一种光刻胶清洗装置的制作方法

文档序号:20227965发布日期:2020-03-31 16:50阅读:390来源:国知局
一种光刻胶清洗装置的制作方法

本实用新型涉及光刻胶技术领域,具体为一种光刻胶清洗装置。



背景技术:

光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一,特别是近年来大规模和超大规模集成电路的发展,更是大大促进了光刻胶的研究开发和应用。

光刻胶的技术复杂,品种较多,根据其化学反应机理和显影原理,可分负性胶和正性胶两类,但目前市场上现有的光刻胶在涂抹后不方便对其进行清洗,造成了使用者在清洗时需要过多的时间和体力,故提出一种光刻胶清洗装置来解决上述问题。



技术实现要素:

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种光刻胶清洗装置,具备方便清洗等优点,解决了目前市场上现有的光刻胶在涂抹后不方便对其进行清洗,造成了使用者在清洗时需要过多的时间和体力的问题。

(二)技术方案

为实现上述方便清洗的目的,本实用新型提供如下技术方案:一种光刻胶清洗装置,包括第一安装架,所述第一安装架的顶部固定安装有数量两个的连接杆,两个所述连接杆的顶部均与第二安装架的底部固定连接,所述第二安装架内腔的顶壁固定安装有放射灯,所述第一安装架内腔的左右侧壁均固定安装有安装块,所述安装块的内部滑动连接有活动块,所述安装块的顶壁内部固定安装有螺纹圈,所述螺纹圈的内表面活动连接有贯穿安装块且与活动块活动连接的螺丝杆,所述连接杆的外表面套接有与连接杆转动连接的转动杆,两个所述转动杆的相离面均固定安装有第一固定箱,所述第一固定箱的内部滑动连接有贯穿第一固定箱的滑动杆,两个所述滑动杆的相离面均固定安装有固定架,所述固定架的内部固定安装有贯穿并延伸至固定架底部的喷枪,所述喷枪的顶部连通有位于固定架顶部的进水漏斗,所述喷枪的外表面固定安装有连通至喷枪内部的控制阀,所述喷枪的底部固定安装有导流杆,所述第二安装架的左右两侧均固定安装有齿槽块,所述第一固定箱的顶部固定安装有第二固定箱,所述第二固定箱的内部滑动连接有贯穿第二固定箱的插杆,两个所述插杆的相对面均固定安装有插块,所述第二固定箱内腔的顶壁和底壁句固定安装有数量为两个的弹簧,所述弹簧远离第二固定箱的一侧固定安装有与插杆活动连接的卡块。

优选的,所述螺纹圈的内表面开设有螺纹凹槽,且螺丝杆与螺纹凹槽互相啮合,螺丝杆的顶部固定安装有旋杆。

优选的,所述活动块的顶部开设有限位凹槽,限位凹槽的内部活动连接有限位块,且螺丝杆穿过限位凹槽与限位块固定连接。

优选的,所述滑动杆通过螺栓与固定架固定连接,且控制阀的一侧活动安装有连通至控制旋钮。

优选的,两个所述齿槽块的相离面均开设有齿纹凹槽,且插块的外表面固定安装有齿纹凸块。

优选的,所述卡块的形状为圆弧形,插杆的顶部和底部均开设有数量两个的圆弧形卡槽,且卡块位于圆弧形卡槽的内部。

(三)有益效果

与现有技术相比,本实用新型提供了一种光刻胶清洗装置,具备以下有益效果:

该光刻胶清洗装置,通过设置导流杆,当使用者需要清洗被光刻胶涂抹后的电子元件时,将氧化水通过进水漏斗倒入至喷枪的内部,然后转动第一固定箱并滑动滑动杆,此时滑动杆可以带动固定架移动并使导流杆可以位于需要清洗部位的顶部,然后使用者可以打开控制阀并通过扭动控制阀旁的控制旋钮来调节出水量,此时从喷枪流出的氧化水会顺着导流杆流至需要清洗部位的顶部并进行清洗,清洗过后使用者可以再转动第一固定箱并滑动插杆,此时插杆带动插块插入至齿槽块内,而此时卡块卡接在插杆的底部和底部,从而完成了对整个装置的固定,从而使该装置具备方便清洗的优点,方便了使用者使用。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图;

图2为本实用新型图1所示a处放大示意图;

