一种集成电路生产用光刻机及其使用方法与流程

1.本发明涉及光刻机技术领域，具体为一种集成电路生产用光刻机。


背景技术：

2.光刻机是生产大规模集成电路大规模集成电路的核心设备，制造和维护需要高度的光学和电子工业基础，世界上只有少数厂家掌握，高端的投影式光刻机可分为步进投影和扫描投影光刻机两种，分辨率通常在十几纳米至几微米之间，高端光刻机号称世界上最精密的仪器，而现有技术中光刻机的基片并不方便进行转动，这样便降低了使用效果，同时现有技术中也没有对进行生产的集成电路进行固定，这样便容易影集成电路的加工效果。


技术实现要素：

3.本发明的目的在于提供一种集成电路生产用光刻机，以解决上述背景技术中提出的而现有技术中光刻机的基片并不方便进行转动，这样便降低了使用效果的问题。
4.为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种集成电路生产用光刻机，包括机箱、底座和螺栓，所述机箱的前端面下方安装有底座，所述底座通过多个螺栓与机箱螺纹相连，所述机箱的前端面上方安装有加工装置；所述加工装置包括光刻机本体、控制面板、显示屏、基片和工作台；所述光刻机本体的后端面上方与机箱固定相连，所述光刻机本体的左侧设有控制面板，所述控制面板的后端面与机箱的前端面上方固定相连，所述控制面板的右侧设有显示屏，所述显示屏的后端面与机箱前端面上方固定相连，所述光刻机本体的下方设有基片，所述基片的下表面固接有工作台。
5.优选的，所述工作台的宽度尺寸大于基片的宽度尺寸。
6.优选的，所述底座的上方安装有转动装置；所述转动装置包括竖杆、第一斜齿轮、第二斜齿轮、电机和第一竖板；所述竖杆的上方与工作台的下表面固定相连，所述竖杆的下方外壁与底座的内部转动相连，所述竖杆的上方外壁固接有第一斜齿轮，所述第一斜齿轮的左右两侧下方均设有第二斜齿轮，所述第二斜齿轮与第一斜齿轮相互啮合，所述第二斜齿轮的外侧安装有电机，所述电机的输出轴与第二斜齿轮的外侧固定相连，所述第二斜齿轮的外侧设有第一竖板，所述第一竖板的内部与电机的外壁固定相连，所述第一竖板的下表面与底座的上表面外壁固定相连。
7.优选的，左右所述电机的输出轴中点与第二斜齿轮的中点在同一水平线上。
8.优选的，所述第一竖板与底座为垂直设置。
9.优选的，所述底座的外侧上方安装有固定装置；所述固定装置包括第二竖板、液压缸、第一凹形板、转轮、第三竖板、第二凹形板、第四竖板、挡杆和弹簧；左右所述第二竖板的下表面与底座的上表面固定相连，所述第二竖板的中间内部
固接有液压缸，所述液压缸的外侧固接有第一凹形板，所述第一凹形板的凹槽处通过转轴转动连接有转轮，所述转轮的外侧安装有第三竖板，所述第三竖板的中间外壁通过转轴转动连接有第二凹形板，所述第二凹形板的内侧与第二竖板固定相连，所述第二凹形板的内侧上方固接有第四竖板，所述第四竖板的通孔处安装有挡杆，所述挡杆的外壁与第四竖板的通孔处内壁间隙配合，所述挡杆的外侧外壁与第三竖板的外壁相贴合，所述挡杆的内侧外壁安装有弹簧，所述弹簧的两侧分别与第四竖板和挡杆固定相连。
10.优选的，左右所述第二竖板以竖杆为中心呈对称分布。
11.优选的，所述第四竖板与第一竖板为平行设置。
12.与现有技术相比，本发明的有益效果是：该集成电路生产用光刻机，通过竖杆、第一斜齿轮、第二斜齿轮、电机和第一竖板等结构之间的相互配合，可以通过电机的输出轴带动第二斜齿轮进行转动，第二斜齿轮通过第一斜齿轮带动竖杆进行转动，竖杆通过工作台带动基片进行转动，从而提高了此装置的使用效果；通过光刻机本体、控制面板、显示屏、基片和工作台等结构之间的相互配合，可以通过控制面板对此装置进行控制，通过光刻机本体进行加工，从而完成生产工作；通过第三竖板、第二凹形板、第四竖板、挡杆和弹簧等结构之间的相互配合，可以使第三竖板带动挡杆在第四竖板的通孔处进行移动，使挡杆对弹簧进行拉伸，同时通过挡杆可以将工件抵紧，从而提高了加工精度；通过第二竖板、液压缸、第一凹形板、转轮和第三竖板等结构之间的相互配合，可以通过液压缸带动第一凹形板移动，第一凹形板带动转轮移动，使转轮对第三竖板进行挤压，从而使第三竖板在第二凹形板处进行转动，使此装置操作更方便。
附图说明
13.图1为本发明结构示意图；图2为图1中机箱、光刻机本体和控制面板处的结构示意图；图3为图1中电机、第一斜齿轮和第二斜齿轮处的结构示意图；图4为图1中液压缸、第三竖板和弹簧处的结构示意图；图5为图1中第一凹形板、转轮和第二竖板处的结构示意图；图6为图1中挡杆、第三竖板和基片处的结构示意图。
14.图中：1、机箱，2、底座，3、加工装置，301、光刻机本体，302、控制面板，303、显示屏，304、基片，305、工作台，4、转动装置，401、竖杆，402、第一斜齿轮，403、第二斜齿轮，404、电机，405、第一竖板，5、固定装置，501、第二竖板，502、液压缸，503、第一凹形板，504、转轮，505、第三竖板，506、第二凹形板，507、第四竖板，508、挡杆，509、弹簧，6、螺栓。
具体实施方式
15.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
