具有快拆式支撑机构的光掩膜盒的制作方法

1.本发明是有关于一种光掩膜盒，尤其是具有快拆式支撑机构的光掩膜盒。


背景技术：

2.在半导体产业中，光掩膜于制程中移动的时候，置于光掩膜传送盒内进行传送。当光掩膜置于光掩膜盒内时，用于支撑光掩膜的支撑机构的抵持光掩膜的斜面、球体或支柱由于碰撞而造成抵持面磨损，造成支撑机构的磨损产生微粒，且当磨损严重时仅能更换光掩膜盒，造成资源浪费的情况产生。
3.因此，需要一种光掩膜盒，来解决上述支撑机构的磨损产生微粒以及资源浪费和成本的问题。


技术实现要素：

4.本发明提供一种具有快拆式支撑机构的光掩膜盒，以解决抵持光掩膜的抵持面磨损而产生微粒和造成资源浪费的问题。
5.本发明提供一种具有快拆式支撑机构的光掩膜盒包含下盖及支撑机构。其中，下盖具有一承载面及自该承载面上凸出的多个固定座；支撑机构具有朝上方延伸并用于支撑光掩膜的支撑部及相对于该支撑部的固定部，其中固定部与对应的固定座能拆卸地连接，使支撑机构能选择性地安装于下盖。
6.在一实施例中，固定部具有至少一弹性接脚，且该弹性接脚的末端具有至少一卡持部，固定座具有至少一槽，该槽配置成接收并稳固容置弹性接脚的卡持部。
7.在一实施例中，固定部配置成与固定座能锁固地连接，其中固定座为自该承载面朝上延伸的一固定柱(螺纹柱)。
8.在一实施例中，固定部配置成与固定座公母连接防止支撑机构相对于固定座旋转，其中固定部为一母连接部，固定座为一公连接部。
9.在一实施例中，固定部有一螺旋纹路，固定柱上有另一螺旋纹路。
10.在一实施例中，支撑部包含至少一第一支撑柱用于接触光掩膜的底面以及至少一第二支撑柱用于限制光掩膜的侧部位移。
11.本发明提供另一种具有快拆式支撑机构的光掩膜盒包含上盖、下盖、至少一第一支撑机构及至少一第二支撑机构。其中，上盖具有一抵接面及分布于该抵接面上的多个上盖固定座；下盖具有一承载面及分布于该承载面上的多个下盖固定座；第一支撑机构具有朝上方延伸并用于支撑一光掩膜的底部或一光掩膜载具的底部的一支撑部及相对于该支撑部的一固定部，其中该固定部与对应的下盖固定座能拆卸地连接，使该支撑机构能选择性地安装于该下盖；第二支撑机构具有用于抵接一光掩膜的顶部或一光掩膜载具的顶部的一抵接部及衔接于该抵接部的一连接部，其中该连接部与对应的上盖固定座能拆卸地连接，使该第二支撑机构能选择性地安装于该上盖。
12.在一实施例中，每一上盖固定座具有多个翼状突出，且与该对应的连接部耦合。
13.在一实施例中，第二支撑机构的连接部具有一开口，该开口具有允许上盖固定座进入或离开的一第一通道及允许该上盖固定座相对该开口旋转的一第二通道。
14.在一实施例中，开口具有至少一第一凸肋，该上盖固定座具有至少一第二凸肋，该开口的形状配置成允许沿着一第一旋转方向的该第二凸肋滑过该第一凸肋但禁止该第二凸肋沿着一第二旋转方向转动。
15.本发明提供另一种具有快拆式支撑机构的光掩膜盒包含上盖、下盖及支撑机构。其中，上盖有一抵接面及分布于该抵接面上的多个上盖固定座；下盖具有一承载面及分布于该承载面上的多个下盖固定座；至少一支撑机构，用于支撑一光掩膜的顶部或底部、或一光掩膜载具的顶部或底部，该支撑机构可以与该上盖固定座或该下盖固定座能旋转地拆卸连接(rotatably detachably connected)。
16.在一实施例中，每一个上盖固定座具有多个翼状突出。
17.在一实施例中，支撑机构具有用于抵接一光掩膜的顶部的一抵接部及衔接于该抵接部的一连接部，该连接部具有一开口，该开口具有允许该上盖固定座进入或离开的一第一通道及允许该上盖固定座相对该开口旋转的一第二通道。
