一种应用于柔性印刷电路板的光刻装置的制作方法

本发明涉及一种光刻装置，特别是一种应用于柔性印刷电路板的光刻装置。

背景技术：

柔性印刷电路板是用柔性的绝缘基材制成的印刷电路，其可以弯曲、卷绕、折叠，应用于电子电路中，可以缩小电子产品的体积和重量，相较于硬性电路板，更适用于高密度、小型化的电子产品。

现有的针对柔性印刷电路板的光刻机，通常先对所述柔性印刷电路板进行单面的曝光操作，然后将所述柔性印刷电路板取下，再通过光刻机对其另一面进行曝光操作，这样的操作增加了上面曝光柔性印刷电路板的时间。

另一种光刻机，其包括第一曝光单元和第二曝光单元，分别对所述柔性印刷电路板两面进行曝光操作，虽然其不需将所述柔性印刷电路板取下，重新安装，但是，在所述第一曝光单元和所述第二曝光单元之间设有复杂的折返单元，使得所述柔性印刷电路板未被所述第一曝光单元曝光的一侧在所述第二曝光单元进行曝光。所述复杂的折返机构降低了所述光刻机的曝光效率，同时增加了光刻机的成本。

技术实现要素：

本发明所要解决的技术问题是提供一种能够同时对所述柔性印刷电路板两面进行曝光，并且曝光效率高，低成本的光刻装置。

为了解决上述问题，本发明提供了一种应用于柔性印刷电路板的光刻装置，其包括底座，其还包括置于所述底座上的放卷装置、第一曝光系统、第二曝光系统、收卷装置，所述柔性印刷电路板自所述放卷装置，依次通过所述第一曝光系统和所述第二曝光系统，从所述收卷装置收起，所述第一曝光系统和所述第二曝光系统均包括吸附台面，对应所述吸附台面的对位装置和曝光装置，所述第一曝光系统和第二曝光系统顺序排列，方向相对。

进一步的，所述吸附台面垂直设置于所述底座。

进一步的，所述吸附台面临近所述放卷装置或者收卷装置的一侧及其相对侧设有支撑辊。

进一步的，所述吸附台面上对应所述支撑辊设置夹持辊构成夹持机构，所述夹持辊和所述支撑辊之间形成所述柔性印刷电路板通过的通道。

进一步的，所述收卷装置和所述放卷装置均可顺时针旋转和逆时针旋转，在两个方向移动所述柔性印刷电路板。

进一步的，所述收卷装置和所述放卷装置旋转方向相同，所述收卷装置进行卷入操作，所述放卷装置进行卷出操作，所述收卷装置进行卷出操作，所述放卷装置进行卷入操作。

进一步的，所述放卷装置跟随所述第一曝光系统的吸附台面移动。

进一步的，所述收卷装置跟随所述第二曝光系统的吸附台面移动。

进一步的，所述第一曝光系统和所述第二曝光系统的吸附台面同步移动。

进一步的，所述第一曝光系统和所述曝光系统对所述柔性印刷电路板单次曝光区域覆盖所述柔性印刷电路板的全部曝光区域。

与现有技术相比，所述光刻装置不需要复杂的折返结构即完成了柔性印刷电路板的双面曝光。

附图说明

图1是光刻装置第一实施例的示意图。

图2是光刻装置第二实施例的示意图。

图3是光刻装置第三实施例的示意图。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面通过附图中示出的具体实施例来描述本发明。

如图1-3所示，本发明涉及一种应用于柔性印刷电路板的光刻装置，其包括底座（未示出）、置于所述底座上的放卷装置1、第一曝光系统、第二曝光系统、收卷装置2。柔性印刷电路板3从所述放卷装置1中送出，经过第一曝光系统和第二曝光系统完成柔性印刷电路板3的双面曝光操作，所述收卷装置2将曝光完成的柔性印刷电路板3收起。

