技术特征：
1.一种用于制造全息光学元素（10）的装置（1），其包括：
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至少两个部分光束（3a、3b）和干涉光束（7），
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针对每个部分光束（3a、3b）的相应的可变形的镜子（4a、4b），
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控制装置（5），该控制装置设计用于操纵所述可变形的镜子（4a、4b）以便调整部分光束（2a、3b）的波前，和
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全息膜（8），
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其中所述可变形的镜子（4a、4b）如此布置，以便分别反射刚好一个部分光束（3a、3b），并且将反射的部分光束（3d、3e）对准所述全息膜（8），并且
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其中所述干涉光束（7）对准所述全息膜（8），以便与反射的部分光束（3d、3e）发生干涉，用以同时产生至少两个全息光学元素（10）。2.根据权利要求1所述的装置，其此外包括分色镜（9），以便汇聚多个部分光束（3d、3e）。3.根据前述权利要求中任一项所述的装置，其中所述控制装置（5）设计用于，基于要制造的全息光学元素（10）的光学特性和/或基于制造公差和/或基于所述全息膜（8）的材料特性来操纵所述可变形的镜子（4a、4b）。4.根据前述权利要求中任一项所述的装置，其此外包括聚焦元件（11），所述聚焦元件布置在可变形的镜子（4a、4b）和全息膜（8）之间，其中所述聚焦元件（11）如此布置和设计，以便在聚焦元件（11）和全息膜（8）之间产生中间焦点（12）。5.根据前述权利要求中任一项所述的装置，其此外包括隔板（13），所述隔板布置在所述全息膜（8）的镜侧。6.根据权利要求5所述的装置，其中所述隔板（13）具有标记开口（13b），用以在所述全息膜（8）上产生全息位置标记（10a）。7.根据权利要求5所述的装置，其中所述隔板（13）的面对全息膜（8）的侧面（13c）构造为反射的，用以通过干涉光束（7）在隔板（13）处的反射而在全息膜（8）上产生全息位置标记（10a）。8.一种用于制造全息光学元素（10）的方法，
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其中产生至少两个部分光束（3a、3b）和干涉光束（7），
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其中每个部分光束（3a、3b）分别在可变形的镜子（4a、4b）上被反射，
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其中反射的部分光束（3d、3e）同时照射到全息膜（8）上，
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其中，反射的部分光束（3d、3e）在所述全息膜（8）中与干涉光束（7）发生干涉，以便同时产生至少两个全息光学元素（10），并且
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其中可变形的镜子（4a、4b）发生变形，用以调整相应的部分光束（3a、3b）的波前。9.根据权利要求8所述的方法，其中多个部分光束（3d、3e）借助分色镜（9）来汇聚。10.根据权利要求8或9中任一项所述的方法，其中可变形的镜子（4a、4b）基于要制造的全息光学元素（10）的光学特性和/或基于制造公差和/或基于全息膜（8）的材料特性来变形。11.根据权利要求8至10中任一项所述的方法，其中借助于聚焦元件（11），在可变形的镜子（4a、4b）和全息膜（8）之间产生中间焦点（12）。12.根据权利要求8至11中任一项所述的方法，其中借助于布置在所述全息膜（8）的镜
侧的、具有标记开口（13b）的隔板（13），在全息膜（8）上产生全息位置标记（10a）。13.根据权利要求8至11中任一项所述的方法，其中通过所述干涉光束（7）在布置在全息膜（8）的镜侧的隔板（13）处的反射，在全息膜（8）上产生全息位置标记（10a）。14.一种用于处理全息光学元素（10）的方法，所述全息光学元素通过根据权利要求6或7中任一项所述的装置（1）或通过根据权利要求12或13中任一项所述的方法来制造，其中基于全息位置标记（10a）的光学识别来切割和/或定位所述全息光学元素（10）。
技术总结
本发明涉及一种用于制造全息光学元素（10）的装置（1）和方法。装置（l）包括至少两个部分光束（3a、3b）和干涉光束（7）、针对每个部分光束（3a、3b）的相应的可变形的镜子（4a、4b）、设计用于操纵可变形的镜子（4a、4b）以便调整部分光束（2a、3b）的波前的控制装置（5）、以及全息膜（8），其中可变形的镜子（4a、4b）布置为，使得反射相应刚好一个部分光束（3a、3b），并且将反射的部分光束（3d、3e）对准全息膜（8），并且其中干涉光束（7）对准全息膜（8），以便与反射的部分光束（3d、3e）发生干涉，用以同时产生至少两个全息光学元素（10）。息光学元素（10）。息光学元素（10）。
技术研发人员：R
受保护的技术使用者：罗伯特
技术研发日：2020.11.05
技术公布日：2022/7/29