用于散斑减少的堆叠的共焦脉冲展宽器系列的制作方法

用于散斑减少的堆叠的共焦脉冲展宽器系列
1.相关申请的交叉引用
2.本技术要求于2019年10月16日提交的题为“series of stacked confocal pulse stretchers for speckle reduction”的美国申请no.62/916,139的优先权，该美国申请通过引用被整体并入本文中。
技术领域
3.本公开涉及光学脉冲展宽器，该光学脉冲展宽器用于延长激光源(诸如高功率气体放电激光系统)的输出的脉冲，以在递送基本上相同的剂量的同时减小脉冲的峰值功率，例如用作例如光刻设备中的脉冲光源。


背景技术：

4.光刻设备是将所需图案施加到衬底上，通常施加到衬底的目标部分上的机器。光刻设备可用于例如制造集成电路(ic)。在这种情况下，图案形成装置(或者称为掩模或中间掩模)可用于生成要在ic的单个层上形成的电路图案。可将此图案转移到衬底(例如，硅晶片)上的目标部分(例如，包括一个或若干个裸片的一部分)上。图案的转移通常通过成像到设置在衬底上的辐射敏感材料(抗蚀剂)层上。通常，单个衬底将包含连续图案化的相邻目标部分的网络。已知的光刻设备包括：所谓的步进器，其中通过一次将整个图案曝光到目标部分上来照射每个目标部分；以及所谓的扫描仪，其中通过在给定方向(“扫描”方向)上通过辐射束扫描图案同时平行或反平行于该扫描方向扫描目标部分来照射每个目标部分。还可以通过将图案压印到衬底上来将图案从图案形成装置转移到衬底。
5.激光源可以与光刻设备一起使用，例如用于生成照射图案形成装置的照射辐射。激光源可以包括用于延长高功率气体放电激光系统的输出脉冲的光学脉冲展宽器。然而，现有技术不能提供具有足够光效率的足够脉冲展宽，也不能适合于激光源的可用体积。


技术实现要素：

6.在本公开中描述了设计成实现非常长的脉冲展宽以及适合可用激光体积的能力的堆叠共焦脉冲展宽器的实施例。
7.本公开的一个方面提供了一种光学脉冲展宽器，该光学脉冲展宽器被配置为接收激光束并且生成输出脉冲展宽激光束。该光学脉冲展宽器包括第一级光学脉冲展宽器，该第一级光学脉冲展宽器包括两个或更多个反射镜并且被配置为接收激光束的部分并且生成第一脉冲展宽激光束。该光学脉冲展宽器还包括第二级光学脉冲展宽器，该第二级光学脉冲展宽器包括四个或更多个反射镜并且被配置为接收第一脉冲展宽激光束的部分并且生成第二脉冲展宽激光束。该光学脉冲展宽器还包括第三级光学脉冲展宽器，该第三级光学脉冲展宽器包括四个或更多个反射镜并且被配置为接收第二脉冲展宽激光束的部分并且生成输出脉冲展宽激光束。
8.在一些实施例中，第一级光学脉冲展宽器的两个或更多个反射镜、第二级光学脉
冲展宽器的四个或更多个反射镜、以及第三级光学脉冲展宽器的四个或更多个反射镜包括凹面反射镜。
9.在一些实施例中，第一级光学脉冲展宽器的两个反射镜、第二级光学脉冲展宽器的四个反射镜以及第三级光学脉冲展宽器的四个反射镜包括矩形凹面反射镜。
10.在一些实施例中，第一级光学脉冲展宽器被配置为：通过使用第一级光学脉冲展宽器的两个或更多个反射镜来将激光束的部分反射四次，生成第一脉冲展宽激光束。此外，在一些实施例中，第二级光学脉冲展宽器被配置为：通过使用第二级光学脉冲展宽器的四个或更多个反射镜来将第一脉冲展宽激光束的部分反射十二次，生成第二脉冲展宽激光束。此外，在一些实施例中，第三级光学脉冲展宽器被配置为：通过使用第三级光学脉冲展宽器的四个或更多个反射镜来将第二脉冲展宽激光束的部分反射十二次，生成输出脉冲展宽激光束。
11.在一些实施例中，光学脉冲展宽器还包括第一分束器，该第一分束器对应于第一级光学脉冲展宽器并且被配置为接收激光束并且将该激光束的部分引导到第一级光学脉冲展宽器的两个或更多个反射镜。在一些实施例中，第一分束器可以被定位为与第一光学脉冲展宽器的两个或更多个反射镜中的第一反射镜更靠近，并且第一分束器可以是d形分束器。在一些实施例中，第一分束器相对于两个或更多个反射镜的曲率中心来定位，以使第一级光学脉冲展宽器展平，并且使激光束的部分能够在第一级光学脉冲展宽器中在同一平面内传播。
12.在一些实施例中，光学脉冲展宽器还包括第二分束器，该第二分束器对应于第二级光学脉冲展宽器并且被配置为接收第一脉冲展宽激光束并且将第一脉冲展宽激光束的部分引导到第二级光学脉冲展宽器的四个或更多个反射镜。根据一些实施例，第二分束器相对于第二级光学脉冲展宽器的四个或更多个反射镜的曲率中心来定位，以使第二级光学脉冲展宽器展平，并且使第一脉冲展宽激光束的部分能够在第二级光学脉冲展宽器中在同一平面内传播。
13.在一些实施例中，光学脉冲展宽器可以还包括第三分束器，该第三分束器对应于第三级光学脉冲展宽器并且被配置为接收第二脉冲展宽激光束并且将第二脉冲展宽激光束的部分引导到第三级光学脉冲展宽器的四个或更多个反射镜。在一些实施例中，第三分束器相对于第三级光学脉冲展宽器的四个或更多个反射镜的曲率中心来定位，以使第三级光学脉冲展宽器展平并且使第二脉冲展宽激光束的部分能够在第三级光学脉冲展宽器中在同一平面内传播。
14.在一些实施例中，第二分束器被定位为与第二光学脉冲展宽器的四个或更多个反射镜中的第一反射镜对更靠近，并且第二分束器可以是d形分束器。在一些实施例中，第三分束器被定位为与第三光学脉冲展宽器的四个或更多个反射镜中的第一反射镜对更靠近，并且第三分束器可以是d形分束器。
15.在一些实施例中，由第一级光学脉冲展宽器接收的激光束是由正交级光学脉冲展宽器生成的脉冲展宽激光束，其中正交级光学脉冲展宽器被定位为在光学脉冲展宽器的外部并且与光学脉冲展宽器垂直或近似垂直。在一些实施例中，正交级光学脉冲展宽器被配置为将激光束的部分反射四次。
16.本公开的另一方面提供了一种激光源。该激光源包括光学脉冲展宽器，该光学脉
冲展宽器被配置为接收激光束并且生成输出脉冲展宽激光束。该光学脉冲展宽器包括第一级光学脉冲展宽器，该第一级光学脉冲展宽器包括两个反射镜，并且被配置为接收激光束的部分并且生成第一脉冲展宽激光束。该光学脉冲展宽器还包括第二级光学脉冲展宽器，该第二级光学脉冲展宽器包括四个或更多个反射镜，并且被配置为接收第一脉冲展宽激光束的部分并且生成第二脉冲展宽激光束。该光学脉冲展宽器还包括第三级光学脉冲展宽器，该第三级光学脉冲展宽器包括四个或更多个反射镜，并且被配置为接收第二脉冲展宽激光束的部分并且生成输出脉冲展宽激光束。
17.本公开的另一方面提供了一种光刻设备，该光刻设备包括：照射系统，被配置为调节辐射束；支撑结构，被配置为支撑图案形成装置；衬底台，被配置为保持衬底；投影系统，被配置为将由图案形成装置赋予辐射束的图案投影到衬底的目标部分上。该照射系统包括激光源。激光源包括光学脉冲展宽器，该光学脉冲展宽器被配置为接收激光束并且生成输出脉冲展宽激光束。该光学脉冲展宽器包括第一级光学脉冲展宽器，该第一级光学脉冲展宽器包括多个第一共焦谐振器，并且被配置为接收激光束的部分并且生成第一脉冲展宽激光束。该光学脉冲展宽器还包括第二级光学脉冲展宽器，该第二级光学脉冲展宽器包括多个第二共焦谐振器，并且被配置为接收第一脉冲展宽激光束的部分并且生成第二脉冲展宽激光束。该光学脉冲展宽器还包括第三级光学脉冲展宽器，该第三级光学脉冲展宽器包括多个第三共焦谐振器，并且被配置为接收第二脉冲展宽激光束的部分并且生成输出脉冲展宽激光束。
18.在一些实施例中，第一级光学脉冲展宽器具有第一光学延迟。第二级光学脉冲展宽器具有第二光学延迟，该第二光学延迟等于或大于第一光学延迟。第三级光学脉冲展宽器具有第三光学延迟，该第三光学延迟等于或大于第二光学延迟。
19.本公开的另一方面提供了一种光学脉冲展宽器，该光学脉冲展宽器被配置为接收激光束并且生成输出脉冲展宽激光束。该光学脉冲展宽器包括堆叠在光学脉冲展宽器中的两个或更多个共焦光学脉冲展宽器。该两个或更多个共焦光学脉冲展宽器中的第一共焦光学脉冲展宽器被配置为：接收激光束的部分，并且通过将激光束的部分反射四次来生成第一脉冲展宽激光束。两个或多个共焦光学脉冲展宽器中的第二共焦光学脉冲展宽器被配置为：接收第一脉冲展宽激光束的部分，并且通过将第一脉冲展宽激光束的部分反射十二次来生成第二脉冲展宽激光束。
20.本公开的另一方面提供了一种扩展的光学脉冲展宽器。该扩展的光学脉冲展宽器包括第一级光学脉冲展宽器，该第一级光学脉冲展宽器包括多个第一共焦谐振器，并且被配置为接收激光束并且生成第一脉冲展宽激光束。扩展的光学脉冲展宽器还包括堆叠的共焦脉冲展宽器。该堆叠的共焦脉冲展宽器包括第二级光学脉冲展宽器，该第二级光学脉冲展宽器包括多个第二共焦谐振器，并且被配置为接收第一脉冲展宽激光束的部分并且生成第二脉冲展宽激光束。该堆叠的共焦脉冲展宽器包括第三级光学脉冲展宽器，该第三级光学脉冲展宽器包括多个第三共焦谐振器，并且被配置为接收第二脉冲展宽激光束的部分并且生成第三脉冲展宽激光束。该堆叠的共焦脉冲展宽器包括第四级光学脉冲展宽器，该第四级光学脉冲展宽器包括多个第四共焦谐振器，并且被配置为接收第三脉冲展宽激光束的部分并且生成输出脉冲展宽激光束。第一级光学脉冲展宽器被定位为垂直于或近似垂直于堆叠的共焦脉冲展宽器。
