一种激光曝光单元的制作方法

文档序号:25124339发布日期:2021-05-19 03:19阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型涉及一种激光曝光单元,包括壳体,壳体前部设有激光出口,底壳内于中部区域由后至前设有第一扫描场镜、第二扫描场镜、第三扫描场镜,第二扫描场镜的右方设有共用反射镜,共用反射镜的右侧设有所述的第三激光器,与第三激光器配合的第三扩束镜;底壳内于中部区域的前方、激光出口的后方设有第四扫描场镜,壳体内于左侧区域设有第一激光器、第二激光器、第一扩束镜、第二扩束镜、第一反射镜Ⅰ、第二反射镜Ⅰ,壳体内于右侧区域设有第一柱面镜总成、第二柱面镜总成、第三柱面镜总成、第一反射镜Ⅱ、第二反射镜Ⅱ、第三反射镜,左侧区域与右侧区域之间设有多边转镜。这种结构布局,使得壳体结构紧凑,减小体积。减小体积。减小体积。


技术研发人员:张文杰 张威东 兰振利 杨芳
受保护的技术使用者:郑州易邦微光电科技有限公司
技术研发日:2020.11.18
技术公布日:2021/5/18

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