一种光纤调节组件的制作方法

1.本技术实施例涉及半导体领域，尤其涉及一种光纤调节组件。


背景技术：

2.随着半导体技术的不断发展，人们对测量光刻后的晶圆套刻误差提出了更高的要求，基于衍射光探测的套刻测量技术(dbo：diffraction
‑
based overlay)也正逐步取代传统的基于成像和图像识别的套刻测量技术(ibo：imaging
‑
based overlay)成为套刻测量的主要技术手段，而针对套刻测量的检测装置也有了深入研讨。
3.现有的一种基于衍射光的检测装置包括光源、光源调节组件、光路设备及探测单元等部件。为适应晶圆的高精度制程要求，首先需要由光源调节组件对光源发出的检测光进行偏移和/或俯仰等方位调整，以改变检测光到光路设备中的镜筒的入射方位，然后由光路设备对检测光进一步处理后发送至用于套刻误差测量的探测单元。
4.但是，现有的光源调节组件对光源各个入射方位的调整是相互关联的，当需要对光源某一入射方位做调整时，其他入射方位也会因为关联性而发生不必要的变动，进而产生机械误差或光源偏差等误差项，影响套刻测量的精度。


技术实现要素：

5.本技术实施例提供了一种光纤调节组件，便于满足套刻测量对光源的入射方位的调整需求。
6.本技术实施例提供的一种光纤调节组件，包括：光纤安装座、调节本体座、基座组件及第一方向调节组件、第二方向调节组件、第三方向调节组件、倾斜面调节组件和俯仰面调节组件中的至少一种调节组件；
7.光纤安装座装载在调节本体座内，基座组件用于承载调节本体座；
8.第一方向调节组件装设于调节本体座，用于调整光纤安装座在第一方向上与调节本体座的相对位置；
9.第二方向调节组件装设于调节本体座，用于调整光纤安装座在第二方向上与调节本体座的相对位置，第一方向与第二方向垂直或具有锐角夹角；
10.第三方向调节组件，用于调整光纤安装座在第三方向上与基座组件的相对位置，第三方向沿调节本体座和基座组件的排列方向；
11.倾斜面调节组件一部分装设于调节本体座，用于绕第一旋转轴线调整光纤安装座相对于基座组件的第一角度；
12.俯仰面调节组件一部分装设于调节本体座，用于绕第二旋转轴线调整光纤安装座相对于基座组件的第二角度，第二角度与第一角度垂直或具有锐角夹角。
13.可选地，第一方向调节组件包括第一调节螺栓和第一限位模组；
14.调节本体座的侧面在第一方向上相对设置有第一横孔和第一开槽；
15.第一调节螺栓贯穿第一横孔，以抵接光纤安装座；
16.第一限位模组通过第一开槽装设于调节本体座，与第一调节螺栓配合，以引导光纤安装座调整在第一方向上与调节本体座的相对位置。
17.可选地，光纤调节组件还包括：位于光纤安装座和调节本体座之间的复位弹簧，复位弹簧套设于第一调节螺栓上。
18.可选地，第一限位模组包括第一导向块和第一固定块；
19.第一导向块装设于第一开槽内，第一固定块将第一导向块固定在调节本体座；
20.第一导向块接近光纤安装座的一端开设有卡接槽，卡接槽用于卡接光纤安装座，以引导光纤安装座调整在第一方向上与调节本体座的相对位置；
21.卡接槽的延伸方向与第一方向同向。
22.可选地，第二方向调节组件包括第二调节螺栓和第二限位模组；
23.调节本体座的侧面在第二方向上相对设置有第二横孔和第二开槽；
24.第二调节螺栓贯穿第二横孔，以抵接光纤安装座；
25.第二限位模组通过第二开槽装设于调节本体座，与第二调节螺栓配合，以引导光纤安装座调整在第二方向上与调节本体座的相对位置。
26.可选地，第二限位模组包括相连的第二导向块和第二固定块；
27.第二导向块装设于第二开槽内，第二固定块将第二导向块固定在调节本体座；
28.第二导向块接近光纤安装座的一端开设有卡接槽，卡接槽用于卡接光纤安装座，以引导光纤安装座调整在第二方向上与调节本体座的相对位置；
29.卡接槽的延伸方向与第二方向同向。
30.可选地，第三方向调节组件包括第三调节螺栓，第三调节螺栓一端与调节本体座通过螺纹连接，另一端与基座组件抵触；
31.第三调节螺栓贯穿调节本体座开设的第一竖孔，且第一竖孔的轴向线位于第一方向调节组件和第二方向调节组件安装位置的镜像对称面上。
32.可选地，倾斜面调节组件包括第四调节螺栓和连接件，第四调节螺栓一端与调节本体座通过螺纹连接，另一端与基座组件抵触；连接件两端分别连接调节本体座与基座组件；
