1.一种曝光装置，通过光学系将照明光照射于物体，将前述物体相对前述照明光驱动以分别扫描曝光前述物体的多个区域，其特征在于，具备：
第1支承部，将前述多个区域中的第1区域与在第1方向与前述第1区域排列设置的第2区域的至少一部分区域以非接触方式支承；
保持部，在与前述第1方向交叉的第2方向不与前述第1支承部重叠的位置保持被前述第1支承部以非接触方式支承的前述物体；以及
第1驱动部，在前述第2方向与前述第1支承部分离配置，以前述第2区域的另一部分的区域被前述第1支承部支承的方式，将保持前述物体的前述保持部相对前述第1支承部往前述第1方向驱动。
2.如权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，前述第1支承部具有能支承前述物体的大致整体的大小；
进一步具备：控制部，将前述第1驱动部控制成能切换前述物体的大致整体被前述第1支承部以非接触方式支承的第1状态、与借助前述第1驱动部的驱动使前述物体的一部分从前述第1支承部脱离而前述物体的另一部分被前述第1支承部以非接触方式支承的第2状态。
3.如权利要求2所述的曝光装置，其特征在于，前述控制部在前述扫描曝光时与前述扫描曝光以外时，进行前述第1状态与前述第2状态的切换。
4.如权利要求3所述的曝光装置，其特征在于，进一步具备：标记检测部，进行检测前述物体所具有的多个标记的标记检测动作；
前述控制部，将前述第1驱动部控制成在前述标记检测动作时成为前述第1状态。
5.如权利要求1至4中任一项所述的曝光装置，其特征在于，进一步具备：第2驱动部，将前述支承部往前述第2方向驱动；
前述第1及2驱动部在前述扫描曝光时，将前述保持部与前述第1支承部分别往前述第2方向驱动。
6.如权利要求1至5中任一项所述的曝光装置，其特征在于，进一步具备：第2驱动部，将前述第1支承部往前述第2方向驱动；
前述第2驱动部在前述扫描曝光时将前述保持部往前述第1方向驱动；
前述第1及前述第2驱动部将前述保持部与前述第1支承部分别往前述第2驱动部驱动，变更进行前述扫描曝光的前述物体内的区域。
7.一种曝光装置，将照明光照射于物体，将前述物体相对前述照明光往第1方向移动以分别扫描曝光前述物体的多个区域，其特征在于，具备：
第1支承部，以非接触方式支承前述多个区域中的至少第1区域；
保持部，保持被前述支承部以非接触方式支承的前述物体；
第2驱动系，将前述保持部以前述第1区域的一部分在前述第1方向及与前述第1方向交叉的第2方向中的一方向脱离前述支承部的方式相对前述支承部驱动；以及
第2驱动系，将前述支承部往另一方向驱动。
8.一种曝光装置，通过光学系将照明光照射于物体，将前述物体相对前述照明光驱动以扫描曝光前述物体，其特征在于，具备：
第1支承部，以非接触方式支承前述物体的大致整体；
保持部，保持被前述第1支承部以非接触方式支承的前述物体；以及
驱动部，将前述保持部相对前述第1支承部驱动；
前述驱动部将保持被前述第1支承部以非接触方式支承大致整体的前述物体的前述保持部，以前述物体的一部分从前述第1支承部脱离的方式，相对前述物体中的被照射前述照明光的区域予以驱动。
9.如权利要求1至8中任一项所述的曝光装置，其特征在于，进一步具备：第2支承部，支承前述物体中被前述第1支承部支承的区域以外的区域。
10.如权利要求1至9中任一项所述的曝光装置，其特征在于，前述保持部由一对第1构件与设于前述第1构件上的一对第2构件构成；
前述第1构件设于在上下方向比前述支承部低的位置。
11.如权利要求10所述的曝光装置，其特征在于，进一步具备求出在前述第1及第2方向的前述保持部的位置信息的编码器系统，构成前述编码器系统的读头及标尺的至少一方设于前述保持部。
12.如权利要求11所述的曝光装置，其特征在于，前述读头及标尺的一方设于前述第2构件。