图3为本实用新型图1所示b处放大示意图。

图中:1第一安装架、2连接杆、3第二安装架、4放射灯、5安装块、6活动块、7螺纹圈、8螺丝杆、9转动杆、10第一固定箱、11滑动杆、12固定架、13喷枪、14进水漏斗、15控制阀、16导流杆、17齿槽块、18第二固定箱、19插杆、20插块、21弹簧、22卡块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3,一种光刻胶清洗装置,包括第一安装架1,第一安装架1的顶部固定安装有数量两个的连接杆2,两个连接杆2的顶部均与第二安装架3的底部固定连接,第二安装架3内腔的顶壁固定安装有放射灯4,第一安装架1内腔的左右侧壁均固定安装有安装块5,安装块5的内部滑动连接有活动块6,安装块5的顶壁内部固定安装有螺纹圈7,螺纹圈7的内表面活动连接有贯穿安装块5且与活动块6活动连接的螺丝杆8,活动块6的顶部开设有限位凹槽,限位凹槽的内部活动连接有限位块,且螺丝杆8穿过限位凹槽与限位块固定连接,螺纹圈7的内表面开设有螺纹凹槽,且螺丝杆8与螺纹凹槽互相啮合,螺丝杆8的顶部固定安装有旋杆,连接杆2的外表面套接有与连接杆2转动连接的转动杆9,两个转动杆9的相离面均固定安装有第一固定箱10,第一固定箱10的内部滑动连接有贯穿第一固定箱10的滑动杆11,两个滑动杆11的相离面均固定安装有固定架12,固定架12的内部固定安装有贯穿并延伸至固定架12底部的喷枪13,喷枪13的顶部连通有位于固定架12顶部的进水漏斗14,喷枪13的外表面固定安装有连通至喷枪13内部的控制阀15,滑动杆11通过螺栓与固定架12固定连接,且控制阀15的一侧活动安装有连通至控制旋钮,喷枪13的底部固定安装有导流杆16,第二安装架3的左右两侧均固定安装有齿槽块17,第一固定箱10的顶部固定安装有第二固定箱18,第二固定箱18的内部滑动连接有贯穿第二固定箱18的插杆19,两个插杆19的相对面均固定安装有插块20,第二固定箱18内腔的顶壁和底壁句固定安装有数量为两个的弹簧21,弹簧21远离第二固定箱18的一侧固定安装有与插杆19活动连接的卡块22,两个齿槽块17的相离面均开设有齿纹凹槽,且插块20的外表面固定安装有齿纹凸块,卡块22的形状为圆弧形,插杆19的顶部和底部均开设有数量两个的圆弧形卡槽,且卡块22位于圆弧形卡槽的内部,通过设置导流杆16,当使用者需要清洗被光刻胶涂抹后的电子元件时,将氧化水通过进水漏斗14倒入至喷枪13的内部,然后转动第一固定箱10并滑动滑动杆11,此时滑动杆11可以带动固定架12移动并使导流杆16可以位于需要清洗部位的顶部,然后使用者可以打开控制阀15并通过扭动控制阀15旁的控制旋钮来调节出水量,此时从喷枪13流出的氧化水会顺着导流杆16流至需要清洗部位的顶部并进行清洗,清洗过后使用者可以再转动第一固定箱10并滑动插杆19,此时插杆19带动插块20插入至齿槽块17内,而此时卡块22卡接在插杆19的底部和底部,从而完成了对整个装置的固定,从而使该装置具备方便清洗的优点,方便了使用者使用。

在使用时,使用者将氧化水通过进水漏斗14倒入至喷枪13的内部,然后转动第一固定箱10并滑动滑动杆11,使导流杆16可以位于需要清洗部位的顶部,然后使用者可以打开控制阀15并通过扭动控制阀15旁的控制旋钮来调节出水量,此时从喷枪13流出的氧化水会顺着导流杆16流至需要清洗部位的顶部并进行清洗,清洗过后使用者可以再转动第一固定箱10并滑动插杆19,从而完成了对整个装置的固定,从而使该装置具备方便清洗的优点,方便了使用者使用。

综上所述,该光刻胶清洗装置,通过设置导流杆16,当使用者需要清洗被光刻胶涂抹后的电子元件时,将氧化水通过进水漏斗14倒入至喷枪13的内部,然后转动第一固定箱10并滑动滑动杆11,此时滑动杆11可以带动固定架12移动并使导流杆16可以位于需要清洗部位的顶部,然后使用者可以打开控制阀15并通过扭动控制阀15旁的控制旋钮来调节出水量,此时从喷枪13流出的氧化水会顺着导流杆16流至需要清洗部位的顶部并进行清洗,清洗过后使用者可以再转动第一固定箱10并滑动插杆19,此时插杆19带动插块20插入至齿槽块17内,而此时卡块22卡接在插杆19的底部和底部,从而完成了对整个装置的固定,从而使该装置具备方便清洗的优点,方便了使用者使用,解决了目前市场上现有的光刻胶在涂抹后不方便对其进行清洗,造成了使用者在清洗时需要过多的时间和体力的问题。

需要说明的是,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下,由语句“包括一个……”限定的要素,并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

当前第1页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1