18.在一实施例中，开口具有至少一第一凸肋，该上盖固定座具有至少一第二凸肋，该开口形状配置成允许沿着一第一旋转方向的该第二凸肋滑过该第一凸肋但禁止该第二凸肋沿着一第二旋转方向转动。
19.在一实施例中，支撑机构具有朝上方延伸并用于支撑一光掩膜的底部的一支撑部及相对于该支撑部的一固定部。
20.在一实施例中，每一个下盖固定座具有一开口，该开口具有允许该支撑机构的固定部进入或离开的一第一通道及允许该支撑机构的固定部相对该开口旋转的一第二通道。
21.在一实施例中，用于支撑该光掩膜的支撑机构具有一第一倾斜面、一第二倾斜面及一第三倾斜面，该第一倾斜面和该第二倾斜面用于接触该光掩膜，该第三倾斜面连接于该第一倾斜面和该第二倾斜面之间用于排除自该第一倾斜面和该第二倾斜面落下的粒子。
22.在一实施例中，第三倾斜面具有至少两个倾斜面。
23.本发明提供另一种具有快拆式支撑机构的光掩膜盒包含上盖、下盖、至少一第一支撑机构及至少一第二支撑机构。其中，上盖具有一抵接面及分布于该抵接面上的多个上盖固定座；下盖具有一承载面及分布于该承载面上的多个下盖固定座；第一支撑机构具有朝上方延伸并用于支撑一光掩膜或一光掩膜载具的一支撑部及相对于该支撑部的一固定部，其中该固定部与对应的下盖固定座能拆卸地连接，使该第一支撑机构可选择性地安装于该下盖，其中该固定部配置成与该固定座公母连接；第二支撑机构具有用于抵接一光掩膜的顶部的一抵接部及衔接于该抵接部的一连接部，其中该连接部与对应的上盖固定座能拆卸地连接，使该第二支撑机构能选择性地安装于该上盖，其中该固定部配置成与该固定座公母连接。
24.在一实施例中，每一个上盖固定座具有多个翼状突出，该第二支撑机构的连接部具有一开口，该开口具有允许该多个翼状突出进入或离开的一第一通道及允许该多个翼状突出相对该开口旋转的一第二通道。
25.在一实施例中，第一支撑机构的固定部与下盖固定座的公母连接防止第一支撑机构相对于下盖固定座旋转。
26.在一实施例中，第一支撑机构具有一横向延伸部、第一倾斜臂和第二倾斜臂，其中第一倾斜臂和第二倾斜臂分别支撑光掩膜或光掩膜载具。
27.本发明提供另一种具有快拆式支撑机构的光掩膜盒包含上盖，其中，上盖具有一抵接面及分布于该抵接面上的多个上盖固定座；支撑机构具有用于抵接光掩膜的顶部的抵接部及衔接于该抵接部的连接部，其中连接部与对应的上盖固定座能拆卸地连接，使支撑机构能选择性地安装于上盖。
28.在一实施例中，每一个上盖固定座具有多个翼状突出，且与该对应的连接部耦合。
29.在一实施例中，支撑机构的连接部具有一开口，该开口具有允许上盖固定座进入或离开的第一通道及允许上盖固定座相对该开口旋转的第二通道。
30.在一实施例中，该开口具有至少一第一凸肋，该上盖固定座具有至少一第二凸肋，该开口形状配置成允许沿着第一旋转方向的该第二凸肋滑过该第一凸肋但禁止该第二凸肋沿着第二旋转方向转动。
31.与现有技术相比，本发明的优点如下：
32.本发明提供的具有快拆式支撑机构的光掩膜盒，能有效解决抵持光掩膜的抵持面磨损而产生微粒和造成资源浪费的问题。
附图说明
33.附图所示的结构大小比例并不限制本发明的实际实施。
34.图1为根据本发明的具有快拆式支撑机构的光掩膜盒(上盖移除)与光掩膜的关系示意图。
35.图2为根据本发明一实施例的具有快拆式支撑机构的光掩膜盒的支撑机构的局部放大示意图。
36.图3为根据本发明另一实施例的具有快拆式支撑机构的光掩膜盒的支撑机构的局部放大示意图。
37.图4为根据本发明又一实施例的具有快拆式支撑机构的光掩膜盒的支撑机构的局部放大示意图。
38.图5为根据本发明一实施例的具有快拆式支撑机构的光掩膜盒的外观的立体图。