21.在一些实施例中，第一级光学脉冲展宽器具有第一光学延迟。第二级光学脉冲展宽器具有第二光学延迟，该第二光学延迟等于或大于第一光学延迟。第三级光学脉冲展宽器具有第三光学延迟，该第三光学延迟等于或大于第二光学延迟。第四级光学脉冲展宽器具有第四光学延迟，该第四光学延迟等于或大于第二光学延迟。
22.本公开的另一方面提供了一种方法，该方法用于生成激光束并且将激光束引导通过光学脉冲展宽器。该光学脉冲展宽器包括第一级光学脉冲展宽器，该第一级光学脉冲展宽器包括多个第一共焦谐振器，并且被配置为接收激光束的部分并且生成第一脉冲展宽激光束。该光学脉冲展宽器还包括第二级光学脉冲展宽器，该第二级光学脉冲展宽器包括多个第二共焦谐振器，并且被配置为接收第一脉冲展宽激光束的部分并且生成第二脉冲展宽激光束。该光学脉冲展宽器还包括第三级光学脉冲展宽器，该第三级光学脉冲展宽器包括多个第三共焦谐振器，并且被配置为接收第二脉冲展宽激光束的部分并且生成输出脉冲展宽激光束。
23.下面参考附图详细描述另外特征以及各种实施例的结构和操作。应注意，本公开不限于本文中所描述的特定实施例。本文中所呈现的这些实施例仅用于说明的目的。基于本文中所包含的教导，附加的实施例对于相关领域的技术人员而言将是明显的。
附图说明
24.被并入本文中并且形成说明书的部分的附图图示了本公开，并且与描述一起进一步用于解释本公开的实施例的原理且使相关领域的技术人员能够制造和使用本公开的实施例。
25.图1是根据示例性实施例的反射式光刻设备的示意图。
26.图2是根据示例性实施例的透射式光刻设备的示意图。
27.图3是根据示例性实施例的光刻单元的示意图。
28.图4示出了根据本公开的一些实施例的具有扩展的光学脉冲展宽器的激光源的示意图。
29.图5a示出了根据本公开的一些实施例的具有第一光学脉冲展宽器和第二光学脉冲展宽器的扩展的光学脉冲展宽器的示意性正视图。
30.图5b示出了根据本公开的一些实施例的第二光学脉冲展宽器的示意性顶视图。
31.图5c示出了根据本公开的一些实施例的具有第一光学脉冲展宽器和第二光学脉冲展宽器的扩展的光学脉冲展宽器的示意性侧视图。
32.图6a示出了根据本公开的一些实施例的第二光学脉冲展宽器中的激光束的路径的部分的示意图。
33.图6b示出了根据本公开的一些实施例的第二光学脉冲展宽器中的激光束的路径的部分和在第二光学脉冲展宽器中使用的反射镜的部分的示意图。
34.图7a示出了根据本公开的一些实施例的第二光学脉冲展宽器中的第一级的示意性顶视图。
35.图7b示出了根据本公开的一些实施例的第二光学脉冲展宽器中的第二级或第三级的示意性顶视图。
36.图8示出了根据本公开的一些实施例的第一光学脉冲展宽器中的激光束的路径的
部分的示意图。
37.从以下结合附图所阐述的详细描述中，本公开的特征将变得更加明显，在附图中相同的附图标记始终标识对应的元件。在附图中，除非另有说明，相同的附图标记通常表示相同的、功能类似的和/或结构类似的元件。另外，通常，附图标记中的最左边的(多个)数字标识附图标记首次出现的附图。除非另有说明，在整个公开内容中提供的附图不应被解释为按比例绘制的附图。
具体实施方式
38.本说明书公开了包括本发明的特征的一个或多个实施例。所公开的(多个)实施例仅举例说明本发明。本公开的范围不限于所公开的(多个)实施例。本公开的宽度和范围由所附的权利要求及其等效限定。
39.所描述的(多个)实施例以及说明书中对“一个实施例”、“实施例”、“示例实施例”等的引用指示所描述的(多个)实施例可以包括特定特征、结构或特性，但每个实施例未必包括特定特征、结构或特性。另外，这些术语未必是指相同的实施例。此外，当结合实施例来描述特定特征、结构或特性时，应当理解，无论是否明确描述，结合其他实施例来影响这样的特征、结构或特性在本领域技术人员的知识范围内。
40.空间相对术语(诸如“下方”、“下面”、“下”、“上方”、“上面”，“上”等)可以在本文中使用以便于描述，以描述如图所示的一个元件或特征与另一(多个)元件或(多个)特征的关系。除了图中所描绘的取向之外，空间相对术语旨在涵盖装置在使用或操作中的不同取向。该设备可以以其他方式来取向(旋转90度或以其他取向)并且在本文中所使用的空间相对描述词同样可以被相应地解释。
41.术语“约”在本文中可以用于指示给定量的值，该给定量的值可以基于特定技术而变化。基于特定技术，术语“约”可以指示其在例如10％至30％内变化的给定量的值(例如，值的
±
10％、
±
20％或
±
30％)。
42.然而，在更详细地描述这样的实施例之前，呈现其中可以实现本公开的实施例的示例环境是有益的。
43.示例光刻系统
44.图1和图2分别是本公开的实施例可以在其中被实现的光刻设备100和光刻设备100’的示意图。光刻设备100和光刻设备100’各自包括以下：照射系统(照射器)il，被配置为对辐射束b(例如，深紫外(duv)辐射)进行调节；支撑结构(例如，掩模台)mt，被配置为支撑图案形成装置(例如，掩模、掩模板或动态图案形成装置)ma，并且被连接到第一定位器pm，该第一定位器pm被配置为对图案形成装置ma进行精确定位；以及，衬底台(例如，晶片台)wt，被配置为保持衬底(例如，涂覆抗蚀剂的晶片)w，并且被连接到第二定位器pw，该第二定位器pw被配置为对衬底w进行精确定位。光刻设备100和100’还具有投影系统ps，该投影系统ps被配置为：通过图案形成装置ma将被赋予到辐射束b的图案投影到衬底w的目标部分(例如，包括一个或多个管芯)c上。在光刻设备100中，图案形成装置ma和投影系统ps是反射式的。在光刻设备100’中，图案形成装置ma和投影系统ps是透射式的。
45.照射系统il可以包括各种类型的光学组件，诸如折射式、反射式、反折射式、磁性、电磁式、静电式或其他类型的光学组件、或它们的任何组合，用于引导、成形或控制辐射束
b。
46.支撑结构mt以某种方式保持图案形成装置ma，该方式取决于图案形成装置ma相对于参考系的取向、光刻设备100和100’中的至少一个的设计以及其他条件(诸如图案形成装置ma是否被保持在真空环境中)。支撑结构mt可以使用机械、真空、静电或其他夹持技术来保持图案形成装置ma。支撑结构mt可以是例如可以根据需要而固定的或可移动的框架或台。通过使用传感器，支撑结构mt可以确保图案形成装置ma处于(例如，相对于投影系统ps的)期望位置。
47.术语“图案形成装置”ma应被广义地解释为可以被用来向辐射束b的横截面赋予图案的任何装置，诸如用于在衬底w的目标部分c中产生图案的装置。被赋予到辐射束b的图案可以与器件中被创建在目标部分c中以形成集成电路的特定功能层相对应。
48.图案形成装置ma可以是透射式的(如图2中的光刻设备100’)或反射式的(如图1中的光刻设备100)。图案形成装置ma的示例包括掩模版、掩模、可编程反射镜阵列和可编程lcd面板。掩膜在光刻中是已知的，并且包括诸如二进制、交替相移和衰减相移的掩模类型、以及各种混合掩模类型。可编程反射镜阵列的示例采用矩阵排列的小反射镜，小反射镜中的每个小反射镜可以被单独倾斜，以便在不同方向上反射进入辐射束。倾斜的反射镜在由小反射镜的矩阵反射的辐射束b中赋予图案。
49.术语“投影系统”ps可以涵盖任何类型的投影系统，包括折射式、反射式、反折射式、磁性、电磁式和静电式光学系统、或它们的任何组合，视所使用的曝光辐射或其他因素(诸如浸液在衬底w上的使用或真空的使用)而定。
50.光刻设备100和/或光刻设备100’可以是具有两个(双台)或更多个衬底台wt(和/或两个或更多个掩模台)的类型。在这种“多台”机器中，额外的衬底台wt可以被并行使用，或者准备步骤可以在一个或多个台上被执行，同时一个或多个其他衬底台wt被用于曝光。在某些情况下，额外的台可能不是衬底台wt。
51.光刻设备也可以是以下类型：其中衬底的至少一部分可以被具有相对高折射率的液体(例如水)覆盖，以便填充投影系统与衬底之间的空间。也可以将浸液施加到光刻设备中的其他空间，例如，在掩模和投影系统之间。用于增加投影系统的数值孔径的浸入技术在本领域中是已知的。如本文中所使用的术语“浸入”并不意味着诸如衬底的结构必须被浸没在液体中，而仅意味着在曝光期间液体位于投影系统和衬底之间。
52.参照图1和图2，照射器il从辐射源so接收辐射束。例如，当源so是准分子激光器时，源so和光刻设备100、100’可以是分离的物理实体。在这种情况下，源so不被视为形成光刻设备100或100’的部分，并且辐射束b在束传递系统bd(在图2中)的帮助下从源so传递到照射器il，该束传递系统bd包括例如合适的指向反射镜和/或扩束器。在其他情况下，源so可以是光刻设备100、100’的组成部分——例如当源so是汞灯时。如果需要，源so和照射器il与束传递系统bd一起可以被称为辐射系统。
53.照射器il可以包括用于调整辐射束的角强度分布的调整器ad(在图2中)。通常，至少强度分布在照射器的光瞳面中的外径和/或内径范围(通常分别被称为“σ-外”和“σ-内”)可以被调整。此外，照射器il可以包括各种其他组件(在图2中)，诸如积分器in和聚光器co。照射器il可以被用来调节辐射束b以在其横截面上具有所期望的均匀性和强度分布。
