1.一种微机械光偏转设备(10),包括:
-可运动式射束偏转元件(5),所述可运动式射束偏转元件构造用于将输入光束(2)偏转成输出光束(2‘);和
-静态射束偏转装置(3、6),所述静态射束偏转装置具有不同取向的多个面,所述静态射束偏转装置在光(2、2‘)的射束路径中针对所述可运动式射束偏转元件(5)设置,从而使得对于所述可运动式射束偏转元件(5)的输入光束(2)和/或从所述可运动式射束偏转元件(5)出来的输出光束(2‘)穿过所述静态射束偏转装置(3、6)的所述不同取向的多个面(31、32、61、62)中的两个面。
2.根据权利要求1所述的微机械光偏转设备(10),其中,所述静态射束偏转装置(3、6)具有两个光学分离区域(3、6)。
3.根据权利要求1至2中之一所述的微机械光偏转设备(10),其中,所述静态射束偏转装置(3、6)构造成用于所述可运动式射束偏转元件(5)的遮盖件。
4.根据权利要求1至3中之一所述的微机械光偏转设备(10),其中,所述静态射束偏转装置(3、6)以至少一个棱镜(3、6)的形式构成。
5.根据权利要求4所述的微机械光偏转设备(10),其中,所述静态射束偏转装置(3、6)以双棱镜的形式构成,该双棱镜包括两个单独棱镜(3、6),其中,这两个单独棱镜(3、6)相互镜像对称地设置。
6.根据权利要求1至5中之一所述的微机械光偏转设备(10),其中,所述静态射束偏转装置(3、6)设置在用于所述可运动式射束偏转元件(5)的光学透明的遮盖件(4)上。
7.根据权利要求6所述的微机械光偏转设备(10),其中,所述静态射束偏转装置(3、6)借助于胶粘剂固定在所述光学透明的遮盖件(4)上,其中,所述静态射束偏转元件(3、6)、所述胶粘剂和所述光学透明的遮盖件(4)对于至少一个波长范围具有基本上相同的折射率。
8.根据权利要求6或7所述的微机械光偏转设备(10),其中,所述光学透明的遮盖件(4)防反射地构成,特别是设有防反射涂层。
9.根据权利要求1至8之一所述的微机械光偏转设备(10),其中,射束成形元件(8)设置用于所述输入光束(2)和/或所述输出光束(2‘),特别是设置在所述静态射束偏转装置(3、6)上。
10.根据权利要求1至9之一所述的微机械光偏转设备(10),其中,所述可运动式射束偏转元件(5)以微镜的形式构成。
11.一种用于偏转光的方法,其中:
借助于可运动式射束偏转元件(5)将输入光束(2)偏转成输出光束(2‘);以及
设有静态射束偏转装置(3、6),所述静态射束偏转装置具有不同取向的多个面(31、32、61、62),将所述静态射束偏转装置在光(2、2‘)的射束路径中针对所述可运动式射束偏转元件(5)设置,从而使得对于所述射束偏转装置(3、6)的输入光束(2)和/或从所述可运动式射束偏转元件(5)出来的输出光束(2‘)穿过所述静态射束偏转装置(3、6)的所述不同取向的多个面(31、32、61、62)中的两个面。