39.图6a为根据本发明一实施例的具有快拆式支撑机构的光掩膜盒的外观的俯视图。
40.图6b为图6a的aa线段横截面示意图。
41.图7为图6b的具有快拆式支撑机构的光掩膜盒的支撑机构的局部截面放大图。
42.图8显示本发明具有快拆式支撑机构的光掩膜盒的上盖支撑机构与上盖固定座分离。
43.图9a为本发明具有快拆式支撑机构的光掩膜盒的上盖在第一状态的仰式图。
44.图9b为图9a其中一上盖支撑机构的局部放大图。
45.图9c为图9a的上盖支撑机构的bb线段横截面局部截面图。
46.图10a为本发明具有快拆式支撑机构的光掩膜盒的上盖在第二状态的仰式图。
47.图10b图为图10a其中一上盖支撑机构的局部放大的仰式图。
48.图10c为图10a的上盖支撑机构的cc线段横截面局部截面图。
49.图11为根据本发明另一实施例的具有快拆式支撑机构的光掩膜盒(上盖移除)与
光掩膜的立体图。
50.图12a为图11的dd线段中的支撑机构的一实施例的横截面图。
51.图12b为图11的dd线段中的支撑机构的另一实施例的横截面图。
52.图12c为图11的dd线段中的支撑机构的又一实施例的横截面图。
53.图13a为根据本发明又一实施例的具有快拆式支撑机构的光掩膜盒(上盖移除)与光掩膜的立体图。
54.图13b为图13a的支撑机构的立体图(组装前)。
55.图13c为图13a的ee线段中的支撑机构的横截面图。
56.图14a至图14c为下盖支撑机构安装于下盖的固定部的过程。
57.图14d至图14f为下盖支撑机构安装于下盖的固定部的过程的横截面图。
58.图15a为根据本发明又一实施例的具有快拆式支撑机构的光掩膜盒(上盖移除)与光掩膜的正视图。
59.图15b为图15a的局部放大，显示下盖支撑机构与光掩膜的接触。
60.图15c为本发明中下盖支撑机构与光掩膜的另一截面视角。
61.图15d为本发明中下盖支撑机构的局部立体图。
62.图16a为根据本发明又一实施例的具有快拆式支撑机构的光掩膜盒(上盖移除)与光掩膜载具的立体图。
63.图16b为图16a的正视图。
64.图16c为本发明具有快拆式支撑机构的光掩膜盒的下盖支撑机构的立体图。
65.图16d为本发明具有快拆式支撑机构的光掩膜盒的下盖与下盖支撑机构的立体图。
66.图16e为根据图16a的ff线段的下盖支撑机构截面图。
67.附图标号说明：
68.10、光掩膜；
69.100、光掩膜盒；
70.120、下盖；
71.122、承载面；
72.124、固定座；
73.125、帽部；
74.140、支撑机构；
75.142、支撑部；
76.143a、第一支撑柱；
77.143b、第二支撑柱；
78.144、固定部；
79.145、弹性接脚；
80.146、卡持部；
81.147、槽；
82.500、光掩膜盒；
83.520、下盖；
84.522、承载面；
85.524、下盖固定座；
86.540、下盖支撑机构；
87.542、支撑部；
88.544、固定部；
89.560、上盖；
90.562、抵接面；
91.564、上盖固定座；
92.565a、翼状突出；
93.565b、翼状突出；
94.580、上盖支撑机构；
95.582、抵接部；
96.583、连接部；
97.584、开口；
98.586、第一凸肋；
99.588、第二凸肋；
100.589、止挡块；
101.600、光掩膜盒；
102.620、下盖；
103.624、下盖固定座；
104.640、下盖支撑机构；
105.642、支撑部；
106.644、固定部；
107.645、弹性接脚；
108.646、卡持部；