54.参照图1，辐射束b入射在图案形成装置(例如，掩模)ma上，该图案形成装置被保持
在支撑结构(例如，掩模台)mt上，并且辐射束b通过图案形成装置ma被图案化。在光刻设备100中，辐射束b从图案形成装置(例如，掩模)ma被反射。在从图案形成装置(例如，掩模)ma被反射后，辐射束b通过投影系统ps，投影系统ps将辐射束b聚焦到衬底w的目标部分c上。在第二定位器pw和位置传感器if2(例如，干涉测量装置、线性编码器或电容式传感器)的帮助下，衬底台wt可以精确地移动(例如，以便将不同的目标部分c定位到辐射束b的路径中)。类似地，第一定位器pm和另一位置传感器if1可以被用来相对于辐射束b的路径对图案形成装置(例如，掩模)ma进行精确定位。图案形成装置(例如，掩模)ma和衬底w可以使用掩模对准标记m1、m2和衬底对准标记p1、p2来对准。
55.参照图2，辐射束b入射在图案形成装置(例如，掩模ma)上，该图案形成装置(例如，掩模ma)被保持在支撑结构(例如，掩模台mt)上，并且辐射束b通过图案形成装置被图案化。穿过掩模ma后，辐射束b通过投影系统ps，投影系统ps将射束聚焦到衬底w的目标部分c上。投影系统具有与照射系统光瞳ipu共轭的光瞳ppu。辐射的部分从照射系统光瞳ipu处的强度分布发出并且穿过掩模图案而不受掩模图案处的衍射的影响，并且在照射系统光瞳ipu处产生强度分布的图像。
56.投影系统ps将掩模图案mp的图像mp’投影到被涂覆在衬底w上的光致抗蚀剂层上，其中图像mp’是通过由辐射从掩模图案mp产生的衍射束根据强度分布来形成。例如，掩模图案mp可以包括线和空间的阵列。阵列处的辐射的衍射与零级衍射不同，生成在垂直于线的方向上偏转的衍射束，该偏转的衍射束具有方向的变化。未衍射束(即所谓的零级衍射束)在传播方向上在没有任何变化的情况下穿过图案。零级衍射束在投影系统ps的光瞳共轭ppu的上游穿过投影系统ps的上透镜或上透镜组，以到达光瞳共轭ppu。强度分布中的在光瞳共轭ppu的平面中并且与零级衍射束相关联的部分是照射系统il的照射系统光瞳ipu中的强度分布的图像。例如，孔径装置pd被设置在或基本上被设置在包括投影系统ps的光瞳共轭ppu的平面处。
57.投影系统ps被布置为通过透镜或透镜组l不仅捕获零级衍射束，还捕获一阶或一阶和更高阶衍射束(未示出)。在一些实施例中，用于对在垂直于线的方向上延伸的线图案进行成像的偶极照射可以用于利用偶极照射的分辨率增强效果。例如，一阶衍射束在晶片w的水平处与对应的零级衍射束发生干涉来以在尽可能高的分辨率和工艺窗口(即与可容忍的暴露剂量偏差组合的可用的焦深)产生线图案mp的图像。
58.在第二定位器pw和位置传感器if(例如，干涉测量装置、线性编码器或电容式传感器)的帮助下，衬底台wt可以准确地移动(例如，以便将不同的目标部分c定位到辐射束的路径b中)。类似地，第一定位器pm和另一个位置传感器(图2中未示出)可以用于相对于辐射束b的路径对掩模ma进行准确定位(例如，在从掩模库机械获取之后或在扫描期间)。
59.可以在长行程模块(粗糙定位)和短行程模块(精细定位)的帮助下实现掩模台mt的移动，该长行程模块和短行程模块形成第一定位器pm的部分。类似地，形成第二定位器pw的部分的长行程模块和短行程模块可以被用来实现衬底台wt的移动。在步进器(与扫描器相反)的情况下，掩模台mt可以被仅连接到短行程致动器或可以被固定。掩模ma和衬底w可以使用掩模对准标记m1、m2和衬底对准标记p1、p2来对准。尽管衬底对准标记(如图所示)占用专用的目标部分，它们可以位于目标部分之间的空间(称为划道对准标记)中。类似地，在掩模ma上提供多于一个管芯的情况下，掩模对准标记可以位于管芯之间。
60.掩模台mt和图案形成装置ma可以在真空室中，其中真空内机器人ivr可以用于将图案形成装置(诸如掩模)移入和移出真空室。备选地，当掩模台mt和图案形成装置ma在真空室的外部时，可以使用真空外机器人进行各种运输操作，类似于真空内机器人ivr。真空内机器人和真空外机器人两者都需要被校准，以用于将任何有效载荷(例如，掩模)平稳转移到转移站的被固定的运动支架上。
61.光刻设备100和100’可以以下面模式中的至少一种模式来使用：
62.1.在步进模式下，支撑结构(例如，掩模台)mt和衬底台wt基本保持静止，同时被赋予到辐射束b的整个图案被一次投影到目标部分c上(即，单次静态曝光)。然后衬底台wt在x和/或y方向上移位，使得可以对不同的目标部分c进行曝光。
63.2.在扫描模式下，支撑结构(例如，掩模台)mt和衬底台wt被同步扫描，同时被赋予到辐射束b的图案被投影到目标部分c上(即，单次动态曝光)。衬底台wt相对于支撑结构(例如，掩模台)mt的速度和方向可以通过投影系统ps的(去)放大和图像反转特性来确定。
64.3.在另一种模式下，支撑结构(例如，掩模台)mt被基本维持静止以保持可编程图案形成装置，并且在被赋予到辐射束b的图案被投影到目标部分c上的同时移动或扫描衬底台wt。可以采用脉冲辐射源so，并且在衬底台wt的每次移动之后或在扫描期间的连续辐射脉冲中间可以根据需要对可编程图案形成装置进行更新。这种操作模式可以很容易地应用于利用可编程图案形成装置(诸如可编程反射镜阵列)的无掩模光刻。
65.所描述的使用模式或完全不同的使用模式的组合和/或变化也可以被采用。
66.示例性光刻单元
67.图3示出了光刻单元(lithographic)300，有时也称为光刻单元(lithocell)或簇。光刻设备100或100’可以形成光刻单元300的部分。光刻单元300还可以包括用于在衬底上执行曝光前和曝光后过程的设备。通常这些设备包括用于沉积抗蚀剂层的旋涂机sc、用于显影经曝光的抗蚀剂的显影器de、冷却板ch和烘烤板bk。衬底处理器或机器人ro从输入/输出端口i/o1、i/o2拾取衬底，将它们在不同的处理设备之间移动，并且将它们传递到光刻设备100或100’的进料台lb。这些设备(通常统称为轨道)是在轨道控制单元tcu的控制下，该轨道控制单元tcu本身由管理控制系统scs控制，该管理控制系统还经由光刻控制单元lacu控制光刻设备。因此，可以操作不同的设备以使生产量和处理效率最大化。
68.示例性堆叠的共焦脉冲展宽器系列
69.根据一些实施例，为激光源提供包括堆叠的光学脉冲展宽器系列的一个或多个扩展的光学脉冲展宽器。根据一些实施例，激光源可以用作光刻设备100或100’的源so的部分或除了源so之外的源。附加地或备选地，激光源可以用于生成要在光刻设备100或100’或其他duv光刻设备中使用的duv辐射。
70.根据一些实施例，激光源可以是气体放电激光源，例如krf或arf或分子氟气体放电激光器。在一些示例中，包括本公开的堆叠的光学脉冲展宽器系列的扩展的光学脉冲展宽器可以具有长的光学延迟，但是被约束为具有用于以下的实际的物理长度：被安装在现有的激光器框架上或被包含在束传递单元内，并且例如适配在制造设施清洁室底板室中。根据一些实施例，本公开的扩展的光学脉冲展宽器对共焦脉冲展宽器进行组合以组合地产生每个光路配置的4次反射、4次反射、12次反射和12次反射。根据一些实施例，包括不同反射镜分隔和延迟路径长度(例如，4次反射和12次反射延迟长度)的组合可以导致非常长的
脉冲展宽、长的光学延迟和最小的效率损失。本公开的实施例还可以使对准系统所需的调整次数最小化，并且可以允许相当大的未对准量。根据一些实施例，本公开的扩展的光学脉冲展宽器可以在不同光路中使用反射镜的不同组合来产生4次反射、4次反射、12次反射和12次反射，但是在其他实施例中可以使用其他次数的反射。附加地或备选地，在本公开的扩展的光学脉冲展宽器中，一个或多个分束器相对于反射镜的曲率中心来定位，以使光路中的每个光路“展平”，从而使射束能够在同一平面(例如，平行于地板)内传播。附加地或备选地，各个反射镜的曲率和尺寸可以被设计为将一个或多个分束器定位为与反射镜组中的一个反射镜更靠近，以允许上分束器被放置在准分子激光腔之后，以允许脉冲展宽器正确地适配在激光系统中的分配位置处。
71.根据一些实施例，本公开的扩展的光学脉冲展宽器可以在氮气清洗环境中实现。备选地，本公开的扩展的光学脉冲展宽器可以在真空环境内实现。
72.图4示出了根据本公开的一些实施例的具有扩展的光学脉冲展宽器401的激光源400的示意图。在一些实施例中，激光源400可以用作光刻设备100或100’的源so的部分或者除了源so之外的源。附加地或备选地，激光源400可以提供在图2的源so中使用的激光。附加地或备选地，激光源400可以用于生成要在光刻设备100或100’或其他duv光刻设备中使用的duv辐射。