33.第四调节螺栓贯穿调节本体座开设的第二竖孔，且第四调节螺栓和连接件分别位于第一调节组件两侧，倾斜面调节组件用于使调节本体座与光纤安装座绕第一调节件相对旋转。
34.可选地，俯仰面调节组件包括第五调节螺栓和连接件；第五调节螺栓和连接件分别位于第二调节件两侧，俯仰面调节组件用于使调节本体座与光纤安装座绕第二调节件相对旋转；
35.第五调节螺栓贯穿调节本体座上开设的第三竖孔；
36.连接件的一端连接调节本体座，另一端连接基座组件；
37.第五调节螺栓配合连接件，调整光纤安装座相对于基座组件的第二角度。
38.可选地，连接件包括第三方向调节组件，或者连接件为弹性件。
39.可选地，连接件包括拉簧；
40.拉簧的顶部连接调节本体座，底部连接基座组件；拉簧的个数为一个或多个。
41.可选地，基座组件包括基座及与基座相连的镜筒安装座；
42.镜筒安装座和基座通过凹凸槽适配连接；
43.镜筒安装座开设有用于安装固定件的镜筒安装孔，固定件用于固定镜筒。
44.可选地，基座组件的基座上开设有三个限位槽，分别对第三方向调节组件、倾斜面调节组件及俯仰面调节组件进行限位；优选地，限位槽为三个v形限位槽。
45.可选地，光纤安装座的侧面设置第一限位阶台和第二限位阶台；
46.第一限位阶台与第一方向调节组件包括的第一导向块对接；
47.第二限位阶台与第二方向调节组件包括的第二导向块对接。
48.可选地，第一方向调节组件和/或第二方向调节组件包括防滑件，防滑件设置在第一调节螺栓和第二调节螺栓靠近光纤安装座的一端；优选地，防滑件为不锈钢板。
49.可选地，基座组件为c嘴槽状，c嘴槽用于安装偏振轮。
50.可选地，光纤安装座的光纤安装孔用于安装光源组件；优选地，光源组件为光纤头组件。
51.可选地，调节本体座和/或基座开设有减重孔。
52.从以上技术方案可以看出，本技术实施例具有以下优点：
53.本技术实施例的光纤调节组件包括：光纤安装座、调节本体座、基座组件及第一方向调节组件、第二方向调节组件、第三方向调节组件、倾斜面调节组件和俯仰面调节组件中的至少一种调节组件；光纤安装座用于装载调节本体座，两者可视为内围和外围的位置关系，基座组件用于承载调节本体座；调节本体座装设第一方向调节组件和第二方向调节组件；第三方向调节组件、倾斜面调节组件和俯仰面调节组件的一部分装设于调节本体座，一部分装设于基座组件；各种调节组件分别独立对光纤安装座进行不同方位的调整，即第一方向调节组件及第二方向调节组件分别用于调整光纤安装座在第一方向上及第二方向上与调节本体座的相对位置，第三方向调节组件用于调整光纤安装座在第三方向上与基座组件的相对位置，倾斜面调节组件及俯仰面调节组件分别用于调整光纤安装座相对于基座组件的第一角度及第二角度，不同调节组件之间对光纤安装座的调整过程是独立的，从而对光源各个入射方位的调整过程不存在关联性，满足了套刻误差测量对光源入射方位的精准调整需求，进而提高了晶圆套刻误差的检测准确度。
附图说明
54.为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，还可以根据这些附图获得其他的附图。
55.图1为本技术实施例中光纤调节组件的一个结构示意图；
56.图2为本技术实施例中光纤调节组件的另一结构示意图；
57.图3为本技术实施例中光纤调节组件的另一结构示意图；
58.图4为本技术实施例中光纤调节组件的另一结构示意图；
59.其中，附图标记为：
60.11、光纤安装座；111、第一限位阶台；112、第二限位阶台；113、光纤安装孔；12、调节本体座；121、第一横孔；122、第一开槽；123、第二横孔；124、第二开槽；125、第一竖孔；126、第二竖孔；127、第三竖孔；13、基座组件；131、基座；132、镜筒安装座；141、第一调节螺
栓；142、第一限位模组；1421、第一导向块；1422、第一固定块；151、第二调节螺栓；152、第二限位模组；1521、第二导向块；1522、第二固定块；161、第三调节螺栓；171、第四调节螺栓；181、第五调节螺栓；19、拉簧；20、镜筒；21、限位槽；22、防滑件；23、减重孔；24、镜筒安装孔。
具体实施方式
61.为了使本技术领域的人员更好地理解本技术方案，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