109.647、定位结构；
110.700、光掩膜盒；
111.720、下盖；
112.724、下盖固定座；
113.725、开口；
114.740、下盖支撑机构；
115.742、支撑部；
116.744、固定部；
117.800、光掩膜盒；
118.820、下盖；
119.840、下盖支撑机构；
120.841、第一壁；
121.841a、第一倾斜面；
122.842、第二壁；
123.842a、第二倾斜面；
124.843、第三倾斜面；
125.900、光掩膜盒；
126.901、光掩膜载具；
127.920、下盖；
128.940、下盖支撑机构；
129.941、横向延伸部；
130.942a、第一倾斜臂；
131.942b、第二倾斜臂；
132.aa、线段；
133.bb、线段；
134.cc、线段；
135.dd、线段；
136.ee、线段；
137.ff、线段；
138.r1、第一旋转方向；
139.r2、第二旋转方向；
140.r3、旋转方向。
具体实施方式
141.为了对本发明的技术方案、目的和效果有更清楚的理解，现结合附图说明本发明的具体实施方式。
142.本发明提供一种光掩膜盒，特别是一种具有快拆式支撑机构的光掩膜盒。现在将参考本发明的附图详细描述实施例。在该附图中，相同及/或对应元件以相同参考符号表示。
143.在此将揭露各种实施例；然而，要了解到所揭露的实施例只用于作为可体现为各种形式的例证。此外，连接各种实施例所给予的每一范例都预期作为例示，而非用于限制。进一步的，该附图并不一定符合尺寸比例，一些特征被放大以显示特定元件的细节(且该附图中所示的任何尺寸、材料与类似细节都预期仅为例示而非限制)。因此，在此揭露的特定结构与功能细节并不被解释作为限制，而只是用于教导相关领域技术人员实作所揭露的实施例的基础。
144.图1为根据本发明的光掩膜盒100与光掩膜10的示意图，尤其示意光掩膜10被容置在光掩膜盒100(未显示上盖)中的情况。光掩膜盒100包含下盖120及支撑机构140，其以一可拆卸手段与下盖120连接，详细实施例说明如后。其中，下盖120具有一承载面122及分布于承载面122上的多个固定座124，用于连接支撑机构140。这些固定座124和支撑机构140将光掩膜10抬升于承载面122的上方。
145.图2为根据本发明一实施例的光掩膜盒100的支撑机构140的局部放大示意图。支撑机构140具有朝上方延伸并用于支撑光掩膜10的一支撑部142及相对于支撑部142且面向下盖120的一固定部144，其中固定部144与对应的固定座124可拆卸地连接，使支撑机构140
可选择性地安装于下盖120。在该实施例中，固定部144具有两个弹性接脚145，且弹性接脚145的末端各自具有卡持部146。固定座124具有两个槽147，这些槽147配置成接收并稳固容置弹性接脚145的卡持部146。例如，固定座124可提供有滑槽，其供支撑机构140的弹性接脚145的卡持部146能沿着固定座124的表面滑入对应的槽147。支撑机构140可提供有一按压机制，其可操作而使弹性接脚145的卡持部146可脱离对应的槽147，且该卡持部146可为钩状或其他构型。
146.图3为一种根据本发明另一实施例的光掩膜盒100的支撑机构140的局部放大示意图。支撑机构140具有朝上方延伸并用于支撑光掩膜10的一支撑部142及相对于支撑部142且面向下盖120的一固定部144，其中固定部144与对应的固定座124可拆卸地连接，使支撑机构140可选择性地安装于下盖120。固定部144配置成与固定座124可锁固地连接，其中固定座124为自该承载面122朝上延伸的一固定柱，且在该固定柱的顶端提供有一帽部125。支撑机构140的固定部144与帽部125配合连接。例如，固定部144与帽部125具有相匹配的构形，使固定部144可套于帽部125上并因所述构形而限制固定部144无法被转动。可替代地，固定部144与帽部125的连接可为通过摩擦力的连接。