73.如图4所示，激光源400可以包括双腔室激光源。例如，激光源400可以包括第一激光腔室403a和第二激光腔室403b。在一个示例性实施例中，第一激光腔室403a可以包括主振荡器或者是主振荡器的部分。例如，激光源400可以包括主振荡器，其中主源包含第一激光腔室403a。在该示例中，第二激光腔室403b可以包括功率放大器或者是功率放大器的部分。例如，激光源可以包括功率放大器，其中功率放大器包含第二激光腔室403b。尽管针对双腔室激光源讨论了一些实施例，但是本公开的实施例不限于这些示例。本公开的实施例可以应用于具有一个腔室的激光源或具有多个激光腔室的激光源。
74.根据一些实施例，第一腔室403a生成第一激光束409，第一激光束409被传递到第二激光腔室403b，在第二激光腔室403b中第一激光束409被放大以产生第二激光束411。第二激光束411被输入到扩展的光学脉冲展宽器401，在扩展的光学脉冲展宽器401中第二激光束411的副本被延迟和重新组合以减少散斑。第三激光束413从扩展的光学脉冲展宽器输出到光刻设备(例如，光刻设备100和/或110’)。
75.根据一些实施例，每个激光腔室403a和403b包含气体混合物。例如，在准分子激光源中，第一激光腔室403a和第二激光腔室403b可以包含卤素(例如氟气以及其他气体，诸如氩气、氖气)、以及不同的分压(合计为总压力)下的可能的其他气体。激光腔室403a和403b可以包括用于生成和放大激光束的其他气体。附加地或备选地，激光腔室403a和403b可以包括相同或不同的气体混合物。
76.在一些实施例中，激光源400可以包括(或可以被耦合到)气体源(例如，气瓶)420a和420b。例如，气体源420a可以被耦合到第一激光腔室403a以提供用于生成第一激光束409的气体混合物。另外，气体源420b可以被耦合到第二激光腔室403b以提供用于生成第二激光束411的气体混合物。在一些示例中，气体源420a和420b可以分别通过阀(未示出)被耦合到激光腔室403a和403b。控制系统(未示出)可以用于控制用于将气体从气体源420a和420b发送到激光腔室403a和403b的阀。
77.在一些实施例中，气体源420a可以包含包括但不限于氟气、氩气和氖气的气体混合物。根据一些实施例，气体源420b可以包含氩气、氖气和/或其他气体的混合物，但不包含氟气。然而，在气体源420a和420b中可以使用其他气体混合物。
78.根据一些实施例，并且如以上所讨论的，扩展的光学脉冲展宽器401被配置为接收第二激光束411并且延迟和重新组合第二激光束411的副本以减少散斑。在一些示例中，可以使用由相干光的干涉生成的亮和暗点的强度图案来定义散斑对比度。散斑图案中的亮和暗区域的强度对比度可以是相干性的量度。在一些示例中，时间相干性和空间相干性可以对整体相干性有贡献。散斑对比度可以被定义为强度变化的标准偏差除以平均强度。在一些示例中，可以基于激光参数来估计散斑对比度。
79.根据一些实施例，扩展的光学脉冲展宽器401可以包括两个部分-第一光学脉冲展宽器401a和第二光学脉冲展宽器401b。例如，第一光学脉冲展宽器401a接收第二激光束411并对第二激光束411的副本进行延迟和重新组合以生成第一输出激光束。第一输出激光束被输入到第二光学脉冲展宽器401b。第二光学脉冲展宽器401b接收第一输出激光束并对第一输出激光束的副本进行延迟和重新组合以生成第二输出激光束。第二输出激光束被输入到第一光学脉冲展宽器401a，其中第二输出激光束被重定向为第三激光束413。
80.根据一些实施例，第二光学脉冲展宽器401b包括堆叠的光学脉冲展宽器系列。换言之，多个光学脉冲展宽器被堆叠在第二光学脉冲展宽器401b中。光学脉冲展宽器级中的每一级光学脉冲展宽器(例如，级光学脉冲展宽器)包括多个共焦谐振器。例如，光学脉冲展宽器401b可以包括第一级光学脉冲展宽器，该第一级光学脉冲展宽器包括多个第一共焦谐振器。光学脉冲展宽器401b还包括第二级光学脉冲展宽器，该第二级光学脉冲展宽器包括多个第二共焦谐振器。光学脉冲展宽器401b还包括第三级光学脉冲展宽器，该第三级光学脉冲展宽器包括多个第三共焦谐振器。根据一些示例，多个第一共焦谐振器包括两个矩形凹面反射镜，多个第二共焦谐振器包括四个矩形凹面反射镜，并且多个第三共焦谐振器包括四个矩形凹面反射镜。然而，本公开的实施例可以在光学脉冲展宽器401b中包括其他数目级的光学脉冲展宽器，并且每一级光学脉冲展宽器可以包括其他数目的共焦谐振器。此外，本公开的实施例可以包括其他类型的反射镜作为共焦谐振器。此外，在图4中正交布置的第一光学脉冲展宽器401a和第二光学脉冲展宽器401b的相对取向仅作为示例来提供，并且在其他实施例中可以使用其他相对配置和取向。
81.图5a示出了根据本公开的一些实施例的具有第一光学脉冲展宽器401a和第二光学脉冲展宽器401b的扩展的光学脉冲展宽器401的示意性正视图。
82.根据一些实施例，并且如下面更详细地讨论的，第一光学脉冲展宽器401a可以包括具有一定光学设计的一级光学脉冲展宽器507，该光学设计包括在它们之间产生对激光束的四次反射的四个反射镜(第一反射镜对509和第二反射镜对510)。虽然该示例是利用四个反射镜来讨论的，但是一级光学脉冲展宽器507可以包括其他数目的反射镜。这些反射镜可以被定位为生成对激光束的四次反射。在一些实施例中，第一光学脉冲展宽器401a的一级光学脉冲展宽器507的两个反射镜对509和510可以被彼此分开约1m-3m的物理距离。例如，物理距离可以是大约1.5m到2.5m。这些距离仅作为示例来提供，并且在其他实施例中可以使用其他距离。在一些示例中，第一光学脉冲展宽器401a的一级光学脉冲展宽器507能够进行例如具有约30ns-50ns的光学延迟的光学脉冲展宽。例如，约35ns-45ns的光学延迟。例
如，约40ns-44ns的光学延迟。应注意，所提供的两个反射镜之间的示例物理距离和示例光学延迟并不限制本公开的实施例。第一光学脉冲展宽器401a可以被设计为实现各种其他物理距离和/或各种光学延迟。
83.根据一些实施例，第一光学脉冲展宽器401a的一级光学脉冲展宽器507的两个反射镜对509和510中的反射镜中的每个反射镜可以包括圆形凹面反射镜。
84.根据一些实施例，第一光学脉冲展宽器401a可以包括附加的光学元件。在一个示例中，第一光学脉冲展宽器401a的一级光学脉冲展宽器507可以包括分束器511，分束器511用于分离激光束411并生成激光束411的副本。第一光学脉冲展宽器401a的分束器511可以具有例如约50％-70％的反射率。在一些示例中，分束器511可以具有约55％-65％的反射率。但是本公开的实施例不限于这些示例，并且可以使用各种其他反射率值。在一些示例中，分束器511的反射率可以取决于在第一光学脉冲展宽器401a中使用的反射镜的反射率和/或基于在第一光学脉冲展宽器401a中使用的反射镜的反射率来计算。
85.另外，第一光学脉冲展宽器401a可以包括光束调谐、光束中继和/或对准特征。
86.根据一些实施例，并且如下面更详细地讨论的，第二光学脉冲展宽器401b可以包括两个或更多个(例如，三个)级的共焦光学脉冲展宽器。在一些示例中，这三级的共焦光学脉冲展宽器可以被定位为在第二光学脉冲展宽器401b中彼此近似平行。在一些实施例中，第二光学脉冲展宽器401b可以被定位为与第一光学脉冲展宽器401a垂直或近似垂直。换言之，在一些实施例中，第一光学脉冲展宽器401a(例如，可以被垂直定位的正交光学脉冲展宽器)被定位为与第二光学脉冲展宽器401b的两个或更多个(例如，三个)级的共焦光学脉冲展宽器垂直或近似垂直。根据一些实施例，第二光学脉冲展宽器401b被设计为使得它提供附加的光学延迟，实现非常长的脉冲展宽，它是稳定的，可以不需要用于对准的附加调整，并且可以被安装在现有的激光器框架上或被包含在束传递单元内并且适配在可用的激光器体积中(例如，适配在制造设施清洁室底板室中)。例如，第二光学脉冲展宽器401b可以适配在例如第一激光腔室403a上方的狭小空间中。
87.根据一些实施例，扩展的光学脉冲展宽器401对两个或更多个共焦光学脉冲展宽器进行组合。例如，扩展的光学脉冲展宽器401将共焦光学脉冲展宽器组合在每个光路配置的4次反射、4次反射、12次反射和12次反射的组合中。根据一些实施例，包括不同反射镜分隔和延迟路径长度(例如，4次反射和12次反射延迟长度)的组合可以导致非常长的脉冲展宽和最小的效率损失。
88.根据一些实施例，第二光学脉冲展宽器401b可以包括三级共焦光学脉冲展宽器。然而，本公开的实施例不限于这些示例，并且第二光学脉冲展宽器401b可以包括其他数目级的共焦光学脉冲展宽器。在一些示例中，第一级第二光学脉冲展宽器401b被讨论为具有两个反射镜。然而，本公开的实施例不限于这些示例，并且第一级第二光学脉冲展宽器401b可以包括其他数目(例如两个或更多个)和/或配置的反射镜。在一些示例中，在第一级第二光学脉冲展宽器401b中使用的多个反射镜被配置为在它们之间生成对激光束的四次反射。
89.在一些示例中，第二级第二光学脉冲展宽器401b被讨论为具有四个反射镜。然而，本公开的实施例不限于这些示例，并且第二级第二光学脉冲展宽器401b可以包括其他数目(例如四个或更多个)和/或配置的反射镜。在一些示例中，在第二级第二光学脉冲展宽器401b中使用的多个反射镜被配置为在它们之间生成对激光束的十二次反射。