16.请参阅图1
‑
6，本发明提供一种技术方案：一种集成电路生产用光刻机，包括机箱
1、底座2和螺栓6，机箱1的前端面下方安装有底座2，底座2通过2个螺栓6与机箱1螺纹相连，机箱1的前端面上方安装有加工装置3，加工装置3包括光刻机本体301、控制面板302、显示屏303、基片304和工作台305，光刻机本体301的后端面上方与机箱1固定相连，通过光刻机本体301可以进行加工，光刻机本体301的左侧设有控制面板302，控制面板302的后端面与机箱1的前端面上方固定相连，通过控制面板302可以进行控制，控制面板302的右侧设有显示屏303，显示屏303的后端面与机箱1前端面上方固定相连，光刻机本体301的下方设有基片304，基片304的下表面固接有工作台305，工作台305可以对基片304进行支撑，工作台305的宽度尺寸大于基片304的宽度尺寸。底座2的上方安装有转动装置4，转动装置4包括竖杆401、第一斜齿轮402、第二斜齿轮403、电机404和第一竖板405，竖杆401的上方与工作台305的下表面固定相连，竖杆401可以带动工作台305进行转动，竖杆401的下方外壁与底座2的内部转动相连，竖杆401的上方外壁固接有第一斜齿轮402，第一斜齿轮402的左右两侧下方均设有第二斜齿轮403，第二斜齿轮403与第一斜齿轮402相互啮合，第二斜齿轮403可以带动第一斜齿轮402进行转动，第二斜齿轮403的外侧安装有电机404，电机404的型号为3gb
‑
555，电机404的输出轴与第二斜齿轮403的外侧固定相连，电机404的输出轴可以带动第二斜齿轮403进行转动，第二斜齿轮403的外侧设有第一竖板405，第一竖板405的内部与电机404的外壁固定相连，第一竖板405的下表面与底座2的上表面外壁固定相连，左右电机404的输出轴中点与第二斜齿轮403的中点在同一水平线上，第一竖板405与底座2为垂直设置。
17.底座2的外侧上方安装有固定装置5，固定装置5包括第二竖板501、液压缸502、第一凹形板503、转轮504、第三竖板505、第二凹形板506、第四竖板507、挡杆508和弹簧509，左右第二竖板501的下表面与底座2的上表面固定相连，第二竖板501的中间内部固接有液压缸502，液压缸502的型号为mob，液压缸502的外侧固接有第一凹形板503，第一凹形板503的凹槽处通过转轴转动连接有转轮504，液压缸502通过第一凹形板503可以带动转轮504进行移动，转轮504的外侧安装有第三竖板505，转轮504可以带动第三竖板505进行转动，第三竖板505的中间外壁通过转轴转动连接有第二凹形板506，第二凹形板506的内侧与第二竖板501固定相连，第二凹形板506的内侧上方固接有第四竖板507，第四竖板507的内部加工有通孔，第四竖板507的通孔处安装有挡杆508，挡杆508的外壁与第四竖板507的通孔处内壁间隙配合，挡杆508可以在第四竖板507的通孔处进行移动，挡杆508的外侧外壁与第三竖板505的外壁相贴合，挡杆508的内侧外壁安装有弹簧509，弹簧509的两侧分别与第四竖板507和挡杆508固定相连，当挡杆508向内侧移动时弹簧509处于拉伸状态，左右第二竖板501以竖杆401为中心呈对称分布，第四竖板507与第一竖板405为平行设置。
18.当操作人员需要使用集成电路生产用光刻机时，首先操作人员将需要进行加工的工件放置在基片304上，接通液压缸502的外接电源，启动液压缸502，使液压缸502通过第一凹形板503带动转轮504向外侧移动，使转轮504对第三竖板505进行挤压，第三竖板505在第二凹形板506处进行转动，使第三竖板505带动挡杆508向内侧移动，挡杆508通过第四竖板507对弹簧509进行拉伸，从而使挡杆508将工件抵紧固定，再配合光刻机本体301完成加工，控制液压缸502回缩，使挡杆508通过弹簧509的弹力性能复位，接通电机404的外接电源，启动电机404，通过电机404的输出轴带动第二斜齿轮403进行转动，使第二斜齿轮403带动第一斜齿轮402进行转动，第一斜齿轮402通过竖杆401带动工作台305进行转动，工作台305通
过基片304带动工件进行转动，从而对工作的位置进行调节，这样便达到了提高此装置使用效果的目的。
19.在本发明的描述中，需要理解的是，术语“同轴”、“底部”、“一端
”ꢀ
、
ꢀ“
顶部”、“中部”、“另一端”、“上”、“一侧”、“顶部”、“内”、“前部”、“中央”、“两端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
20.在本发明中， 除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、
ꢀ“
连接”、“固定”、“旋接”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
21.尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。