147.在其他实施例中，固定部144还可以具有螺旋纹路，相对应的固定座124或帽部125上有另一螺旋纹路，可以与固定部144上的螺旋纹路耦合。
148.图4为根据本发明又一实施例的光掩膜盒100的支撑机构140的局部放大示意图。同样地，支撑机构140具有朝上方延伸并用于支撑光掩膜10的支撑部142及相对于支撑部142的固定部144，其中固定部144与对应的固定座124可拆卸地连接，使支撑机构140可选择性地安装于下盖120。固定部144配置成与固定座124公母连接，其中固定部144为一母连接部，固定座124为一公连接部。然而，此配置也可以是相反的情况。与图3实施例相似，所述母连接部和公连接部可具有相匹配的构形，使固定部144无法相对于固定座124转动。
149.参阅图2至图4，在一实施例中，支撑部142还包含至少第一支撑柱143a用于接触光掩膜10的底面以及以至少一第二支撑柱143b用于限制该光掩膜10的侧部位移，但本发明并不限于支撑柱的数量。
150.图5为一实施例的光掩膜盒500的外观立体图。光掩膜盒500可为一光掩膜外盒，用于容置一光掩膜内盒或一光掩膜载具。图6a为光掩膜盒500的外观俯视图，图6b为图6a的aa线段横截面图。同时参阅图5、图6a及图6b，显示了光掩膜盒500与光掩膜10的关系，一光掩膜10被容置在光掩膜盒500中，光掩膜盒500包含下盖520、下盖支撑机构540、上盖560及上盖支撑机构580，其中上盖560和下盖520定义光掩膜盒500的一容置空间。可替代地，光掩膜盒500除了容置光掩膜10也可配置成容置光掩膜内盒或其他类型的载具(如光掩膜护膜包装容器)。下盖520具有一承载面522及分布于该承载面522上的多个下盖固定座524。下盖支撑机构540以一可拆卸手段与下盖520的下盖固定座524连接，下盖支撑机构540用于支撑光掩膜10底部。上盖560具有一抵接面562及分布于该抵接面562上的多个上盖固定座564。上盖支撑机构580以一可拆卸手段与上盖560的上盖固定座564连接，上盖支撑机构580用于抵接光掩膜10顶部。
151.图7为图6b的光掩膜盒500截面图的另一视角，可见收容的光掩膜10被限制于下盖支撑机构540和上盖支撑机构580之间。下盖支撑机构540具有朝上方延伸并用于支撑光掩膜10的一支撑部542及相对于支撑部542且面向下盖520的一固定部544，其中固定部544与
对应的下盖固定座524可拆卸地连接，使下盖支撑机构540可选择性地安装于下盖520。在该实施例中，固定部544配置成与下盖固定座524可锁固地连接，其中，固定部544还可以具有螺旋纹路，相对应的下盖固定座524上有另一螺旋纹路，可以与固定部544上的螺旋纹路耦合。
152.图8显示上盖支撑机构580与上盖固定座564呈分离。上盖560具有一抵接面562及分布于该抵接面562上的多个上盖固定座564。抵接面562为上盖560内侧的一朝下表面，且朝下表面不与下盖520接触。上盖固定座564为自抵接面562向下延伸的结构。该实施例的上盖固定座564具有一柱体及自该柱体横向延伸的翼状突出565a和翼状突出565b。在某些可能的实施例中，上盖固定座564可配置在上盖560内侧的侧表面上。上盖支撑机构580以一可拆卸手段与上盖560的上盖固定座564连接，其连接方式将于后续说明。