如图1所示，为光刻装置的第一实施例，是光刻装置的顶视图。所述第一曝光系统包括吸附台面4、对位机构5、投影机构6，所述吸附台面4垂直于所述底座，通过吸真空吸附固定所述柔性印刷电路板。通过驱动机构相对于所述底座进行相对运动，包括上下运动、前后运动、左右运动，上下运动实现多个条带的曝光，即副扫描方向运动，前后运动完成一个条带的曝光，即扫描方向运动，左右运动调整所述吸附台面4相对于所述投影机构6的距离。在所述吸附台面4靠近所述放卷装置1的一侧及其相对侧分别具有支撑辊10，所述支撑辊10帮助将所述柔性印刷电路板3引导至所述吸附台面4，并帮助所述吸附台面4固定所述柔性印刷电路板3。所述对位机构5和所述投影机构6对应于所述吸附台面4，对固定于所述吸附台面上的柔性印刷电路板进行对位识别和曝光操作。

所述第二曝光系统与所述第一曝光系统相同，包括吸附台面4、对位机构5、投影机构6，所述吸附台面4垂直于所述底座，可相对于底座进行上下运动、前后运动、左右运动，在所述吸附台面4靠近所述收卷装置2的一侧及其相对侧分别具有支撑辊10，所述支撑辊10帮助将所述柔性印刷电路板3引导至所述吸附台面4，并帮助所述吸附台面4固定所述柔性印刷电路板3，通过所述收卷装置2将曝光完成的所述柔性印刷电路板3收起。所述对位机构5和所述投影机构6对应于所述吸附台面4，对固定于所述吸附台面4上的柔性印刷电路板进行对位识别和曝光操作。所述第一曝光系统和第二曝光系统顺序排列，方向相对。所述第一曝光系统和所述第二曝光系统的对位机构5和投影机构6分别位于所述吸附台面4的两侧。

所述吸附台面4垂直设置于底座，使得所述第一曝光系统和所述第二曝光系统处于相同的曝光环境，增加二者的一致性。

较佳的，所述放卷装置1跟随所述第一曝光系统的吸附台面4移动，所述收卷装置2跟随所述第二曝光系统的吸附台面4移动。

较佳的，所述第一曝光系统和第二曝光系统吸附台面4的移动同步。

较佳的，所述第一曝光系统和所述第二曝光系统对所述柔性印刷电路板3通过一个条带的曝光即完成曝光操作，即所述第一曝光系统和所述第二曝光系统只需进行单向移动，而无需多个方向多次移动进行曝光操作。

操作时，将待曝光柔性印刷电路板3安装至放卷装置1，并将所述柔性印刷电路板通过所述第一曝光系统和第二曝光系统连接至收卷装置2。

调整所述吸附台面4与所述第一曝光系统和所述第二曝光系统的距离，使其具有最佳的曝光距离。

所述吸附台面4固定所述柔性印刷电路板3。

所述对位机构5对所述柔性印刷电路板3进行对位操作。

所述投影机构6对所述柔性印刷电路板3进行曝光操作。

曝光完成后，所述收卷装置2收起所述第二曝光系统曝光完成的部分，并所述第一曝光系统曝光完成的部分移动至所述第二曝光系统中，进行另一面的曝光操作。

重复上述操作，直至所述完成全部柔性印刷电路板的曝光操作。

对于每一卷柔性印刷电路板，在第一次进行曝光操作时，可仅进行第一曝光系统的曝光操作，在最后一次曝光时，仅进行第二曝光系统的曝光操作。确保所述柔性线路板完成双面曝光操作。

所述吸附台面4、所述放卷装置1和所述收卷装置2也可以仅在副扫描方向移动，通过所述放卷装置1和所述收卷装置2均可顺时针旋转和逆时针旋转实现的卷放操作，实现所述柔性印刷电路板相对于所述投影机构在扫描方向的移动，即，在所述柔性印刷电路板向所述收卷装置2方向移动时，所述收卷装置2进行收卷操作，所述放卷装置1进行放卷操作，使得所述柔性印刷电路板完成一个条带的曝光，在副扫描方向上同时移动所述吸附台面4、所述放卷装置1和所述收卷装置2，然后所述收卷装置2进行放卷操作，所述放卷装置1进行收卷操作，完成下一个条带的曝光操作。若所述投影机构6通过一个条带可完成所述柔性印刷电路板的曝光操作，可无需在副扫描方向上移动所述吸附台面4、所述收卷装置2和所述放卷装置1。