90.在一些示例中，第三级第二光学脉冲展宽器401b被讨论为具有四个反射镜。然而，本公开的实施例不限于这些示例，并且第三级第二光学脉冲展宽器401b可以包括其他数目(例如四个或更多个)和/或配置的反射镜。在一些示例中，在第三级第二光学脉冲展宽器401b中使用的多个反射镜被配置为在它们之间生成对激光束的十二次反射。
91.根据一些实施例，第一光学脉冲展宽器401a和第二光学脉冲展宽器401b级被设计为使得从第一光学脉冲展宽器401a到第二光学脉冲展宽器401b的光学延迟增加。而且，从第一级到第三级的每一级第二光学脉冲展宽器401b的光学延迟增加。例如，第一光学脉冲展宽器401a(例如，正交光学脉冲展宽器)可以具有光学延迟。第一级第二光学脉冲展宽器401b可以具有第一光学延迟，该第一光学延迟等于或大于第一光学脉冲展宽器401a的光学延迟。第二级第二光学脉冲展宽器401b可以具有第二光学延迟，该第二光学延迟等于或大于第一光学延迟。第三级第二光学脉冲展宽器401b可以具有第三光学延迟，该第三光学延迟等于或大于第二光学延迟。根据一些实施例，可以基于光束在光学脉冲展宽器内行进的距离来确定光学延迟。
92.根据一些实施例，第一级第二光学脉冲展宽器401b可以具有包括两个反射镜(例如，图5a中的反射镜501和502中的两个下反射镜)的光学设计，该两个反射镜在它们之间生成对激光束的四次反射。虽然该示例是利用两个反射镜来讨论的，但是第一级第二光学脉冲展宽器401b可以包括其他数目的反射镜(例如，两个或更多个反射镜)。这些反射镜可以被定位为在它们之间生成对激光束的四次反射。在一些实施例中，第一级第二光学脉冲展宽器401b中的两个反射镜可以被彼此分开大约2m-4m的物理距离。例如，物理距离可以是大约2.5m到3.5m。这些距离仅作为示例来提供，并且在其他实施例中可以使用其他距离。在一些示例中，第一级第二光学脉冲展宽器401b能够进行光学脉冲展宽，该光学脉冲展宽例如具有约60ns-80ns的光学延迟。例如，大约65ns-75ns的光学延迟。例如，大约70ns-75ns的光学延迟。应注意，所提供的两个反射镜之间的示例物理距离和示例光学延迟并不限制本公开的实施例。第一级第二光学脉冲展宽器401b可以被设计为实现各种其他物理距离和/或各种光学延迟。
93.根据一些实施例，第一级第二光学脉冲展宽器401b中的反射镜(例如，反射镜501和502中的两个下反射镜)可以包括矩形凹面反射镜。例如，可以使用两个大的矩形凹面反射镜，但是在其他实施例中可以使用其他形状。根据一些实施例，反射镜的反射表面可以是球形凹面的，使得第一级第二光学脉冲展宽器401b中的两个反射镜(例如，反射镜501和502中的两个下反射镜的表面)之间的距离等于(或约等于)两个反射镜中的每个反射镜的曲率半径。例如，可以基于远心设计来设计和定位反射镜。根据一些实施例，凹面反射镜可以利用正交的倾斜-倾倒调整以及z轴(例如，光束传播方向)调整来设计。
94.根据一些实施例，第一级第二光学脉冲展宽器401b可以包括附加光学元件。在一个示例中，第一级第二光学脉冲展宽器401b可以包括分束器(图5a的分束器503中的下分束器)，该分束器用于分离激光束并且生成激光束的副本。第一级第二光学脉冲展宽器401b中的分束器可以具有例如大约45％-65％的反射率。在一些示例中，分束器可以具有约50％-60％的反射率。但是本公开的实施例不限于这些示例，并且可以使用各种其他反射率值。在一些示例中，该分束器的反射率可以取决于在第一级第二光学脉冲展宽器401b中使用的反射镜的反射率和/或基于在第一级第二光学脉冲展宽器401b中使用的反射镜的反射率来计
算。
95.根据一些实施例，第二级第二光学脉冲展宽器401b可以具有包括四个反射镜(例如，图5a中的反射镜501和502中的四个中间反射镜)的光学设计，该四个反射镜在它们之间产生对激光束的十二次反射。虽然该示例是利用四个反射镜来讨论的，但是第二级第二光学脉冲展宽器401b可以包括其他数目的反射镜(例如，四个或更多个反射镜)。这些反射镜可以被定位为在它们之间生成对激光束的十二次反射。在一些实施例中，第二级第二光学脉冲展宽器401b中的两个反射镜对可以被彼此分开大约2m-4m的物理距离。例如，物理距离可以是大约2.5m到3.5m。这些距离仅作为示例来提供，并且在其他实施例中可以使用其他距离。在一些示例中，第二级第二光学脉冲展宽器401b能够进行光学脉冲展宽，该光学脉冲展宽例如具有约170ns-210ns的光学延迟。例如，大约180ns-190ns的光学延迟。例如，大约185ns-195ns的光学延迟。应注意，所提供的两个反射镜对之间的示例性物理距离和示例性光学延迟并不限制本公开的实施例。第二级第二光学脉冲展宽器401b可以被设计为实现各种其他物理距离和/或各种光学延迟。
96.根据一些实施例，第二级第二光学脉冲展宽器401b中的反射镜(例如，反射镜501和502中的四个中间反射镜)可以包括矩形凹面反射镜。例如，可以使用四个大的矩形凹面反射镜，但是在其他实施例中可以使用其他形状。根据一些实施例，反射镜的反射表面可以是球形凹面的，使得第二级第二光学脉冲展宽器401b中的两个反射镜对(例如，反射镜501和502中的两个中间反射镜对的表面)之间的距离等于(或约等于)四个反射镜中的每个反射镜的曲率半径。例如，可以基于远心(telecentric design)设计来设计和定位反射镜。根据一些实施例，凹面反射镜可以利用正交的倾斜-倾倒调整来设计。
97.根据一些实施例，第二级第二光学脉冲展宽器401b可以包括附加光学元件。在一个示例中，第二级第二光学脉冲展宽器401b可以包括分束器(图5a的分束器503中的中间分束器)，该分束器用于分离激光束并且生成激光束的副本。第二级第二光学脉冲展宽器401b中的分束器可以具有例如大约45％-65％的反射率。在一些示例中，分束器可以具有约50％-60％的反射率。但是本公开的实施例不限于这些示例，并且可以使用各种其他反射率值。在一些示例中，该分束器的反射率可以取决于在第二级第二光学脉冲展宽器401b中使用的反射镜的反射率和/或基于在第二级第二光学脉冲展宽器401b中使用的反射镜的反射率来计算。
98.根据一些实施例，第三级第二光学脉冲展宽器401b可以与第二级第二光学脉冲展宽器401b相似或相同。例如，第三级第二光学脉冲展宽器401b可以具有包括四个反射镜(例如，图5a中的反射镜501和502中的四个顶部反射镜)的光学设计，该四个反射镜在它们之间产生对激光束的十二次反射。尽管该示例是利用四个反射镜来讨论的，但是第三级第二光学脉冲展宽器401b可以包括其他数目的反射镜(例如，四个或更多个反射镜)。这些反射镜可以被定位为在它们之间生成对激光束的十二次反射。在一些实施例中，第三级第二光学脉冲展宽器401b中的两个反射镜对可以被彼此分开大约2m-4m的物理距离。例如，物理距离可以是大约2.5m到3.5m。这些距离仅作为示例来提供，并且在其他实施例中可以使用其他距离。根据一些示例，不同级的第二光学脉冲展宽器401b中的反射镜之间的距离可以相似或相同。
99.在一些示例中，第二级第二光学脉冲展宽器401b能够进行光学脉冲展宽，例如该
光学脉冲展宽具有约150ns-190ns的光学延迟。例如，大约160ns-180ns的光学延迟。例如，大约165ns-175ns的光学延迟。应注意，所提供的两个反射镜对之间的示例性物理距离和示例性光学延迟并不限制本公开的实施例。第三级第二光学脉冲展宽器401b可以被设计为实现各种其他物理距离和/或各种光学延迟。
100.根据一些实施例，第三级第二光学脉冲展宽器401b中的反射镜(例如，反射镜501和502中的四个顶部反射镜)可以包括矩形凹面反射镜。例如，可以使用四个大的矩形凹面反射镜，但是在其他实施例中可以使用其他形状。根据一些实施例，反射镜的反射表面可以是球形凹面的，使得第三级第二光学脉冲展宽器401b中的两个反射镜对(例如，反射镜501和502中的两个顶部反射镜对的表面)之间的距离等于(或约等于)四个反射镜中的每个反射镜的曲率半径。例如，可以基于远心设计来设计和定位反射镜。根据一些实施例，凹面反射镜可以利用正交的倾斜-倾倒调整来设计。
101.根据一些实施例，第三级第二光学脉冲展宽器401b可以包括附加光学元件。在一个示例中，第三级第二光学脉冲展宽器401b可以包括分束器(图5a的分束器503中的顶部分束器)，该分束器用于分离激光束并且生成激光束的副本。第三级第二光学脉冲展宽器401b的分束器可以具有例如大约45％-65％的反射率。在一些示例中，分束器可以具有约50％-60％的反射率。但是本公开的实施例不限于这些示例，并且可以使用各种其他反射率值。在一些示例中，分束器的反射率可以取决于在第三级第二光学脉冲展宽器401b中使用的反射镜的反射率和/或基于在第三级第二光学脉冲展宽器401b中使用的反射镜的反射率来计算。