153.图9a为光掩膜盒500的上盖560在第一状态的仰式图。图9b为图9a的其中一上盖支撑机构580与上盖固定座564连接的第一状态，该状态下上盖支撑机构580可自上盖固定座564拔起而分离。图9c为图9a的上盖支撑机构580的bb线段横截面图。图10a为光掩膜盒500的上盖560在第二状态的仰式图。图10b为图10a的其中一上盖支撑机构580与该上盖固定座564连接的第二状态，该状态下上盖支撑机构580无法自上盖固定座564拔起而分离。图10c为图10a的上盖支撑机构580的cc线段横截面图。
154.具体而言，图9a、图9b及图9c显示一上盖支撑机构580连接至上盖固定座564，且该上盖支撑机构580相对于上盖固定座564呈一第一方位；图10a、图10b及图10c显示上盖支撑机构580经枢转而与上盖固定座564呈一第二方位，且该第二方位导致上盖支撑机构580呈锁固状态无法自上盖560分离。
155.图9b和图10b所示，上盖支撑机构580具有用于抵接光掩膜顶部的抵接部582及衔接于该抵接部的连接部583。抵接部582的宽度自连接部583向远端逐渐变窄，而形成如同三角形。此外，抵接部582再靠近远端的部分具有一弯折结构，其配置成当上盖560和下盖520结合时能够适当地接触光掩膜的上缘或周围上表面，如同图7所示，但抵接部582不以图示实施例为限。上盖支撑机构580的连接部具有一开口584，用于容纳上盖固定座564并允许上盖固定座564于其中枢转。开口584类似一蝶形开口，其提供翼状突出565a和翼状突出565b的可枢转空间，连接部583的内侧具有面对开口584的多个第一凸肋586，上盖固定座564的柱体表面具有第二凸肋588。如图所示，四个第一凸肋586基本上接触着上盖固定座564的柱体表面。开口形状配置成允许上盖固定座564的第二凸肋588沿着第一旋转方向r1(视图顺时方向)滑过第一凸肋586，即从图9b变成图10b的状态，但禁止图9b的第二凸肋588沿着第二旋转方向r2(视图逆时方向)转动。如图9b所示，靠近的两个第一凸肋586之间形成有防止上盖固定座564往第二旋转方向r2转动的结构。若欲从图10b变成图9b的状态，可施予较大的力，使第二凸肋588往第二旋转方向r2方向弹过第一凸肋586而回复至上盖支撑机构580为可拔除的状态。应了解，第一旋转方向r1和第二旋转方向r2是表达上盖支撑机构580和上盖固定座564的相对方向，实际上是转动上盖支撑机构580。从图9b的状态到图10b的状态，上盖支撑机构580被施予适当的力，使第一凸肋586弹过第二凸肋588，完成上盖支撑机构580的安装。相反地，从图10b至图9b的状态，上盖支撑机构580被施予较大的反向力，使第一凸肋586弹过第二凸肋588，上盖支撑机构580回到可拆除的方位。
156.具体而言，开口584具有允许上盖固定座564进入或离开的第一通道，及允许上盖
固定座相对开口584旋转的第二通道。如图9c所示，开口584配置成在上盖支撑机构580呈一第一方位时，经由第一通道使上盖固定座564可进出开口584。如图10c所示，开口584配置成在上盖支撑机构580呈一第二方位时，经由第二通道使上盖固定座564被止挡块589限制于开口584中。也就是说，止挡块589和上盖固定座564的翼状突出565a和翼状突出565b抵触，使上盖支撑机构580无法被拔起。
157.图11为本发明另一实施例的光掩膜盒600(上盖移除)与光掩膜10。图12a、图12b及图12c为图11的dd线段中的支撑机构横截面图，分别显示不同实施例。图11显示了光掩膜盒600与光掩膜10的关系，光掩膜10被支撑且被容置在光掩膜盒600中(如同图7所示)，光掩膜盒600包含下盖620及多个下盖支撑机构640。
