一种曝光台及光配向装置的制作方法

1.本发明涉及光配向技术领域，尤其涉及一种曝光台及光配向装置。


背景技术：

2.近年来，以液晶面板为首的液晶显示元件的取向膜、视场角补偿膜的配向层的配向处理，均采用通过照射规定波长的偏振光进行，采用通过照射规定波长的偏振光配向的方法被称为光配向技术。
3.对于配向制程，具体先将配向液涂布在液晶显示器的上下基板的内侧，再经过配向技术处理，最终在上下基板内侧形成配向膜，配向膜能够使得让液晶分子按照特定方向排列。目前水平光配向的应用越来越广泛，现有的光配向技术都是在常温下通过紫外偏振光照射形成配向的，当配向液的材料固定，在常温环境下，需要的照射时间比较长。而聚酰亚胺(pi)配向的曝光制程中，基板的温度越高，pi的配向能力以及反应程度越强。为了加快配向速度，可形成具有加热功能的光配向装置，但加热功能会使得曝光台内部的温度过大，造成曝光台内电子器件受热损坏。


技术实现要素：

4.本发明实施例提供了一种曝光台及光配向装置，以提供具有隔热及散热功能的可加热的曝光台。
5.第一方面，本发明实施例提供了一种曝光台，包括：安装底板、多条支柱、至少一层第一隔热组件、加热器和承板台；
6.所述承板台用于放置基板；所述加热器设置于所述承板台靠近所述安装底板的一侧，并与所述承板台固定，用于对所述承板台加热；所述支柱用于将所述承板台和所述加热器固定在所述安装底板上；
7.所述支柱通过所述第一隔热组件连接所述加热器。
8.第二方面，本发明实施例提供了一种光配向装置，所述光配向装置包括本发明任意实施例提供的曝光台，还包括：导轨、照明光源、偏振光学元件和检测台；
9.所述照明光源和所述偏振光学元件设置于所述检测台和所述曝光台的上方；所述照明光源用于发出光线；所述光线经过所述偏振光学元件生成用于配向的偏振光；所述偏振光可形成配向光照区域；
10.所述检测台和所述曝光台依次固定在所述导轨上，并可沿所述导轨运动；所述检测台用于对所述配向光照区域进行检测；所述曝光台用于承载基板在所述配向光照区域内进行配向扫描。
11.本发明中，曝光台包括安装底板、多条支柱、至少一层第一隔热组件、加热器和承板台，加热器与承板台贴合设置，用于为承板台加热，使得承板台对其上的基板进行加热，加速配向进程，提高配向效率，降低曝光时间，支柱将加热器和承板台固定在安装底板上，并且支柱通过第一隔热组件连接加热器，有效避免加热器产生的热量向安装底板的方向传
递，避免曝光台内部的温度过大，避免曝光台内电子器件受热损坏的问题。
附图说明
12.图1是本发明实施例提供的一种曝光台的结构示意图；
13.图2是本发明实施例提供的另一种曝光台的结构示意图；
14.图3是本发明实施例提供的一种喷气管的结构示意图；
15.图4是本发明实施例提供的一种曝光台结构热仿真示意图；
16.图5是本发明实施例提供的另一种曝光台结构热仿真示意图；
17.图6是本发明实施例提供的一种光配向装置的结构示意图。
具体实施方式
18.下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。
19.本发明实施例提供了一种曝光台，包括：安装底板、多条支柱、至少一层第一隔热组件、加热器和承板台；
20.所述承板台用于放置基板；所述加热器设置于所述承板台靠近所述安装底板的一侧，并与所述承板台固定，用于对所述承板台加热；所述支柱用于将所述承板台和所述加热器固定在所述安装底板上；
21.所述支柱通过所述第一隔热组件连接所述加热器。
22.本发明实施例中，曝光台包括安装底板、多条支柱、至少一层第一隔热组件、加热器和承板台，加热器与承板台贴合设置，用于为承板台加热，使得承板台对其上的基板进行加热，加速配向进程，提高配向效率，降低曝光时间，支柱将加热器和承板台固定在安装底板上，并且支柱通过第一隔热组件连接加热器，有效避免加热器产生的热量向安装底板的方向传递，避免曝光台内部的温度过大，避免曝光台内电子器件受热损坏的问题
