关系。

5.根据权利要求1所述的一种基于可移动反射镜的级联F-P腔式光滤波器,其特征在于,所述反射镜采用直角反射棱镜,且直角反射棱镜放置于位移驱动器上,可被位移驱动器驱动到不同的位置,所述直角反射棱镜呈三棱柱型,包括第一反射面、第二反射面和折射面。

6.根据权利要求5所述的一种基于可移动反射镜的级联F-P腔式光滤波器,其特征在于,所述第一反射面和第二反射面成直角相交。

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