102.第二光学脉冲展宽器401b可以包括附加光学元件。例如，第二光学脉冲展宽器401b可以包括反射镜505a和505b。反射镜505a和505b可以用于将被光学展宽的激光束引导回第一光学脉冲展宽器401a，其中被光学展宽的激光束可以作为第三激光束413输出激光源400。应注意，根据一些实施例，朝向第一光学脉冲展宽器401a被重定向的光学展宽激光束不经过第一光学脉冲展宽器401a的级507，而是被重定向为输出激光源400的第三激光束413。
103.根据一些实施例，反射镜505a和505b可以包括以大约45度安装的s偏振反射镜(以提供大约45度的入射角)。然而，反射镜505a和505b的其他示例和/或取向可以与本公开的实施例一起使用。
104.图5b示出了根据本公开的一些实施例的第二光学脉冲展宽器401b的示意性顶视图。图5c示出了根据本公开的一些实施例的具有第一光学脉冲展宽器401a和第二光学脉冲展宽器401b的扩展的光学脉冲展宽器401的示意性侧视图。
105.在图5b的第二光学脉冲展宽器401b的顶视图中，示出了例如第三级第二光学脉冲展宽器401b中的四个反射镜。该四个反射镜可以包括两个反射镜对-反射镜501d和501e以及反射镜502d和502e。图5b的顶视图还示出了分束器503。下面参照图7b进一步讨论激光束在第二级和第三级的第二光学脉冲展宽器401b的四个反射镜之间的反射和传播。
106.在图5c的第一光学脉冲展宽器401a和第二光学脉冲展宽器401b的侧视图中，示出了在第二光学脉冲展宽器401b的一侧上的五个反射镜。在该示例中，示出了第一级第二光学脉冲展宽器401b中的反射镜502a。反射镜(例如，反射镜501a)在第一级第二光学脉冲展宽器401b的另一侧，这在该视图中未示出。在该示例中，示出了第二级第二光学脉冲展宽器
401b中的一个反射镜对502b和502c。另一反射镜对(例如，反射镜对501b和501c)位于第二级第二光学脉冲展宽器401b的另一侧，这在该视图中未示出。此外，在该示例中，示出了第三级第二光学脉冲展宽器401b中的一个反射镜对502d和502e。另一反射镜对(例如，反射镜对501d和501e)位于第三级第二光学脉冲展宽器401b的另一侧，这在该视图中未示出。
107.图6a示出了根据本公开的一些实施例的激光束在第二光学脉冲展宽器401b中的路径的部分的示意图。
108.如图6a所示，使用第一光学脉冲展宽器401a的级来光学展宽的激光束601进入第二光学脉冲展宽器401b。使用第一分束器503a，激光束601被分成激光束603和激光束605。激光束605进入第二级第二光学脉冲展宽器401b。激光束603进入包括两个反射镜的第一级第二光学脉冲展宽器401b。在来自第一级第二光学脉冲展宽器401b中的两个反射镜的四次反射之后(例如，如图7a所示)，激光束使用分束器503a进入第二级第二光学脉冲展宽器401b。
109.激光束605(和/或来自第一级第二光学脉冲展宽器401b的激光束)被分成激光束607和激光束609。激光束609进入第三级第二光学脉冲展宽器401b。激光束607进入第二级第二光学脉冲展宽器401b，该第二级第二光学脉冲展宽器401b包括四个反射镜。在来自第二级第二光学脉冲展宽器401b中的四个反射镜的十二次反射之后(例如，如图7b所示)，激光束使用分束器503b进入第三级第二光学脉冲展宽器401b。
110.激光束609(和/或来自第二级第二光学脉冲展宽器401b的激光束)被分成激光束611和激光束613。使用反射镜505a和505b将激光束613反射回第一光学脉冲展宽器401a。激光束611进入包括四个反射镜的第三级第二光学脉冲展宽器401b。在来自第三级第二光学脉冲展宽器401b中的四个反射镜的十二次反射之后(例如，如图7b所示)，使用分束器503c以及反射镜505a和505b将激光束反射回第一光学脉冲展宽器401a。
111.图6b示出了根据本公开的一些实施例的激光束在第二光学脉冲展宽器401b中的路径的部分和在第二光学脉冲展宽器401b中使用的反射镜的部分的示意图。
112.在图6b中，示出了在第二光学脉冲展宽器401b的一侧上的五个反射镜。在该示例中，示出了第一级第二光学脉冲展宽器401b中的反射镜502a。反射镜(例如，反射镜501a)在第一级第二光学脉冲展宽器401b的另一侧，这在该视图中未示出。在该示例中，示出了第二级第二光学脉冲展宽器401b中的一个反射镜对502b和502c。另一反射镜对(例如，反射镜对501b和501c)位于第二级第二光学脉冲展宽器401b的另一侧，这在该视图中未示出。此外，在该示例中，示出了第三级第二光学脉冲展宽器401b中的一个反射镜对502d和502e。另一反射镜对(例如，反射镜对501d和501e)位于第三级第二光学脉冲展宽器401b的另一侧，这在该视图中未示出。
113.图7a示出了根据本公开的一些实施例的第一级第二光学脉冲展宽器401b的示意性顶视图。如图7a所示，第一级第二光学脉冲展宽器401b可以包括两个反射镜501a和502a、分束器503a和可选的补偿器701。
114.根据一些实施例，第一级第二光学脉冲展宽器401b中的反射镜501a和502a可以包括矩形凹面反射镜。例如，可以使用两个大的矩形凹面反射镜，但是在其他实施例中可以使用其他形状。根据一些实施例，反射镜501a和502a的反射表面可以是球形凹面的，使得反射镜501a和502a之间的距离等于(或约等于)反射镜501a和502a中的每个反射镜的曲率半径。
例如，可以基于远心设计来设计和定位反射镜501a和502a。根据一些实施例，凹面反射镜可以利用正交的倾斜-倾倒调整来设计。根据一些实施例，并且与例如圆形反射镜相比，反射镜501a和502a可以对反射镜未对准相对不敏感，可以具有较少的部件数，可以简化它们的安装设计，和/或可以更容易对准，具有减少的组件和自由度。
115.根据一些实施例，反射镜501a和502a的各个曲率和尺寸可以被设计为将分束器503a定位成更靠近反射镜组中的一个反射镜(例如，更靠近反射镜501a)，以允许上分束器(例如，上级第二光学脉冲展宽器401b中的分束器)被放置在准分子激光腔室之后，以允许脉冲展宽器正确地适配在激光系统中的分配位置处。例如，分束器503a可以是“d”形分束器。然而，本公开的实施例不限于这些示例，并且还可以使用各种其他类型的分束器和/或各种其他配置的分束器和反射镜。
116.根据一些实施例，分束器503a相对于反射镜501a和/或502a的曲率中心来定位，以使光路中的每个光路“展平”，从而使激光束能够在同一平面(例如，平行于地板)内传播。
117.根据一些实施例，可选的补偿器701可以包括补偿器板，该补偿器板被配置为补偿从分束器503a的有限厚度走出的激光束，并且减小反射镜调整中的自由度(dof)(例如，与小反射镜设计中的8dof相比的大反射镜设计中的4dof)。
118.根据一些实施例，反射镜501a和502a之间的距离可以在制造期间被调整，并且反射镜的倾斜/倾倒调整可以在现场进行。
119.图7b示出了根据本公开的一些实施例的第二级第二光学脉冲展宽器401b或第三级第二光学脉冲展宽器401b的示意性顶视图。如图7b所示，第二级第二光学脉冲展宽器401b或第三级第二光学脉冲展宽器401b可以包括四个反射镜501b、501c、502b和502c以及分束器503b。
120.图7b关于第二级第二光学脉冲展宽器401b来讨论。然而，第三级第二光学脉冲展宽器401b可以相同或相似。根据一些实施例，第二级第二光学脉冲展宽器401b中的反射镜501b、501c、502b和502c可以包括矩形凹面反射镜。例如，可以使用两个大的矩形凹面反射镜，但是在其他实施例中可以使用其他形状。
121.根据一些实施例，反射镜501b、501c、502b和502c的反射表面可以是球形凹面的，使得反射镜501b和502b(或反射镜501c和502c)之间的距离等于(或约等于)反射镜501b、501c、502b和502c中的每个反射镜的曲率半径。例如，反射镜501b、501c、502b和502c可以基于远心设计来设计和定位。根据一些实施例，凹面反射镜可以利用正交的倾斜-倾倒调整来设计。根据一些实施例，并且与例如圆形反射镜相比，反射镜501b、501c、502b和502c可以对反射镜未对准相对不敏感，可以具有较少的部件数，可以简化它们的安装设计，和/或可以更容易对准，具有减少的部件和自由度。
122.根据一些实施例，反射镜501b、501c、502b和502c的各个曲率和尺寸可以被设计为将分束器503b定位成更靠近反射镜组中的一个反射镜(例如，更靠近反射镜501b和501c)，以允许上分束器(例如，上级第二光学脉冲展宽器401b中的分束器)被放置在准分子激光腔室之后，以允许脉冲展宽器正确地适配在所分配的激光体积中。例如，分束器503b可以是“d”形分束器。然而，本公开的实施例不限于这些示例，并且还可以使用各种其他类型的分束器和/或各种其他配置的分束器和反射镜。
123.根据一些实施例，分束器503b相对于反射镜501b、501c、502b和/或502c的曲率中
