微机械光偏转设备的制作方法

文档序号:22088461发布日期:2020-09-01 20:22阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种微机械光偏转设备(10),包括:

-可运动式射束偏转元件(5),所述可运动式射束偏转元件构造用于将输入光束(2)偏转成输出光束(2‘);和

-静态射束偏转装置(3、6),所述静态射束偏转装置具有不同取向的多个面,所述静态射束偏转装置在光(2、2‘)的射束路径中针对所述可运动式射束偏转元件(5)设置,从而使得对于所述可运动式射束偏转元件(5)的输入光束(2)和/或从所述可运动式射束偏转元件(5)出来的输出光束(2‘)穿过所述静态射束偏转装置(3、6)的所述不同取向的多个面(31、32、61、62)中的两个面。

2.根据权利要求1所述的微机械光偏转设备(10),其中,所述静态射束偏转装置(3、6)具有两个光学分离区域(3、6)。

3.根据权利要求1至2中之一所述的微机械光偏转设备(10),其中,所述静态射束偏转装置(3、6)构造成用于所述可运动式射束偏转元件(5)的遮盖件。

4.根据权利要求1至3中之一所述的微机械光偏转设备(10),其中,所述静态射束偏转装置(3、6)以至少一个棱镜(3、6)的形式构成。

5.根据权利要求4所述的微机械光偏转设备(10),其中,所述静态射束偏转装置(3、6)以双棱镜的形式构成,该双棱镜包括两个单独棱镜(3、6),其中,这两个单独棱镜(3、6)相互镜像对称地设置。

6.根据权利要求1至5中之一所述的微机械光偏转设备(10),其中,所述静态射束偏转装置(3、6)设置在用于所述可运动式射束偏转元件(5)的光学透明的遮盖件(4)上。

7.根据权利要求6所述的微机械光偏转设备(10),其中,所述静态射束偏转装置(3、6)借助于胶粘剂固定在所述光学透明的遮盖件(4)上,其中,所述静态射束偏转元件(3、6)、所述胶粘剂和所述光学透明的遮盖件(4)对于至少一个波长范围具有基本上相同的折射率。

8.根据权利要求6或7所述的微机械光偏转设备(10),其中,所述光学透明的遮盖件(4)防反射地构成,特别是设有防反射涂层。

9.根据权利要求1至8之一所述的微机械光偏转设备(10),其中,射束成形元件(8)设置用于所述输入光束(2)和/或所述输出光束(2‘),特别是设置在所述静态射束偏转装置(3、6)上。

10.根据权利要求1至9之一所述的微机械光偏转设备(10),其中,所述可运动式射束偏转元件(5)以微镜的形式构成。

11.一种用于偏转光的方法,其中:

借助于可运动式射束偏转元件(5)将输入光束(2)偏转成输出光束(2‘);以及

设有静态射束偏转装置(3、6),所述静态射束偏转装置具有不同取向的多个面(31、32、61、62),将所述静态射束偏转装置在光(2、2‘)的射束路径中针对所述可运动式射束偏转元件(5)设置,从而使得对于所述射束偏转装置(3、6)的输入光束(2)和/或从所述可运动式射束偏转元件(5)出来的输出光束(2‘)穿过所述静态射束偏转装置(3、6)的所述不同取向的多个面(31、32、61、62)中的两个面。


技术总结
本发明涉及一种微机械光偏转设备,包括:可运动式射束偏转元件,其构造成,将输入光束偏转为输出光束;以及静态射束偏转装置,其包括多个不同取向的面,静态射束偏转装置在光的射束路径中对于可运动式射束偏转元件如此设置,从而用于可运动式射束偏转元件的输入光束和/或从可运动式射束偏转元件出来的输出光束穿过静态射束偏转装置的两个不同取向的面。

技术研发人员:T·彼得塞姆;R·绍特科夫斯基
受保护的技术使用者:罗伯特·博世有限公司
技术研发日:2019.01.15
技术公布日:2020.09.01
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