23.以上是本发明的核心思想，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下，所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
24.图1是本发明实施例提供的一种曝光台的结构示意图，具有加热功能的曝光台03的结构示意图如图1所示，可选的，曝光台还可以包括rz转台12；rz转台12固定于安装底板11上，用于带动安装在其上的承板台14进行配向角度的旋转；针脚轴20；针脚轴20设置于第一隔热组件17远离承板台14的一侧，用于沿垂直于安装底板11的方向反复运动。
25.具体的，曝光台03可以由rz转台12、安装底板11、支柱13、第一隔热组件17、加热器15、承板台14和针脚轴20组成。安装底板11为固定在平面上，可沿平面方向运动的底座，曝光台03整体通过安装底板11实现移动，rz转台12负责带动安装在其上的承板台14进行配向角度旋转，安装底板11可通过螺钉固定在rz转台12上安装面，随rz转台12一块转动。承板台14用于放置基板，加热器15能够对承板台14及其上放置的基板进行加热，提高基板的配向效率，节约曝光时间，加热器15贴附承板台14设置，并固定在承板台14靠近安装底板11的一侧，支柱13能够连接安装底板11和加热器15，并且支柱13通过第一隔热组件17与加热器15
连接，有效隔绝加热器15与支柱13之前的热传递，本实施例还中可包含多个支柱13，能够对加热器15和承板台14进行有效支撑。参考图1，由安装底板11指向承板台14的方向上，曝光台03依次包括安装底板11、rz转台12、支柱13、第一隔热组件17、加热器15和承板台14，其中加热器15用于对基板进行加热，加快基板配向过程，并且第一隔热组件17能够有效隔绝支柱13和加热器15，防止加热器15的热量向曝光台03内传递，避免曝光台03内结构或传感器无法正常工作。示例性的，承板台14被加热后的温度可达22～180度，曝光台03内的温度保持在45度以下，保证内部电机和传感器正常工作。可选的，本实施例可设置多层第一隔热组件17，进一步阻断加热器15的热量向曝光台03内传递。上述第一隔热组件17为非金属材料，优选为米思米hipla和hipal，通过选用小导热系数材料，防止热传递。
26.如图2所示，图2是本发明实施例提供的另一种曝光台的结构示意图，曝光台03还包括针脚轴20，针脚轴20通过固定在安装底板11上的直线电机进行驱动，固定在安装底板11上的光栅尺进行位置反馈，和固定在四个支柱13上的导轨进行导向，穿过承板台14进行上、下运动，用于基板的上、下片，针脚轴20包括pin头201和pin杆202，pin头的材料优选为vespel和特氟龙材料，采用pin杆其上部采用vespel或特氟龙材料，下部采用金属材料。
27.可选的，加热器15和承板台14可以通过殷钢螺钉固定。本实施例中，加热器15和承板台14用殷钢螺钉固定在一起，并可通过多个支柱13固定在安装底板11上，提高加热器15和承板台14的坚固性能。
28.可选的，曝光台03还可以包括调平隔热解耦支柱组件；调平隔热解耦支柱组件分别与承板台14和支柱13固定连接；调平隔热解耦支柱组件包括螺母可调机构132和隔热块131；螺母可调机构132用于实现承板台14的调平；隔热块131用于防止加热器15发出的热量沿支柱13向靠近安装底板11的一侧传递，并用于对承板台14进行热形变解耦。
29.本实施中，可包括多个支柱13，例如，可以包括四个支柱13，每个支柱13上均可以设置一个调平隔热解耦支柱组件。调平隔热解耦支柱组件直接与承板台14接触，并与支柱13固定连接。调平隔热解耦支柱组件包括螺母可调机构132和隔热块131，螺母可调机构132用于对承板台14进行调平，避免承板台14在高温环境下无法显示调平，保证承板台14为基板提供良好的配向环境。每个调平隔热解耦支柱组件的垂向链路中包括隔热块131，用于防止加热器15向靠近安装底板11的一侧热传递。可选的，上述隔热块为非金属材料，优选为米思米hipla和hipal，通过选用小导热系数材料，防止热传递。此外，需要注意的是，隔热块131还能够实现热变形结构的作用，因为承板台14是在常温环境下集成的，但是在工作时，加热器15将承板台14的温度升高，使得承板台14会产生热膨胀变形，并且在多个支柱13的固定约束下，承板台14容易产生垂向的v形变形，通过隔热块131的低弹性模量和水平向大变形，使得承板台14具有较小的垂向变形和较大的水平向变形，从而使得承板台14因热产生的水平向变形和垂向变形解耦，满足装置要求的较小的垂向变形，提高最终配向的精准性。