心来定位，以使光路中的每个光路“展平”，从而使激光束能够在同一平面(例如，平行于地板)内传播。
124.根据一些实施例，可以使用可选的补偿器(未示出-类似于图7a的补偿器701)。可选的补偿器可以包括补偿器板，该补偿器板被配置为补偿从分束器503b的有限厚度走出的激光束，并且减小反射镜调整中的自由度(dof)(例如，与小反射镜设计中的8dof相比的大反射镜设计中的4dof)。
125.根据一些实施例，反射镜501b、501c、502b和502c之间的距离可以在制造期间被调整，并且反射镜的倾斜/倾倒调整可以在现场被执行。
126.根据一些实施例，激光束在第二级(和/或第三级)第二光学脉冲展宽器401b内的传播路径可以类似于美国专利no.7,415,065中所讨论的激光束的传播路径，该专利的全部内容通过引用被并入本文中。
127.在该示例中，使用例如分束器503b使激光束进入第二级第二光学脉冲展宽器401b。根据一些实施例，进入的激光束可以是第一级第二光学脉冲展宽器401b的激光束输出。激光束入射在反射镜501b上的第一点1处。反射束从反射镜501b上的点1入射到反射镜502c上的点2。反射束从反射镜502c上的点2入射到反射镜501b上的点3。反射束从反射镜501b上的点3入射到反射镜502b上的点4。反射光束从反射镜502b上的点4入射到反射镜501c上的点5。反射束从反射镜501c上的点5入射到反射镜502b上的点6。
128.反射束从反射镜502b上的点5入射到反射镜501b上的点7。反射束从反射镜501b上的点7入射到反射镜502c上的点8。反射束从反射镜502c上的点8入射到反射镜501b上的点9。反射束从反射镜501b上的点9入射到反射镜502b上的点10。反射束从反射镜502b上的点10入射到反射镜501c上的点11。反射束从反射镜501c上的点11入射到反射镜502b上的点12。反射束从反射镜502b上的点12入射到分束器503b。
129.使用分束器503b，来自反射镜502b上的点12的反射束可以朝向第三级第二光学脉冲展宽器401b被反射。类似的十二次反射和光束传播可以发生在第三级第二光学脉冲展宽器401b中。
130.根据一些实施例，第一、第二和第三级第二光学脉冲展宽器401b(和/或第一光学脉冲展宽器401a的光学脉冲展宽器级)可以被设计为使得它们的设计可以不受操作期间的初始未对准和/或振动问题的影响。
131.根据一些实施例，并且如以上所讨论的，第二光学脉冲展宽器401b的激光束输出朝向第一光学脉冲展宽器401a被反射回以被反射并且从激光源400被发出。根据一些示例，因为第二光学脉冲展宽器401b与输出激光源400之间的距离，第一光学脉冲展宽器401a可以包括光束中继器。第一光学脉冲展宽器401a中的光束中继器被配置为接收图4的第二光学脉冲展宽器401b的输出和输出激光束413。在一些示例中，光束中继器可以包括以可伸缩配置来配置的两个以上透镜。附加地或备选地，光束中继器可以包括一个或多个孔径。
132.图8示出了根据本公开的一些实施例的激光束在第一光学脉冲展宽器401a中的路径的部分的示意图。根据一些实施例，图4的第二激光束411被输入到第一光学脉冲展宽器401a。第二束激光411可以通过可选的分束器802和可选的对准光学器件804(例如，对准棱镜)。例如，当为了对准光学元件和/或光束而组装第一光学脉冲展宽器401a时，对准光学器件804可以用于对准。对准光学器件804可以在第二光学脉冲展宽器401b和激光源400的操
作期间被移除。
133.第二激光束411进一步可以入射在第一光学脉冲展宽器401a的光学脉冲展宽器级507的分束器上。第二激光束411的一部分807可以进入第一光学脉冲展宽器401的光学脉冲展宽器级507以被光学展宽。第一光学脉冲展宽器401a的光学脉冲展宽器级507的输出可以使用反射镜808a朝向第二光学脉冲展宽器401b被反射809。第二光学脉冲展宽器401b的输出(例如，激光束811)被发送回第一光学脉冲展宽器401a。
134.光学元件812可以是上述可选光束中继器的可选光学元件。使用反射镜808b反射第二光学脉冲展宽器401b的输出(例如，激光束811)。被反射的激光束可以穿过一个或多个可选的系统孔径814和/或分束器816。(图4的)第三激光束413是激光源400的输出。
135.尽管在本文中可以具体参考光刻设备在ic的制造中的使用，但是应当理解，本文中所描述的光刻设备可以具有其他应用，诸如集成光学系统的制造、用于磁畴存储器的引导和检测图案、平板显示器、lcd、薄膜磁头等。本领域技术人员将理解，在这些备选应用的上下文中，这里术语“晶片”或“管芯”的任何使用可以被认为分别与更一般的术语“衬底”或“目标部分”同义。在曝光之前或之后，可以在例如跟踪单元(通常将抗蚀剂层施加到衬底并使经曝光的抗蚀剂显影的工具)、量测单元和/或检查单元中处理本文中所提到的衬底。在适用的情况下，本文中的公开可以应用于此类以及其他衬底处理工具。此外，例如为了生成多层ic，可以不止一次地处理衬底，使得本文中所使用的术语衬底也可以是指已经包含多个经处理层的衬底。
136.应理解，本文中的措辞或术语是为了描述而非限制的目的，使得本说明书的术语或措辞应由相关领域的技术人员根据本文的教导来解释。
137.本文中所使用的术语“衬底”描述了在其上添加材料层的材料。在一些实施例中，衬底本身可以被图案化，并且被添加在其顶部的材料也可以被图案化，或者可以保持不图案化。
138.以上和以下示例是本公开的实施例的说明而非限制。所属领域中通常遇到的各种条件和参数的其他合适修改和适应(其对于相关领域的技术人员来说将是显而易见的)在本公开的精神和范围内。
139.尽管在本文中可以具体参考根据实施例的设备和/或系统在ic制造中的使用，但是应当清楚地理解，这种设备和/或系统具有许多其他可能的应用。例如，它可以用于集成光学系统的制造、用于磁畴存储器的引导和检测图案、lcd面板、薄膜磁头等。本领域技术人员将理解，在这些备选应用的上下文中，本文中的术语“掩模板”、“晶片”或“管芯”的任何使用应被认为分别由更通用的术语“掩模”、“衬底”和“目标部分”替换。
140.虽然上面已经描述了本公开的特定实施例，但是应当理解，可以以不同于所描述的方式来实践这些实施例。该描述并不旨在限制这些实施例。
141.应当理解，详细描述部分而不是发明内容和摘要部分旨在用于解释权利要求。发明内容和摘要部分可以阐述发明人所设想的一个或多个但不是所有的示例性实施例，并且因此不旨在以任何方式限制本实施例和所附权利要求。
142.上面已经借助于示出特定功能及其关系的实现的功能构建块来描述一些实施例。为了便于描述，这些功能构建块的边界在本文中被任意定义。只要适当地执行指定的功能及其关系，就可以定义备选边界。
143.具体实施例的以上描述将充分揭示实施例的一般性质，使得其他人可以通过应用本领域技术内的知识容易地修改和/或适应此类具体实施例的各种应用，而无需过多实验，而不脱离本公开的一般概念。因此，基于本文中所呈现的教导和指导，这样的调整和修改旨在处于所公开的实施例的等效的含义和范围内。
144.本发明的其他方面在以下编号的条款中阐述。
145.1.一种光学脉冲展宽器，该光学脉冲展宽器被配置为接收激光束并且生成输出脉冲展宽激光束，该光学脉冲展宽器包括：
146.第一级光学脉冲展宽器，包括两个或更多个反射镜，并且被配置为接收激光束的部分并且生成第一脉冲展宽激光束；
147.第二级光学脉冲展宽器，包括四个或更多个反射镜，并且被配置为接收第一脉冲展宽激光束的部分并且生成第二脉冲展宽激光束；以及
148.第三级光学脉冲展宽器，包括四个或更多个反射镜，并且被配置为接收第二脉冲展宽激光束的部分并且生成输出脉冲展宽激光束。
149.2.根据条款1的光学脉冲展宽器，其中第一级光学脉冲展宽器的两个或更多个反射镜、第二级光学脉冲展宽器的四个或更多个反射镜、以及第三级光学脉冲展宽器的四个或更多个反射镜包括凹面反射镜。
150.3.根据条款1的光学脉冲展宽器，其中第一级光学脉冲展宽器被配置为：通过使用第一级光学脉冲展宽器的两个或更多个反射镜来将激光束的部分反射四次，生成第一脉冲展宽激光束。
151.4.根据条款3的光学脉冲展宽器，其中第二级光学脉冲展宽器被配置为：通过将第一脉冲展宽激光束的部分反射十二次来生成第二脉冲展宽激光束，并且第三级光学脉冲展宽器被配置为：通过将第二脉冲展宽激光束的部分反射十二次来生成输出脉冲展宽激光束。
152.5.根据条款1的光学脉冲展宽器，其中第二级光学脉冲展宽器被配置为：通过使用第二级光学脉冲展宽器的四个或更多个反射镜来将第一脉冲展宽激光束的部分反射十二次，生成第二脉冲展宽激光束。
153.6.根据条款1的光学脉冲展宽器，其中第三级光学脉冲展宽器被配置为：通过使用第三级光学脉冲展宽器的四个或更多个反射镜来将第二脉冲展宽激光束的部分反射十二次，生成输出脉冲展宽激光束。
154.7.根据条款1的光学脉冲展宽器，还包括：
