显影液恒温管路系统的制作方法

[0001]
本发明涉及半导体匀胶显影技术领域，具体为一种显影液恒温管路系统。


背景技术：

[0002]
众所周知，现有的显影液恒温管路系统是一种用于半导体匀胶显影的辅助装置，其在半导体匀胶显影技术领域中得到了广泛的应用。
[0003]
例如公开号为“cn105319872b”专利名称为：“一种显影液恒温保持管路系统”的专利，专利公开了“本发明属于半导体匀胶显影领域，具体地说是一种显影液恒温保持管路系统，保温水循环系统的出口通过进水管进入显影单元、连接至集液块，与显影液源相连的显影液管进入显影单元，依次连接集液块、水液分离式药液阀及分液块，集液块与水液分离式药液阀之间的显影液管以及分液块与水液分离式药液阀之间的显影液管外均设有保温水套管，保温水套管与显影液管之间流通有由保温水循环系统提供的保温水；经分液块流出的保温水进入喷嘴的一个腔室，并通过回水管与保温水循环系统相连通，经分液块流出的显影液进入喷嘴的另一个腔室，喷洒至晶圆的表面。本发明使显影液管进入显影单元后完全浸泡在保温水里，避免裸露在外，减少其他因素对显影液的影响”。
[0004]
现有的一种显影液恒温保持管路系统在使用中发现，其显影液管在恒温保持管路系统内，在经过较长的管路后初始的显影液管处的显影液温度与喷出时显影液的温度不同，导致其使用局限性较高。