30.可选的，第一隔热组件17可以包括隔热板；隔热板与加热器15在局部区域进行接触。
31.隔热板为如图1所示，防止加热器15的热量下传，在加热器15的下表面放置一层隔热板，支柱13通过一层隔热板和承板台14通过殷钢螺钉连接，隔热板材料为非金属材料，优选为米思米hipla和hipal，但不限于此材料，通过选用小导热系数材料，防止热传递。
32.可选的，加热器15靠近隔热板的一侧可以形成有第一凸台结构，使得第一凸台结构与隔热板接触；或者，隔热板靠近加热器15的一侧形成有第二凸台结构，使得第二凸台结构与隔热板接触。
33.所述隔热板和加热器15的接触面为局部接触，例如，可仅在支柱13和加热器15、承板台14殷钢螺钉连接的局部区域进行面接触，通过加热器15下表面的第一凸台结构或隔热板上表面的第二凸台结构连接，其他区域优选为非接触连接，通过空气隔热，防止直接面接触，有效避免热量直接通过热传递进行通过隔热板导热，热量下传。
34.可选的，曝光台还可以包括：至少一层第二隔热组件18；第二隔热组件18设置于第一隔热组件17远离承板台14的一侧。
35.在一层隔热下方有第二隔热组件18，防止热传递和热辐射；在第二隔热组件18下方，为针脚轴20、各种传感器、线缆及rz转台12的布局区域，第二隔热组件18与第一隔热组件17相配合，进一步降低曝光台内气流温度，使曝光台内的温度保持在45度以下，保证内部电机和传感器正常工作。
36.可选的，曝光台还可以包括：百叶窗19；百叶窗19靠近第二隔热组件18设置，用于实现曝光台03内热气流与外部气流进行交换。
37.承板台14一般为sic陶瓷材料，除承板台14上表面外，曝光台03通过百叶窗19的形式进行遮挡，百叶窗19采用铝基微弧氧化工艺，百叶窗结构用于曝光台03内部散热及曝光台内部和外部的冷热空气交换。
38.可选的，曝光台还可以包括风扇组件16；风扇组件16设置于第二隔热组件18靠近安装底板11的一侧。通过风扇组件16进行曝光台03内部冷却，使曝光台03内的温度保持在45度以下，保证内部电机和传感器正常工作。
39.继续参考图1，可选的，风扇组件16可以包括第一组风扇161和第二组风扇162；第一组风扇161和第二组风扇162分别设置于安装底板11的相对两侧；第一组风扇161用于将降温气体通过百叶窗19吸入曝光台；第二组风扇162用于将曝光台内热气流通过百叶窗19排出。
40.风扇组件16如图1所示，安装在第二隔热组件18下方，通过螺钉固定在安装底板11上，本实施例采用两组风扇：第一组风扇161和第二组风扇162，其分别安装在安装底板11的两侧，第一组风扇161将机台内的冷空气通过百叶窗19吸入曝光台，第二组风扇162将曝光台内的热空气通过百叶窗19排出，通过曝光台内部的空气对流运动，将曝光台内的热量，包括pin电机自身发热和加热器15传下来的热量，带走，使曝光台内的温度保持在45度以下，保证内部电机和传感器正常工作。
41.可选的，第二隔热组件18可以包括腔体结构181；腔体结构181为由薄板组成的一个腔体。继续参考图2，第二隔热组件18可主要由腔体结构181组成，腔体结构181主为薄板组成一个腔体，可选的，腔体内为空气或玻璃纤维填充等，优选玻璃纤维，腔体的薄板材料优选米思米hipla和hipal，但不限于上述材料。