155.第一分束器，对应于第一级光学脉冲展宽器，并且被配置为：接收激光束，并且将激光束的部分引导到第一级光学脉冲展宽器的两个或更多个反射镜。
156.8.根据条款7的光学脉冲展宽器，其中第一分束器被定位为与第一光学脉冲展宽器的两个或更多个反射镜中的第一反射镜更靠近，并且其中第一分束器是d形分束器。
157.9.根据条款7的光学脉冲展宽器，其中第一分束器相对于两个或多个反射镜的曲率中心来定位，以使第一级光学脉冲展宽器展平，并且使激光束的部分能够在第一级光学脉冲展宽器中在同一平面内传播。
158.10.根据条款7的光学脉冲展宽器，还包括：
159.第二分束器，对应于第二级光学脉冲展宽器，并且被配置为：接收第一脉冲展宽激
光束，并且将第一脉冲展宽激光束的部分引导到第二级光学脉冲展宽器的四个或更多个反射镜。
160.11.根据条款10的光学脉冲展宽器，其中第二分束器相对于第二级光学脉冲展宽器的四个或更多个反射镜的曲率中心来定位，以使第二级光学脉冲展宽器展平，并且使第一脉冲展宽激光束的部分能够在第二级光学脉冲展宽器中在同一平面内传播。
161.12.根据条款10的光学脉冲展宽器，还包括：
162.第三分束器，对应于第三级光学脉冲展宽器，并且被配置为：接收第二脉冲展宽激光束，并且将第二脉冲展宽激光束的部分引导到第三级光学脉冲展宽器的四个或更多个反射镜。
163.13.根据条款12的光学脉冲展宽器，其中第三分束器相对于第三级光学脉冲展宽器的四个或更多个反射镜的曲率中心来定位，以使第三级光学脉冲展宽器展平，并且使第二脉冲展宽激光束的部分能够在第三级光学脉冲展宽器中在同一平面内传播。
164.14.根据条款12的光学脉冲展宽器，其中：
165.第二分束器被定位为与第二光学脉冲展宽器的四个或更多个反射镜中的第一反射镜对更靠近，
166.第二分束器是d形分束器，
167.第三分束器被定位为与第三光学脉冲展宽器的四个或更多个反射镜中的第一反射镜对更靠近，以及
168.第三分束器是d形分束器。
169.15.根据条款1的光学脉冲展宽器，其中：
170.由第一级光学脉冲展宽器接收的激光束包括由正交级光学脉冲展宽器生成的脉冲展宽激光束，
171.正交级光学脉冲展宽器位于光学脉冲展宽器的外部，并且近似垂直于光学脉冲展宽器。
172.16.根据条款15的光学脉冲展宽器，其中正交级光学脉冲展宽器被配置为将激光束的部分反射四次。
173.17.一种激光源，包括：
174.光学脉冲展宽器，该光学脉冲展宽器被配置为接收激光束并且生成输出脉冲展宽激光束，该光学脉冲展宽器包括：
175.第一级光学脉冲展宽器，包括两个或更多个反射镜，并且被配置为接收激光束的部分并且生成第一脉冲展宽激光束；
176.第二级光学脉冲展宽器，包括四个或更多个反射镜，并且被配置为接收第一脉冲展宽激光束的部分并且生成第二脉冲展宽激光束；以及
177.第三级光学脉冲展宽器，包括四个或更多个反射镜，并且被配置为接收第二脉冲展宽激光束的部分并且生成输出脉冲展宽激光束。
178.18.一种光刻设备，包括：
179.照射系统，被配置为调节辐射束；
180.支撑结构，被配置为支撑图案形成装置；
181.衬底台，配置为保持衬底；以及
182.投影系统，被配置为将由图案形成装置赋予辐射束的图案投影到衬底的目标部分上，
183.其中照射系统包括激光源，该激光源包括光学脉冲展宽器，该光学脉冲展宽器被配置为接收激光束并且生成输出脉冲展宽激光束，该光学脉冲展宽器包括：
184.第一级光学脉冲展宽器，包括多个第一共焦谐振器，并且被配置为接收激光束的部分并且生成第一脉冲展宽激光束；
185.第二级光学脉冲展宽器，包括多个第二共焦谐振器，并且被配置为接收第一脉冲展宽激光束的部分并且生成第二脉冲展宽激光束；以及
186.第三级光学脉冲展宽器，包括多个第三共焦谐振器，并且被配置为接收第二脉冲展宽激光束的部分并且生成输出脉冲展宽激光束。
187.19.根据条款18的光刻设备，其中：
188.多个第一共焦谐振器包括两个或更多个凹面反射镜，
189.多个第二共焦谐振器包括四个或更多个凹面反射镜，以及
190.多个第三共焦谐振器包括四个或更多个凹面反射镜。
191.20.根据条款18的光刻设备，其中：
192.第一级光学脉冲展宽器具有第一光学延迟，
193.第二级光学脉冲展宽器具有第二光学延迟，该第二光学延迟等于或大于第一光学延迟，以及
194.第三级光学脉冲展宽器具有第三光学延迟，该第三光学延迟等于或大于第二光学延迟。
195.21.根据条款18的光刻设备，其中：
196.第一级光学脉冲展宽器被配置为：通过将激光束的部分反射四次来生成第一脉冲展宽激光束，
197.第二级光学脉冲展宽器被配置为：通过将第一脉冲展宽激光束的部分反射十二次来生成第二脉冲展宽激光束，以及
198.第三级光学脉冲展宽器被配置为：通过将第二脉冲展宽激光束的部分反射十二次来生成输出脉冲展宽激光束。
199.22.根据条款18的光刻设备，其中激光源还包括：
200.正交级光学脉冲展宽器，被配置为将激光束引导到光学脉冲展宽器，正交级光学脉冲展宽器位于光学脉冲展宽器的外部并且近似垂直于光学脉冲展宽器。
201.23.根据条款22的光刻设备，其中正交级光学脉冲展宽器包括四个圆形凹面反射镜。
202.24.根据条款22的光刻设备，还包括：
203.光束中继器，被配置为：接收输出脉冲展宽激光束，并且从激光源输出该输出脉冲展宽激光束。
204.25.一种光学脉冲展宽器，该光学脉冲展宽器被配置为接收激光束并且生成输出脉冲展宽激光束，该光学脉冲展宽器包括：
205.在光学脉冲展宽器中堆叠的两个或更多个共焦光学脉冲展宽器，
206.其中两个或更多个共焦光学脉冲展宽器中的第一共焦光学脉冲展宽器被配置为：
接收激光束的部分，并且通过将激光束的部分反射四次来生成第一脉冲展宽激光束，并且
207.两个或更多个共焦光学脉冲展宽器中的第二共焦光学脉冲展宽器被配置为：接收第一脉冲展宽激光束的部分，并且通过将第一脉冲展宽激光束的部分反射十二次来生成第二脉冲展宽激光束。
208.26.根据条款25的光学脉冲展宽器，其中
209.两个或更多个共焦光学脉冲展宽器中的第一共焦光学脉冲展宽器具有第一光学延迟，并且
210.两个或多个共焦光学脉冲展宽器中的第二共焦光学脉冲展宽器具有第二光学延迟，该第二光学延迟等于或大于第一光学延迟。
211.27.一种扩展的光学脉冲展宽器，包括：
212.第一级光学脉冲展宽器，包括多个第一共焦谐振器，并且被配置为接收激光束并且生成第一脉冲展宽激光束；
213.堆叠的共焦脉冲展宽器，包括：
214.第二级光学脉冲展宽器，包括多个第二共焦谐振器，并且被配置为接收第一脉冲展宽激光束的部分并且生成第二脉冲展宽激光束；
215.第三级光学脉冲展宽器，包括多个第三共焦谐振器，并且被配置为接收第二脉冲展宽激光束的部分并且生成第三脉冲展宽激光束；
216.第四级光学脉冲展宽器，包括多个第四共焦谐振器，并且被配置为接收第三脉冲展宽激光束的部分并且生成输出脉冲展宽激光束，
217.其中第一级光学脉冲展宽器被定位为近似垂直于堆叠的共焦脉冲展宽器。
218.28.根据条款27的扩展的光学脉冲展宽器，其中：
219.第一级光学脉冲展宽器具有第一光学延迟，
220.第二级光学脉冲展宽器具有第二光学延迟，该第二光学延迟等于或大于第一光学延迟，
221.第三级光学脉冲展宽器具有第三光学延迟，该第三光学延迟等于或大于第二光学延迟，以及
222.第四级光学脉冲展宽器具有第四光学延迟，该第四光学延迟等于或大于第二光学延迟。
223.29.根据条款27的扩展的光学脉冲展宽器，其中：
224.第一级光学脉冲展宽器被配置为：接收激光束的部分，并且通过将激光束的部分反射四次来生成第一脉冲展宽激光束。
225.第二级光学脉冲展宽器被配置为：接收激光束的部分，并且通过将激光束的部分反射四次来生成第二脉冲展宽激光束。
226.第三级光学脉冲展宽器被配置为：接收激光束的部分，并且通过将激光束的部分反射十二次来生成第三脉冲展宽激光束，以及
227.第四级光学脉冲展宽器被配置为：接收激光束的部分，并且通过将激光束的部分反射十二次来生成第四脉冲展宽激光束。
228.30.一种方法，包括：
229.生成激光束；以及
230.将激光束引导通过光学脉冲展宽器，该光学脉冲展宽器包括：
231.第一级光学脉冲展宽器，包括多个第一共焦谐振器，并且被配置为接收激光束的部分并且生成第一脉冲展宽激光束；
232.第二级光学脉冲展宽器，包括多个第二共焦谐振器，并且被配置为接收第一脉冲展宽激光束的部分并且生成第二脉冲展宽激光束；以及
233.第三级光学脉冲展宽器，包括多个第三共焦谐振器，并且被配置为接收第二脉冲展宽激光束的部分并且生成输出脉冲展宽激光束。
234.31.根据条款30的方法，其中光学脉冲展宽器还包括正交级光学脉冲展宽器，该正交级光学脉冲展宽器被配置为将激光束引导到第一级光学脉冲展宽器，该正交级光学脉冲展宽器被定位为近似垂直于第一级光学脉冲展宽器、第二级光学脉冲展宽器和第三级光学脉冲展宽器。
235.本公开的宽度和范围不应受任何上述示例性实施例的限制，而应仅根据所附权利要求及其等效来限定。