62.在本技术实施例的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术实施例的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
63.在本技术实施例的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术实施例中的具体含义。
64.本技术实施例提供的光纤调节组件包括第一方向调节组件、第二方向调节组件、第三方向调节组件、倾斜面调节组件和俯仰面调节组件中的至少一种调节组件。在一个实施例中，为了保证光纤安装座可以实现五个自由度上的全方位调整，光纤调节组件包括上述五种调节组件，但在具体实施过程中可以根据实际调整需求，对上述五种调节组件进行任意组合后得到满足需求的光纤调节组件。
65.为了便于理解，结合图1至图4对本技术提供的光纤调节组件实施例进行说明。本技术实施例中，光源以光纤为例，光纤安装座11的光纤安装孔113用于安装光纤。可选地，第一方向、第二方向和第三方向为不同的移动方向，可分别对应图4所示的x方向、y方向和z方向理解，第一方向与第二方向垂直或者具有锐角夹角。第三方向沿调节本体座和基座组件的排列方向。优选地，第一方向和第二方向相互垂直，第三方向为与第一方向和第二方向所在的平面垂直的方向。需要说明的是，第一旋转方向和第二旋转方向为不同的旋转方向，假设基座组件13相互垂直的两个轴向线将基座组件13的横截面划分为四个区域(类似直角坐标系内的四个象限区域)，从上半区域转向下半区域的方向(或者从下半区域转向上半区域)可以认为是第一旋转方向，从左半区域转向右半区域的方向(或者从右半区域转向左半区域)可以认为是第二旋转方向，需要说明的是，第一旋转方向的旋转轴可以并非是两条轴向线中的一条轴向线，只要是从上半区域和下半区域中的一个区域转向另一区域的方向均可以，同理，第二旋转方向，只要是从左半区域和右半区域中的一个区域转向另一区域的方向均可以。为便于理解，可以参考的是：人右手持书，进行朝左手方向的偏转实现的是倾斜，进行朝人脸方向的偏转则实现的是俯仰。
66.本技术提供的光纤调节组件的一个实施例包括：
67.光纤调节组件包括光纤安装座11、调节本体座12、基座组件13及第一方向调节组件、第二方向调节组件、第三方向调节组件、倾斜面调节组件和俯仰面调节组件中的至少一种调节组件；光纤安装座11用于装载在调节本体座12内，两者可视为内围和外围的位置关系；基座组件13用于承载调节本体座12；调节本体座12上装设第一方向调节组件和第二方向调节组件；第三方向调节组件、倾斜面调节组件和俯仰面调节组件的一部分装设于调节本体座12，一部分装设于基座组件13。
68.五种调节组件对光纤安装座11有独立对应的作用，具体地，第一方向调节组件和第二方向调节组件分别用于调整光纤安装座11在第一方向上和第二方向上与调节本体座12的相对位置；第三方向调节组件用于调整光纤安装座11在第三方向上与基座组件13的相对位置；倾斜面调节组件和俯仰面调节组件，分别用于绕第一旋转轴线调整光纤安装座11相对于基座组件13的第一角度和绕第二旋转轴线第二角度，其中第二角度与第一角度垂直或具有锐角夹角；当需要对光纤安装座11做第一方向、第二方向、第三方向、倾斜和俯仰中任一入射方位的调整时，只需调整对应的第一方向调节组件、第二方向调节组件、第三方向调节组件、倾斜面调节组件和俯仰面调节组件即可。由于五种调节组件有独立对应的调整作用，使得不同入射方位的调整不存在关联性从而实现五个自由度，即调整其中一种调节组件，并不会使光纤安装座11做出其他方位的非需调整。
69.综上，本技术实施例的光纤调节组件，在光纤安装座11、调节本体座12和基座组件13的配合下集成了有关五个自由度的调节组件，不仅体现了整体模块化的功能优势，且可以对光纤安装座11所安装的光源进行不同入射方位的独立调整，该种调整方式可以避免联动调整对套刻测量精度的影响，满足了套刻测量对光源的入射方位的精准调整需求。
70.请参阅图1至图4，第一方向调节组件和第二方向调节组件的设置和应用类似，倾斜面调节组件和俯仰面调节组件的设置和应用类似，下面将对五种调节组件进行详细说明。