42.图3是本发明实施例提供的一种喷气管的结构示意图，可选的，第二隔热组件18还可以包括：导流板182和喷气管183；喷气管183固定于腔体结构181的一边；喷气管183包括多个小孔1831；导流板182分布在喷气管183的两端，用于将喷气管183吹出的降温气体从喷气管183的两端导向至第二隔热组件18与喷气管183相对的一边。
43.继续参考图2和图3,，第二隔热组件18可以包括：腔体结构181、导流板182和喷气管183，喷气管183可固定在腔体结构181的一条边上喷气管183上开有一系列小孔1831，优选设置一排小孔1831，小孔1831的间距可以为20mm，小孔1831大小可以为直径1mm，但不限于以上孔形式和尺寸。导流板182分布在喷气管183两端，用于喷气管183吹出的冷空气流进行从喷气管侧导向至喷气管对面侧的空气流动。
44.可选的，腔体结构181远离安装底板11的一侧的表面可与百叶窗19的散热孔位于同一水平面。
45.继续参考图1，第二隔热组件18的腔体结构181的上表面可正好对齐百叶,19的散热孔，使得喷气管183吹出的空气流带着第一隔热组件17和第二隔热组件18间的热量迅速排到机台外部，通过喷气管183高速空气流的流动将曝光台两层隔热组件的热量排至机台外，并通过第二隔热组件18的腔体结构181的低导热系数的隔热，使得热量通过第二隔热组件18传导下去的能量很少。
46.在上述实施例的基础上，参考图4和图5，图4是本发明实施例提供的一种曝光台结构热仿真示意图，图5是本发明实施例提供的另一种曝光台结构热仿真示意图，如图4和图5所示，承板台的温度为200度时，底部空间零件上温度区间为22℃～40℃，pin头温度为138度，pin杆温度30度，温度满足内部电机和传感器等工作温度要求。
47.本发明实施例还提供一种光配向装置。图6是本发明实施例提供的一种光配向装置的结构示意图，如图6所示，本发明实施例提供的光配向装置包括本发明任意实施例的曝光台03，本实施例中光配向装置还可以包括：导轨02、照明光源05、偏振光学元件06和检测台01；
48.照明光源05和偏振光学元件06设置于检测台01和曝光台03的上方；照明光源05用于发出光线；光线经过偏振光学元件06生成用于配向的偏振光；偏振光可形成配向光照区域08；
49.检测台01和曝光台03依次固定在导轨02上，并可沿导轨02运动；检测台01用于对配向光照区域08进行检测；曝光台03用于承载基板04在配向光照区域08内进行配向扫描。
50.整个光配向设备由导轨02，照明光源05、偏振光学元件06、检测台01、曝光台03等组成；检测台01、曝光台03设置于导轨02上，并可沿导轨02进行往复运动，照明光源05和偏振光学元件06可以置于导轨02的上方并且固定位置，则当检测台01和曝光台03通过导轨02滑动时，照明光源05和偏振光学元件06同样也位于检测台01和曝光台03的上方，照明光源05发出的光线，例如紫外线光，经过偏振光学元件06后生成用于配向的偏振光，形成配向光照区域08；检测台01能够在导轨02上滑动，并能滑动至配向光照区域08进行光学性能的测试，保证配向光照的可靠性，曝光台03能够移动至光照区域08对基板04进行配向扫描。
51.本实施例提供的光配向装置的曝光台具有基板加热功能，能够支持曝光台台面工作温度22～180度。可选的，检测台和曝光台之间有油压缓冲器等缓冲防撞装置，防止检测台和曝光台发生碰撞而损坏。
52.需要注意的是，本实施例中光配向装置包括本发明任意实施例提供的曝光台的技术特征，具有相应的技术效果，此处不再赘述。
53.注意，上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本发明不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、
重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明，但是本发明不仅仅限于以上实施例，在不脱离本发明构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。