158.图12a实施例所示，下盖支撑机构640具有朝上方延伸并用于支撑光掩膜10的一支撑部642及相对于支撑部642且面向下盖620的一固定部644，其中固定部644与下盖620的固定部(此处为孔洞)可拆卸地连接，使下盖支撑机构640可选择性地安装于下盖620。此实施例的固定部644具有两个弹性接脚645，且弹性接脚645的末端各自具有卡持部646。下盖620的固定部(孔洞)配置成接收并稳固容置弹性接脚645的卡持部646。例如，下盖620可提供有滑槽(未显示)，其供下盖支撑机构640的弹性接脚645的卡持部646能沿着滑槽进入孔洞，接着卡持部646抵接孔洞中的一肩部，使下盖支撑机构640固定至下盖620。下盖支撑机构640的支撑部642和固定部644之间可提供一密封手段(如气密环)，借此防止光掩膜盒容置空间经由孔洞与盖外空间连通。此外，下盖支撑机构640可提供有一按压机制，其可操作而使弹性接脚645的卡持部646可脱离对应的槽。可替代地，可使用工具经由下盖620的孔洞将弹性接脚645松脱，且该卡持部646可为钩状或其他构型。
159.如图12b实施例所示，下盖支撑机构640的固定部644(此处为孔洞)与设置于下盖620的一螺丝可拆卸地连接，使下盖支撑机构640可选择性地安装于下盖620。固定部644可具有螺纹孔，用于配合所述螺丝，使得下盖支撑机构640被锁固于下盖620。固定部644的末端可提供有定位结构647，其在螺丝设置于下盖620前可将下盖支撑机构640对准在安装位置上。
160.如图12c实施例所示，下盖支撑机构640的固定部644为一孔洞，固定部644套接于对应的下盖固定座624，使下盖支撑机构640可选择性地安装于下盖620。这种方式属公母连接，其中固定部644为一母连接部，下盖固定座624为一公连接部。然而，此配置也可以是相反的情况。固定部644和下盖固定座624可具有相匹配的构形，尤其所述构形是具有角度的，使套接于下盖固定座624的固定部644无法相对于下盖固定座624转动。
161.图13a为又一实施例的光掩膜盒700(上盖移除)与光掩膜10。图13b为下盖支撑机构740与下盖720的下盖固定座(孔洞)。图13c为图13a的ee线段的下盖支撑机构740横截面图。下盖支撑机构740具有朝上方延伸并用于支撑光掩膜10的一支撑部742及相对于支撑部742且面向下盖720的一固定部744，其中固定部744与对应的下盖固定座724可拆卸地连接，使下盖支撑机构740可选择性地安装于下盖720。固定部744基本上具有一柱体和柱体表面的一对翼状部。如图13b所示，下盖固定座724具有一开口725，该开口725的形状与固定部744的形状匹配，以允许下盖支撑机构740的固定部进入或离开开口725。类似于图9b及图9c所描述的结构，此处的开口725同样配置成具有允许固定部744进出的第一通道及允许固定部744相对该开口725旋转的第二通道。下盖支撑机构740安装于下盖720的下盖固定座724
的过程说明如下。
162.图14a、图14b及图14c为下盖支撑机构740安装于下盖720的过程。首先，图14a显示下盖支撑机构740依图14b的方位插入开口725中。接着，图14b显示沿着一旋转方向r3转动下盖支撑机构740。下盖支撑机构740最终止于图14c显示的方位且无法被拔起。