13.如权利要求10至12中任一项所述的曝光装置，其特征在于，进一步具备作为用以求出前述保持部的位置信息时的基准的基准构件；
前述基准构件设于前述第1构件。
14.如权利要求1至13中任一项所述的曝光装置，其特征在于，前述第1支承部具有对前述物体的下面供给空气的供给孔。
15.如权利要求14所述的曝光装置，其特征在于，前述第1支承部具有吸引孔，该吸引孔吸引存在于前述物体的下面的空气。
16.如权利要求1至15中任一项所述的曝光装置，其特征在于，前述物体是用于平面显示器的基板。
17.如权利要求16所述的曝光装置，其特征在于，前述基板，其至少一边的长度或对角长为500mm以上。
18.一种平面显示器制造方法，其特征在于，包含：
使用权利要求1至17中任一项所述的曝光装置使前述物体曝光的动作；以及
使曝光后的前述物体显影的动作。
19.一种元件制造方法，其特征在于，包含：
使用权利要求1至17中任一项所述的曝光装置使前述物体曝光的动作；以及
使曝光后的前述物体显影的动作。
20.一种曝光方法，通过光学系将照明光照射于物体，将前述物体相对前述照明光驱动以分别扫描曝光前述物体的多个区域，其特征在于，包含：
借助第1支承部以非接触方式支承前述多个区域中的第1区域与在第1方向与前述第1区域排列设置的第2区域的至少一部分区域的动作；
借助保持部在与前述第1方向交叉的第2方向不与前述第1支承部重叠的位置保持被前述第1支承部以非接触方式支承的物体的动作；以及
借助在前述第2方向与前述第1支承部分离配置的第1驱动部，以前述第2区域的另一部分的区域被前述第1支承部支承的方式，将保持前述物体的前述保持部相对前述第1支承部往前述第1方向驱动的动作。
21.如权利要求20所述的曝光方法，其特征在于，前述第1支承部具有能支承前述物体的大致整体的大小；
进一步包含：将前述第1驱动部控制成能切换前述物体的大致整体被前述第1支承部以非接触方式支承的第1状态、与借助前述第1驱动部的驱动使前述物体的一部分从前述第1支承部脱离而前述物体的另一部分被前述第1支承部以非接触方式支承的第2状态。
22.如权利要求21所述的曝光方法，其特征在于，前述控制的动作在前述扫描曝光时与前述扫描曝光以外时，进行前述第1状态与前述第2状态的切换。
23.如权利要求22所述的曝光方法，其特征在于，在前述控制的动作将前述第1驱动部控制成，在用以进行标记检测动作的标记检测部所进行的前述标记检测动作时成为前述第1状态，该标记检测动作检测前述物体所具有的多个标记。
24.如权利要求20至23中任一项所述的曝光方法，其特征在于，进一步包含：借助将前述第1驱动部与前述支承部往前述第2方向驱动的第2驱动部，在前述扫描曝光时，将前述保持部与前述第1支承部分别往前述第2方向驱动。
25.一种曝光方法，将照明光照射于物体，将前述物体相对前述照明光往第1方向移动以分别扫描曝光前述物体的多个区域，其特征在于，包含：
借助第1支承部以非接触方式支承前述多个区域中的至少第1区域的动作；
借助保持部保持被前述支承部以非接触方式支承的前述物体的动作；
将前述保持部，以前述第1区域的一部分在前述第1方向及与前述第1方向交叉的第2方向中的一方向脱离前述支承部的方式相对前述支承部驱动的动作；以及
将前述支承部往另一方向驱动的动作。
26.一种曝光方法，通过光学系将照明光照射于物体，将前述物体相对前述照明光驱动以扫描曝光前述物体，其特征在于，包含：
借助第1支承部以非接触方式支承前述物体的大致整体的动作；
借助保持部保持被前述第1支承部以非接触方式支承的前述物体的动作；以及
将前述保持部相对前述第1支承部相对驱动的动作；
前述相对驱动的动作，将保持被前述第1支承部以非接触方式支承大致整体的前述物体的前述保持部，以前述物体的一部分从前述第1支承部脱离的方式，相对前述物体中的被照射前述照明光的区域予以驱动。