技术特征：
1.一种掩模版预对准系统，其特征在于，包括：预对准模块、传送模块、偏移量检测模块；所述偏移量检测模块分别与所述预对准模块和所述传送模块连接；所述传送模块用于将所述掩模版从所述预对准模块传输至工作台；所述偏移量检测模块用于所述掩模版在所述预对准模块展平后，检测所述掩模版的偏移量，所述偏移量至少包括所述掩模版相对于参考平面的旋转偏移量和在设定方向上的距离偏移量，并将所述旋转偏移量发送至所述预对准模块以及将所述距离偏移量发送至所述传送模块；所述预对准模块用于根据所述旋转偏移量调整所述掩模版的位置，以对所述旋转偏移量进行补偿；所述传送模块还用于根据所述距离偏移量调整所述掩模版的位置，以对所述距离偏移量进行补偿。2.根据权利要求1所述的掩模版预对准系统，其特征在于，所述预对准模块包括支撑板，所述支撑板的设定表面划分为中心放置区和边缘吸附区，所述边缘吸附区至少位于所述中心放置区的相对两侧；所述边缘吸附区包括吸附结构，所述吸附结构用于对所述掩模版进行吸附以使所述掩模版在所述设定表面展平。3.根据权利要求2所述的掩模版预对准系统，其特征在于，所述吸附结构包括吸附接头以及包括多个第一吸附孔的吸附本体，所述吸附本体设置于所述支撑板的设定表面；所述支撑板中包括气道，所述吸附接头通过所述支撑板中的气道与所述第一吸附孔连通。4.根据权利要求3所述的掩模版预对准系统，其特征在于，所述第一吸附孔的孔径为2-20微米，所述第一吸附孔在所述边缘吸附区均匀分布。5.根据权利要求2所述的掩模版预对准系统，其特征在于，在所述边缘吸附区，所述支撑板的开设有多个第二吸附孔，所述吸附结构包括所述第二吸附孔和吸附接头，所述吸附接头与所述第二吸附孔连通；优选的，所述第二吸附孔的直径大于15微米；优选的，所述第二吸附孔均匀排布。6.根据权利要求2所述的掩模版预对准系统，其特征在于，所述预对准模块还包括第一控制单元和驱动单元，所述第一控制单元分别与所述偏移量检测模块和所述驱动单元电连接，所述驱动单元与所述支撑板连接；所述第一控制单元用于根据所述旋转偏移量向所述驱动单元发送第一控制信号，以使所述驱动单元驱动所述支撑板转动以调整所述掩模版的位置。7.根据权利要求1所述的掩模版预对准系统，其特征在于，所述传送模块包括第二控制单元和抓取单元，所述第二控制单元分别与所述偏移量检测模块和所述抓取单元电连接，所述第二控制单元根据所述距离偏移量向所述抓取单元发送第二控制信号，以使所述抓取单元在抓取所述掩模版后在所述设定方向上调整所述掩模版的位置。8.根据权利要求1所述的掩模版预对准系统，其特征在于，所述设定方向为与所述预对准模块指向所述工作台的方向垂直的方向。9.一种掩模版预对准方法，其特征在于，包括：
在所述掩模版在预对准模块展平后，偏移量检测模块检测所述掩模版的偏移量，所述偏移量至少包括所述掩模版相对于参考平面的旋转偏移量和在所述参考平面的设定方向上的距离偏移量，并将所述旋转偏移量发送至所述预对准模块以及将所述距离偏移量发送至传送模块；预对准模块根据所述旋转偏移量调整所述掩模版的位置，以对所述旋转偏移量进行补偿；传送模块根据所述距离偏移量调整所述掩模版的位置，以对所述距离偏移量进行补偿。10.根据权利要求9所述的掩模版预对准方法，其特征在于，在所述掩模版在预对准模块展平后，偏移量检测模块检测所述掩模版的偏移量之前，还包括：所述传送模块夹取所述掩模版张紧后放置于所述预对准模块的支撑板的设定表面；吸附结构对所述掩模版进行吸附以使所述掩模版在所述设定表面展平；所述传送模块释放所述掩模版。11.根据权利要求9所述的掩模版预对准方法，其特征在于，在所述传送模块根据所述距离偏移量调整所述掩模版的位置，以对所述距离偏移量进行补偿之前，还包括：所述传送模块夹取所述掩模版；吸附结构停止对所述掩模版的吸附。12.根据权利要求10所述的掩模版预对准方法，其特征在于，所述预对准模块还包括第一控制单元和驱动单元；所述预对准模块根据所述旋转偏移量调整所述掩模版的位置，以对所述旋转偏移量进行补偿，包括：所述第一控制单元根据所述旋转偏移量向所述驱动单元发送第一控制信号，以使所述驱动单元驱动所述支撑板转动以调整所述掩模版的位置。13.根据权利要求9-11任一项所述的掩模版预对准方法，其特征在于，所述传送模块包括第二控制单元和抓取单元；所述传送模块根据所述距离偏移量调整所述掩模版的位置，以对所述距离偏移量进行补偿，包括：所述第二控制单元根据所述距离偏移量向所述抓取单元发送第二控制信号，以使所述抓取单元在抓取所述掩模版后在所述设定方向上调整所述掩模版的位置。14.根据权利要求10所述的掩模版预对准方法，其特征在于，在所述传送模块根据所述距离偏移量调整所述掩模版的位置，以对所述距离偏移量进行补偿之后，还包括：所述传送模块将所述掩模版放置于所述支撑板的设定表面，所述吸附结构对所述掩模版进行吸附，所述传送模块释放所述掩模版；所述偏移量检测模块检测所述旋转偏移量和所述距离偏移量是否满足设定要求，在所述旋转偏移量不满足设定要求时，返回执行所述预对准模块根据所述旋转偏移量调整所述掩模版的位置，以对所述旋转偏移量进行补偿及其后续步骤；在所述距离偏移量不满足设定要求时，返回执行传送模块根据所述距离偏移量调整所述掩模版的位置，以对所述距离偏移量进行补偿及其后续步骤。15.一种张网设备，其特征在于，包括权利要求1-8任一项所述的掩模版预对准系统。
技术总结
本发明实施例公开一种掩模版预对准系统和方法、张网设备，其中掩模版预对准系统包括预对准模块、传送模块、偏移量检测模块；偏移量检测模块用于掩模版在预对准模块展平后，检测掩模版的偏移量；预对准模块用于根据旋转偏移量调整掩模版的位置，以对旋转偏移量进行补偿；传送模块还用于根据距离偏移量调整掩模版的位置，以对距离偏移量进行补偿。本发明技术方案，偏移量检测模块检测掩模版的偏移量在掩模版展平之后进行检测，可以避免因掩模版褶皱等情况对掩模版的偏移量检测的影响，保证对掩模版的偏移量检测的准确性。掩模版预对准系统不但可以实现对旋转偏移量的补偿，还可实现对设定方向上的距离偏移量的补偿，进而提高掩模版预对准的精度。版预对准的精度。版预对准的精度。
技术研发人员：吴福龙
受保护的技术使用者：上海微电子装备(集团)股份有限公司
技术研发日：2021.02.09
技术公布日：2022/8/16