71.关于第一方向调节组件。在一种具体实现方式中，第一方向调节组件可以包括第一调节螺栓141和第一限位模组142，第一调节螺栓141可以通过贯穿第一横孔121抵接光纤安装座11的一端，第一限位模组142则可以通过第一开槽122抵接光纤安装座11的另一端。光纤安装座11受第一限位模组142和第一调节螺栓141在第一方向的两相抵接，可以与调节本体座12产生第一方向上的相对位移；同时，因第一限位模组142固定装设于调节本体座12侧面的第一开槽122，使得其可以引导与之抵接的光纤安装座11做第一方向上不偏轨的移动。因此，在第一限位模组142的配合下，通过松紧第一调节螺栓141，可以调整光纤安装座11在第一方向上与调节本体座12的相对位置。
72.在一种具体实现方式中，光纤调节组件还包括位于光纤安装座和调节本体座之间的复位弹簧，复位弹簧套设于第一调节螺栓上。
73.在一种具体实现方式中，第一横孔121和第一开槽122开设在调节本体座12的侧面相对位置的目的在于，为第一限位模组142和第一调节螺栓141的配合提供最佳辅助，便于光纤安装座11进行有引导不偏轨的第一方向移动。
74.在一种具体实现方式中，第一限位模组142可以包括第一导向块1421和第一固定块1422，第一导向块1421为弹簧块，该弹簧块包括尾部两个用于卡接第一固定块1422的弹簧柱，第一固定块1422可通过卡接两个弹簧柱将第一导向块1421固定在第一开槽122。第一
调节螺栓141抵接光纤安装座11的一端，第一导向块1421则通过卡接槽卡接光纤安装座11另一端，其中，此处卡接槽的延伸方向与第一方向同向，卡接槽开设在第一导向块1421接近光纤安装座11的一端，使得在卡接作用的配合下，调动第一调节螺栓141，光纤安装座11可以做第一方向的移位。光纤安装座11受第一导向块1421和第一调节螺栓141在第一方向的两相抵接，可以与调节本体座12产生第一方向上的相对位移；同时，第一导向块1421因固定装设于第一开槽122，使得其可以引导与之抵接的光纤安装座11做第一方向上不偏轨的移动。因此，在第一导向块1421的配合下，通过松紧第一调节螺栓141，可以调整光纤安装座11在第一方向上与调节本体座12的相对位置。
75.在一种具体实现方式中，基座组件13包括基座131及与基座131相连的镜筒安装座132，可选地，镜筒安装座132开设有镜筒安装孔24，镜筒安装座132和镜筒20上设置有机械对接位，例如设置有对应的凹凸槽位以将镜筒安装座132和镜筒20两者适配连接起来，并通过镜筒安装孔24上穿插的固定件例如螺栓紧固两者。在一种具体实现方式中，基座组件13的基座131上开设有用于防止第三调节螺栓161、第四调节螺栓171、或第五调节螺栓181松紧时发生偏轨的限位槽21，可选地，限位槽21为v形限位槽21或其他形状的开槽。在一种具体实现方式中，光纤安装座11的侧面设置第一限位阶台111和第二限位阶台112，第一限位阶台111与第一方向调节组件包括的第一导向块1421对接，第二限位阶台112与第二方向调节组件包括的第二导向块1521对接，分别用于卡接光纤安装座11在第一方向和第二方向的位置。在一种具体实现方式中，第一方向调节组件和/或第二方向调节组件包括防滑件22，用于防止第一调节螺栓141和第二调节螺栓151抵触光纤安装座11造成滑动，防滑件22设置在第一调节螺栓141和第二调节螺栓151靠近光纤安装座11的一端，防滑件22优选为不锈钢板。光纤安装座11的光纤安装孔113用于安装光源组件。在一种具体实现方式中，调节本体座12和/或基座131可以开设有减重孔23。其中第三调节螺栓一端与调节本体座通过螺纹连接，另一端与基座组件抵触。
76.关于第二方向调节组件。在一种具体实现方式中，第二方向调节组件可以包括第二调节螺栓151和第二限位模组152，第二调节螺栓151可以通过贯穿第二横孔123抵接光纤安装座11的一端，第二限位模组152则可以通过第二开槽124抵接光纤安装座11的另一端。光纤安装座11受第二限位模组152和第二调节螺栓151在第二方向的两相抵接，可以与调节本体座12产生第二方向上的相对位移；同时，因第二限位模组152固定装设于调节本体座12侧面的第二开槽124，使得其可以引导与之抵接的光纤安装座11做第二方向上不偏轨的移动。因此，在第二限位模组152的配合下，通过松紧第二调节螺栓151，可以调整光纤安装座11在第二方向上与调节本体座12的相对位置。
