具有倾斜支撑肋的线栅偏振器的制作方法

文档序号:24153875发布日期:2021-03-05 10:01阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种线栅偏振器(wgp),包括:在基板的一面上的平行、细长的支撑肋的阵列,其中毗邻支撑肋之间具有通道;每个支撑肋具有横截面轮廓,其近端位于最靠近所述基板处,并且远端位于最远离所述基板,并且侧面面向所述通道并从所述近端向所述远端延伸;所述支撑肋的所述侧面向一侧倾斜,所述侧面包括朝向所述基板倾斜并面向所述基板的内侧面,以及与所述内侧面相对并且背向所述基板的上侧面;15
°
≤a
92
≤75
°
,其中a
92
是平面与所述基板的面之间的最小角度,所述平面沿着每个支撑肋的长度穿过所述支撑肋的中心从所述近端延伸到所述远端;在每个支撑肋的所述上侧面和所述远端上的导线,每根导线与毗邻支撑肋上的导线分离;以及跨紫外光谱、可见光谱、红外光谱或其组合,所述支撑肋和所述基板是透明的,而所述导线是反射型的。2.如权利要求1所述的wgp,其特征在于,进一步包括在每个支撑肋的所述上侧面和所述远端上、并且至少部分地夹在每根导线与每个支撑肋之间的盖,其中:所述盖具有与所述支撑肋不同的材料组成;跨所述紫外光谱、所述可见光谱、所述红外光谱或其组合,所述盖是透明的;以及所述盖具有面向所述支撑肋的线性轮廓以及面向所述导线的弯曲轮廓。3.如权利要求1所述的wgp,其特征在于,45
°
≤a
pi
≤65
°
并且115
°
≤a
pu
≤135
°
,其中a
pi
是所述基板的所述内侧面与所述面之间的外角,而a
pu
是所述基板的上侧面与所述面之间的外角。4.如权利要求1所述的wgp,其特征在于,|180
°–
a
pi

a
pu
|≤10
°
,其中a
pi
是所述基板的所述内侧面与所述面之间的外角,而a
pu
是所述基板的上侧面与所述面之间的外角。5.如权利要求1所述的wgp,其特征在于,|a
pi-a
di
|≤20
°
且|180
°–
a
pu-a
du
|≤20
°
,其中a
pi
是所述基板的所述内侧面与所述面之间的外角,a
di
是所述内侧面与所述远端之间的内角,a
pu
是所述基板的上侧面与所述面之间的外角,而a
du
是所述上侧面与所述远端之间的内角。6.如权利要求1所述的wgp,其特征在于,其中a
92
是所述基板的所述内侧面与所述面之间的外角;l
c
是平行于所述基板的所述面、从所述通道中的一个支撑肋到毗邻支撑肋的直线距离;而l
i
是所述内侧面从所述近端到所述远端的直线距离。7.如权利要求1所述的wgp,其特征在于,所述支撑肋具有折射率的实部n
s
≤1.4。8.如权利要求1所述的wgp,其特征在于,跨所述紫外光谱、跨所述可见光谱、跨所述红外光谱、或其组合,所述支撑肋具有折射率的实部n
s
≥1.7,且消光系数k
s
≤0.1。9.如权利要求1所述的wgp,其特征在于,跨所述可见光谱,所述支撑肋具有折射率的实部n
s
≤2.0。10.如权利要求1所述的wgp,其特征在于,所述支撑肋中的≥0.1%且≤50%的原子是有机部分的部分。
当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1