163.图14d、图14e及图14f以截面图显示下盖支撑机构740安装于下盖720的过程。图14d显示下盖支撑机构740以可通过开口725的第一方位对准开口725，插入后的下盖支撑机构740如图14e所示。图14f显示经转动后的下盖支撑机构740呈一第二方位，且翼状部抵触开口725中的止挡块(未显示)而使下盖支撑机构740无法被拔起。
164.图15a为光掩膜盒800(上盖移除)与光掩膜10的正视图。图15b为光掩膜10与下盖支撑机构840的横截面图。图15c为下盖支撑机构840与光掩膜10的下盖支撑机构局部放大截面图。图15d为下盖支撑机构840的支撑部具体实施例。下盖支撑机构840的固定部可以是前述实施例任何形式。
165.参阅图15d，下盖支撑机构840自其底部向上延伸有一第一壁841和一第二壁842，而第一壁841和第二壁842的顶端(即支撑部)具有一第一倾斜面841a和一第二倾斜面842a，其自顶端往第一壁841和第二壁842的交会处倾斜而下。当光掩膜10放置于下盖支撑机构840上时，光掩膜10的下缘会接触第一倾斜面841a和第二倾斜面842a。此设计使光掩膜10沿着第一倾斜面841a和第二倾斜面842a滑落而摆放正确。此外，第一壁841和第二壁842的交会处来提供有一集尘机构，其是由一或多个第三倾斜面843所界定，而该实施例有两个第三倾斜面843。如图15b、图15c及图15d所示，第三倾斜面843共同朝一方向(如远离光掩膜的方向)倾斜，借此光掩膜10下缘与第一倾斜面841a和第二倾斜面842a摩擦的碎屑可落在第三倾斜面843并朝远离光掩膜10的方向滑落至下盖，避免光掩膜10底面受到污染。
166.本发明提供的下盖支撑机构不限于只能支撑光掩膜。图16a为又一实施例的光掩膜盒900(上盖移除)与光掩膜载具901。图16b为该实施例的正视图。图16c为该实施例的下盖支撑机构940立体图。图16d为下盖与已安装的下盖支撑机构940。图16e为图16a中ff线段的下盖支撑机构940截面图。
167.图16c所示，下盖支撑机构940具有一横向延伸部941、一第一倾斜臂942a和一第二倾斜臂942b。横向延伸部941可以类似于前述实施例的固定部而连接至下盖920，如图16e的实施例类似于图12c。第一倾斜臂942a和第二倾斜臂942b自横向延伸部941延伸。具体而言，该实施例的第一倾斜臂942a和第二倾斜臂942b是由一平坦延伸和一倾斜延伸所构成。如图16d所示的安装后的下盖支撑机构940，横向延伸部941是朝光掩膜载具901的方向略为延伸，第一倾斜臂942a和第二倾斜臂942b是朝下盖920的周围延伸，且分别是往下盖920的不同边缘延伸。图16e所示，第一倾斜臂942a和第二倾斜臂942b可使光掩膜载具901滑落而呈恰当的摆放，避免严重的倾斜。
168.由于过去支撑光掩膜的支撑机构的抵持光掩膜的斜面、球体或支柱由于碰撞而造成抵持面磨损，造成支撑机构的磨损产生微粒，且当磨损严重时仅能更换光掩膜盒或需要破坏性的拆换，造成资源浪费的情况产生。通过上述多个实施例，提供快速插拔的支撑机构，并且在光掩膜放置时提供缓冲。当支撑机构磨损，可以快速替换支撑机构以减少微粒产生的机会，同时也降低成本，不需要淘汰光掩膜盒，以减少成本的浪费。
169.虽然已经以一或多个实施例描述本发明具有快拆式支撑机构的光掩膜盒光掩膜，
但要了解到本发明揭露内容并不限制于所揭露的实施例，例如本发明支撑机构的型态并不限制于所揭露的实施例，以及上盖与下盖皆可以相同配置设计；抑或是本发明的上盖支撑机构与下盖支撑机构可以以不同配置搭配设计。本发明涵盖在申请专利范围的精神与观点中所包含的各种修改与类似配置，应给予最广泛的诠释，以包含所有的修改与类似结构。本发明揭露内容也包含申请专利范围中的所有任何实施例。