一种微球透镜侧视超分辨成像装置的制作方法

文档序号:22468499发布日期:2020-10-09 21:54阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种微球透镜侧视超分辨成像装置,其特征在于,包括显微镜、样品台、移动机构、探针以及侧视复合透镜,所述样品台位于所述显微镜的下方,所述探针安装在所述移动机构上,所述侧视复合透镜包括浸没介质、连接在所述浸没介质上的微球透镜和光学反射镜,所述浸没介质与所述探针相连接。

2.根据权利要求1所述的一种微球透镜侧视超分辨成像装置,其特征在于,所述浸没介质为紫外光固化胶或聚二甲基硅氧烷胶。

3.根据权利要求1所述的一种微球透镜侧视超分辨成像装置,其特征在于,所述微球透镜半浸没在所述浸没介质中。

4.根据权利要求3所述的一种微球透镜侧视超分辨成像装置,其特征在于,所述微球透镜为钛酸钡微球透镜。

5.根据权利要求3或4所述的一种微球透镜侧视超分辨成像装置,其特征在于,所述微球透镜的直径为50μm。

6.根据权利要求1所述的一种微球透镜侧视超分辨成像装置,其特征在于,所述光学反射镜与水平方向的夹角为45°。

7.根据权利要求2所述的一种微球透镜侧视超分辨成像装置,其特征在于,所述探针的一端穿入所述浸没介质中。

8.根据权利要求7所述的一种微球透镜侧视超分辨成像装置,其特征在于,所述移动机构包括第一水平移动平台、安装在所述第一水平移动平台上的第二水平移动平台、安装在所述第二水平移动平台上的垂直移动平台以及安装在所述垂直移动平台上的角度调节机构,所述探针的另一端安装在所述角度调节机构上。

9.根据权利要求8所述的一种微球透镜侧视超分辨成像装置,其特征在于,所述探针的另一端连接有加长杆,所述加长杆安装在所述角度调节机构上。

10.根据权利要求1所述的一种微球透镜侧视超分辨成像装置,其特征在于,所述样品台为三轴移动平台。


技术总结
本发明公开了一种微球透镜侧视超分辨成像装置,包括显微镜、样品台、移动机构、探针以及侧视复合透镜,样品台位于所述显微镜的下方,探针安装在移动机构上,侧视复合透镜包括浸没介质、连接在浸没介质上的微球透镜和光学反射镜,浸没介质与探针相连接。本发明将微球透镜、光学反射镜均粘接在浸没介质上形成侧视复合透镜,减小侧视复合透镜的体积,使复合透镜可以进入沟槽结构的内部,浸没介质为紫外光固化胶或聚二甲基硅氧烷胶不仅可以提高微球透镜的成像质量,而且具有非常好的光传输性能,通过光学反射镜改变显微镜的光路,通过移动机构实现对侧视复合透镜的操控以及样品台带动样品的移动,实现对沟槽结构内侧壁任意区域的超分辨成像。

技术研发人员:陈涛;王凤霞;刘会聪;杨湛;孙立宁
受保护的技术使用者:苏州大学
技术研发日:2020.06.18
技术公布日:2020.10.09
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