如图2所示，为光刻装置的第二实施例，是光刻装置的侧视图。其包括置于底座的放卷装置1、收卷装置2、第一曝光系统、第二曝光系统和夹持机构20。所述放卷装置1和所述收卷装置2之间设置有夹持机构20，所述夹持机构分别靠近所述放卷装置1和所述收卷装置2，所述夹持装置夹持待曝光的柔性印刷电路板3，所述第一曝光系统和第二曝光系统位于所述待曝光柔性印刷电路板3的两侧，同时对所述柔性印刷电路板3进行曝光操作。所述第一曝光系统和所述第二曝光系统包括对位机构5和投影机构6，所述第一曝光系统和第二曝光系统同时对所述待曝光柔性印刷电路板进行对位和曝光操作。

所述夹持机构包括夹持辊21，两个夹持辊21之间形成通道，所述柔性印刷电路板3在所述通道中穿行或被加紧。当所述夹持辊21转动时，带动所述柔性印刷电路板3移动，当所述夹持辊21停止转动时，所述夹持辊21夹紧所述柔性印刷电路板，使其延展固定。也可以通过夹持辊21打开和闭合的形式操作，打开时，所述夹持辊21之间距离增大，所述柔性印刷电路板3穿过所述两夹持辊之间的通道移动，闭合时，所述夹持辊21夹紧所述柔性印刷电路板，使其固定。

所述第一曝光系统和所述第二曝光系统通过第一驱动机构相对所述夹持机构固定的柔性印刷电路板移动，以获得最佳的曝光距离。当然，固定所述第一曝光系统和所述第二曝光系统，通过移动所述夹持机构，实现所述柔性印刷电路板相对于所述第一曝光系统和所述第二曝光系统移动，获得最佳的曝光距离，也是可选的实施方式。

通过第二驱动机构驱动所述夹持机构20带动所述柔性印刷电路板相对于所述第一曝光系统和所述第二曝光系统在扫描方向和垂直于扫描方向的副扫描方向移动，以完成对所述柔性印刷电路板的曝光操作。

所述夹持机构20、所述放卷装置1和所述收卷装置2也可以仅在副扫描方向移动，通过所述放卷装置1和所述收卷装置2均可进行顺时针转动和逆时针转动实现卷放操作，实现所述柔性印刷电路板相对于所述投影机构在扫描方向的移动，即，在所述柔性印刷电路板向所述收卷装置2方向移动时，所述收卷装置2进行收卷操作，所述放卷装置1进行放卷操作，使得所述柔性印刷电路板完成一个条带的曝光，在副扫描方向上同时移动所述夹持装置20、所述放卷装置1和所述收卷装置2，然后所述收卷装置2进行放卷操作，所述放卷装置1进行收卷操作，完成下一个条带的曝光操作。若所述投影机构6通过一个条带可完成所述柔性印刷电路板的曝光操作，可无需再副扫描方向上移动所述夹持机构20、所述放卷装置1和所述收卷装置2。

在进行曝光操作时，将待曝光柔性印刷电路板3安装至放卷装置1，并将所述柔性印刷电路板3通过所述夹持装置连接至所述收卷装置2。通过移动所述夹持机构20，或者通过移动所述柔性印刷电路板3的方式实现对所述柔性印刷电路板的曝光操作。

如图3所示，为所述光刻机构的第三实施例，是光刻装置的顶视图。在第一实施例的基础上增加夹持机构20，通过设置夹持辊21至所述支撑辊10构成夹持机构，所述夹持辊21和所述支撑辊10构成对所述柔性印刷电路板3的夹持固定的作用。在所述吸附台面4基础上增加对所述柔性印刷电路板的固定作用。

本发明的光刻装置结构简单，方便对所述柔性印刷电路板的两个面进行曝光操作，无需复杂的折返装置，可以提高曝光效率，并且节省成本。