一种应用于多种金属制程的兼容、环保型水系光刻胶剥离液及其制备方法与流程

文档序号:24078270发布日期:2021-02-26 17:17阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种应用于多种金属制程的兼容、环保型水系光刻胶剥离液,其特征在于,包括:1-15wt%胺、5-80wt%醚、10-50wt%超纯水、0.01-5wt%添加剂a、0.01-5wt%添加剂b、0.01-5wt%添加剂c。2.根据权利要求1所述一种应用于多种金属制程的兼容、环保型水系光刻胶剥离液,其特征在于:所述胺为n-甲基单乙醇胺、单乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、三异丙醇胺、n,n-二甲基乙醇胺、n,n-二乙基乙醇胺、1,6-己二胺中的一种或任意组合。3.根据权利要求1所述一种应用于多种金属制程的兼容、环保型水系光刻胶剥离液,其特征在于:所述醚为二乙二醇甲醚、二乙二醇乙醚、二乙二醇丁醚、乙二醇异丙醚、乙二醇单丁醚中的一种或任意组合。4.根据权利要求1所述一种应用于多种金属制程的兼容、环保型水系光刻胶剥离液,其特征在于:所述添加剂a为2-氨基-1-甲基咪唑啉-4-酮(cre)、n-氨乙基哌嗪、1h-3-氨基-1,2,4-三唑(ata)、2,4-二氨基-6羟基嘧啶、2-巯基苯并噻唑、2-磷酸丁烷-1,2,4-三羧酸、乙二胺四亚甲基磷酸、5-甲基苯并三氮唑、苯并三唑、羧基苯并三唑、1-羟基苯并三唑、硝基苯并三唑、氨基三氮唑、苯基四氮唑中的一种或任意组合。5.根据权利要求1所述一种应用于多种金属制程的兼容、环保型水系光刻胶剥离液,其特征在于:所述添加剂b为l-天(门)冬氨酸、l-谷氨酰胺、l-精氨酸、甘氨酸、β-丙氨酸、钼酸、氰乙酰胺中的一种或任意组合。6.根据权利要求1所述一种应用于多种金属制程的兼容、环保型水系光刻胶剥离液,其特征在于:所述添加剂c为羟基乙叉二磷酸(hedp)、氨基三甲叉磷酸(atmp)、乙二胺四甲叉磷酸(edtmpa)、二乙烯三胺五亚甲基磷酸(dtpmpa)、2-膦酸丁烷-1,2,4-三羧酸(pbtca)、多元醇膦酸酯(pape)、2-羟基膦酰基乙酸(hpaa)、己二胺四甲叉膦酸(papemp)、多氨基多醚基甲叉膦酸(papemp)、双1,6-亚己基三胺五甲基磷酸(bhmtpmpa)中的一种或任意组合。7.如权利要求1-6任一所述应用于多种金属制程的兼容、环保型水系光刻胶剥离液的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤1,按比例在混配罐中加入超纯水,在不断搅拌的条件下,按比例加入添加剂a;步骤2,在不断搅拌的条件下,按比例加入添加剂b;完成后,在不断搅拌的条件下,按比例加入添加剂c;步骤3,在不断搅拌的条件下,按比例加入胺,搅拌均匀后得到母液;步骤4,在不断搅拌的条件下,按比例加入溶剂醚或回收液,循环后过滤,得到成品剥离液。8.根据权利要求7所述应用于多种金属制程的兼容、环保型水系光刻胶剥离液的制备方法,其特征在于:步骤4中所述回收液为胺与醚溶剂混合物。9.根据权利要求8所述应用于多种金属制程的兼容、环保型水系光刻胶剥离液的制备方法,其特征在于:所述回收液包括15wt%胺、85wt%醚。
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