技术实现要素：

[0005]
(一)解决的技术问题
[0006]
针对现有技术的不足，本发明提供了能够加速温水循环的显影液恒温管路系统。
[0007]
(二)技术方案
[0008]
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：显影液恒温管路系统，包括恒温箱、出水管、回水管和显影液管，所述恒温箱下方一端与所述出水管连接，所述恒温箱下方另一端与所述回水管连接，所述恒温箱正面固定有补水阀，所述补水阀延伸至所述恒温箱内，所述恒温箱内固定有加热器和第一温度传感器，所述第一温度传感器与所述加热器连接，所述第一温度传感器设置在所述加热器周侧，所述恒温箱上方一端固定有压力泵，所述压力泵通过管道与所述恒温箱连接，所述恒温箱上固定有泄压阀，所述泄压阀固定在所述补水阀上方，所述出水管一端固定有第一分液开关，所述显影液管通过所述第一分液开关进入所述出水管，所述显影液管端部固定有第二分液开关，所述第二分液开关与所述出水管相匹配，所述显影液管端部固定有喷头。
[0009]
为了显影液管端部喷头更好地进行喷涂作用，所述喷头设置在所述第二分液开关下方。
[0010]
为了实现更好的控制作用，所述恒温箱上固定plc控制器，所述plc控制器设置在所述泄压阀周侧，所述加热器与所述plc控制器连接。
[0011]
为了实现更好的保护作用，所述恒温箱上方另一侧固定有排气阀。
[0012]
为了方便了解恒温箱内的液体量，本发明改进有，所述恒温箱内设置有液位传感器，所述液位传感器与所述plc控制器连接。
[0013]
为了方便了解出液口的水温，本发明改进有，所述第二分液开关上固定有第二温度传感器，所述第二温度传感器与所述plc控制器连接。
[0014]
为了提醒工作人员进行及时补水，本发明改进有，所述恒温箱上固定有警示器，所述警示器设置在所述plc控制器周侧，所述警示器与所述plc控制器连接。
[0015]
为了通过光和声音对工作人员进行警示，本发明改进有，所述警示器包括蜂鸣器和警示灯，所述蜂鸣器设置在所述警示灯周侧。
[0016]
为了方便了解恒温箱内的压力，本发明改进有，所述管道上固定有压力表。
[0017]
为了更好地实现恒温作用，所述显影液管位于所述出水管内的管段为直段，所述回水管为多弯折管段。
[0018]
(三)有益效果
[0019]
与现有技术相比，本发明提供了显影液恒温管路系统，具备以下有益效果：
[0020]
该显影液恒温管路系统，可以自动控制恒温箱内的温度，通过警示装置可以提醒工作人员及时对恒温箱内进行补水，通过调节压力泵，可以控制水循环速度，使输入的显影液温度与喷出的显影液温度将近一致，进一步的提高显影液的稳定性。
附图说明
[0021]
图1为本发明结构示意图；
[0022]
图2为本发明图1中局部放大结构示意图；
[0023]
图3为本发明结构恒温箱剖视图。
[0024]
图中：1、恒温箱；2、出水管；3、回水管；4、显影液管；5、补水阀；6、加热器；7、第一温度传感器；8、压力泵；9、管道；10、泄压阀；11、plc控制器；12、排气阀；13、第一分液开关；14、喷头；15、液位传感器；16、第二温度传感器；17、警示器；18、蜂鸣器；19、警示灯；20、压力表；21、第二分液开关。
具体实施方式
[0025]
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
[0026]
请参阅图1-3，显影液恒温管路系统，包括恒温箱1、出水管2、回水管3和显影液管4。
[0027]
所述恒温箱1下方一端与所述出水管2连接，所述恒温箱1下方另一端与所述回水管3连接。出水管2和回水管3均连接在恒温箱1的下表面，因此，上述两端均位于恒温箱1下表面，这个下表面也是设计相应水管的有利位置。
[0028]
所述恒温箱1正面固定有补水阀5，所述补水阀5延伸至所述恒温箱1内。补水阀5用于及时对恒温箱1进行补水。补水阀5的控制可以配合恒温箱1相应的液位传感器实现。
[0029]
所述恒温箱1内固定有加热器6和第一温度传感器7，所述第一温度传感器7与所述加热器6连接，所述第一温度传感器7设置在所述加热器6周侧。第一温度传感器7可以是热敏电阻或者是热电偶等器件。图3显示，加热器6设置在第一温度传感器7周侧的下方位置。
[0030]
所述恒温箱1上方一端固定有压力泵8，所述压力泵8通过管道9与所述恒温箱1连接。压力泵8用于监测和显示相应的压力。
[0031]
所述恒温箱1上固定有泄压阀10，所述泄压阀10固定在所述补水阀5上方。泄压阀10直接设置在补水阀5上方，用利于更好的实现泄压作用。同时，补水阀5和泄压阀10也可以实现更好的循环作用，在泄压时带动恒温箱1内温水的快速流转。
[0032]
所述恒温箱1上固定plc控制器11，所述plc控制器11设置在所述泄压阀10周侧。plc控制器11是恒温箱1的控制中心，多个相关电路的电气控制均由plc控制器11实现。
[0033]
所述加热器6与所述plc控制器11连接。加热器6的工作和停止，由plc控制器11提供信号。
[0034]
所述恒温箱1上方另一侧固定有排气阀12，排气阀12进一步位于泄压阀10上方。
[0035]
所述出水管2一端固定有第一分液开关13，所述显影液管4通过所述第一分液开关13进入所述出水管2。其中，图2显示了第一分液开关13的放大结构。出水管2穿过第一分液开关13。第一分液开关13恰好设置在出水管2两段之间的拐角位置。
[0036]
所述显影液管4端部固定有第二分液开关21，所述第二分液开关21与所述出水管2相匹配，所述显影液管4端部固定有喷头14。如图1中所示，这种结构下显影液管4直接是一段直管位于出水管2内进行恒温，有利于相应的恒温作用。同时，显影液管4位于横向位置上，恒温作用更好。
[0037]
所述喷头14设置在所述第二分液开关21下方，这种设置，喷头14能够更加直接地利用经过恒温后的显影液，如图1中所示，这种竖向上向下设置的喷头14可以充分利用相应的重力作用。
[0038]
请参考图3，所述恒温箱1内设置有液位传感器15，所述液位传感器15与所述plc控制器11连接，为了方便了解恒温箱1内的液体量。前面已经提到，液位传感器15可以和补水阀5联动。
[0039]
请参考图1，所述第二分液开关21上固定有第二温度传感器16，所述第二温度传感器16与所述plc控制器11连接，为了方便了解出液口的水温(主要是了解显影液管4离开恒温管段时，恒温管段所提供的温水水温)。出液口的水温可以通过无线通信方式反馈到所述plc控制器11。
[0040]
所述恒温箱1上固定有警示器17，所述警示器17设置在所述plc控制器11周侧，所述警示器17与所述plc控制器11连接，为了提醒工作人员进行及时补水，特别是外部补水装置无法为补充阀5提供相应的水源时，警示器17能够为整个系统的安全运行提供保证。
[0041]
所述警示器17包括蜂鸣器18和警示灯19，所述蜂鸣器18设置在所述警示灯19周侧，为了通过光和声音对工作人员进行警示。
[0042]
所述管道9上固定有压力表20，为了方便了解恒温箱1内的压力。压力表20也配合相应的压力泵8进行使用。
[0043]
本实施例中，设置显影液管4位于出水管2内的管段为直段，所述回水管3为多弯折管段，多弯折指三段以上的弯拆。出水管2和回水管3的划分位置可以恰好选择为第二分液
开关21所在位置。此时，显影液管4位于出水管2横向部分的直管段内，这样，对显影液管4的恒温作用更加稳定可靠。而回水管3专门设计用对应的多弯折管段(而不是像出水管2只是简单的呈九十度的两段结构)，具体设计为四段的弯拆管段，是为了减小回流速度，使恒温过程更加缓慢温和。
[0044]
综上所述，该显影液恒温管路系统，在使用时，设定一定的温度值，在plc控制器11的控制下加热器6进行加热，第一温度传感器7将信号传递给plc控制器11使加热器6停止加热，进过出水管2和回水管3实现水循环，显影液管4通过第一分液开关13进入恒温循环系统并通过第二分液开关21使显影液从喷头14喷出，第二分液开关21监控显影液管4末端的温度，显影液管4末端的温度与初始温差大，通过压力泵8加压提高恒温循环系统中温水的循环速率，使显影液管4温度保持一致。
[0045]
该文中出现的电器元件均与外界的主控器及220v市电电连接，并且主控器可为计算机等起到控制的常规已知设备。
[0046]
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。