77.在一种具体实现方式中，第二横孔123和第二开槽124开设在调节本体座12的侧面相对位置的目的在于，为第二限位模组152和第二调节螺栓151的配合提供最佳辅助，便于光纤安装座11进行有引导不偏轨的第二方向移动。
78.在一种具体实现方式中，第二限位模组152可以包括第二导向块1521和第二固定块1522，在一种具体实现方式中，第二导向块1521为弹簧块，该弹簧块包括尾部两个用于卡接第二固定块1522的弹簧柱，第二固定块1522可通过卡接两个弹簧柱将第二导向块1521固定在第二开槽124。第二调节螺栓151抵接光纤安装座11的一端，第二导向块1521则通过卡接槽卡接光纤安装座11另一端，其中，此处卡接槽的延伸方向与第二方向同向，卡接槽开设
在第二导向块1521接近光纤安装座11的一端，使得在卡接作用的配合下，调动第二调节螺栓151，光纤安装座11可以做第二方向的移位。光纤安装座11受第二导向块1521和第二调节螺栓151在第二方向的两相抵接，可以与调节本体座12产生第二方向上的相对位移；同时，第二导向块1521因固定装设于第二开槽124，使得其可以引导与之抵接的光纤安装座11做第二方向上不偏轨的移动。因此，在第二导向块1521的配合下，通过松紧第二调节螺栓151，可以调整光纤安装座11在第二方向上与调节本体座12的相对位置。
79.在一种具体实现方式中，因第一限位模组142和第一开槽122的配合，加上第一调节螺栓141对光纤安装座11的抵接，可以限定光纤安装座11在第一方向上与调节本体座12的相对位置，即光纤安装座11在第一方向上已经受到了固定和限位，故松紧第二调节螺栓151不会给光纤安装座11造成第一方向上的移动；同理，因第二限位模组152和第二开槽124的配合，加上第二调节螺栓151对光纤安装座11的抵接，故松紧第一调节螺栓141不会给光纤安装座11造成第二方向上的移动。
80.关于第三方向调节组件。在一种具体实现方式中，第三方向调节组件包括第三调节螺栓161，第三调节螺栓一端与调节本体座通过螺纹连接，另一端与基座组件抵触。在一种具体实现方式中，第三方向调节组件还可以进一步包括拉簧19，第三调节螺栓161贯穿调节本体座12开设的第一竖孔125；拉簧19通过一端连接调节本体座12和另一端连接基座组件13，使得调节本体座12和基座组件13产生上下的连接关系，可以配合第三调节螺栓161调整调节本体座12在第三方向上的升降。需要说明的是，拉簧19的数量可以是一个或多个。可选地，为实现优良的升降效果，拉簧19为一个时处于第三调节螺栓161的正对位置；拉簧19为两个时，与第三调节螺栓161分别相邻间隔120度设置；拉簧19为三个时，视调节本体座12为圆周，三个拉簧19与第三调节螺栓161分别相互间隔90度设置；拉簧19为四个时，可参阅图4，其中两个与第三调节螺栓161分别相邻间隔120度设置，或分别靠近第四调节螺栓171和第五调节螺栓181，另外两个则设置在第三调节螺栓161的左右位置，另外，调节本体座12和基座131上可以对应开设有用于收纳四个拉簧19的槽口。
81.第一竖孔125位于第一方向调节组件中的第一限位模组142和第二方向调节组件中的第二限位模组152两者安装位置的镜像对称面上，可以理解为三者的安装位置分别相隔120度，这样设置是考虑到为调节本体座12及其连带的光纤安装座11提供更优的升降调节效果。
82.因上述说明到受第一方向调节组件和第二方向调节组件的卡固，光纤安装座11在第一方向上及第二方向上会被限位于调节本体座12；因此，调整第三调节螺栓161，在拉簧19的配合下调节本体座12会升降，进而带动光纤安装座11升降，即调整光纤安装座11在第三方向上与基座组件13的相对位置。
83.需要说明的是，本技术实施例中，因光纤安装座11受到了第一方向和第二方向的卡固，因此，松紧第三调节螺栓161、第四调节螺栓171或第五调节螺栓181，均不会使光纤安装座11产生第一方向和第二方向上的位置变动。
84.关于倾斜面调节组件。在一种具体实现方式中，倾斜面调节组件包括第四调节螺栓171和连接件，可选地，所述连接件为拉簧19，第三调节螺栓一端与所述调节本体座通过螺纹连接，另一端与基座组件抵触；连接件两端分别连接调节本体座与基座组件；第四调节螺栓171贯穿调节本体座12开设的第二竖孔126，且第二竖孔126的轴向线与第一方向调节
组件中的第一限位模组142和第二方向调节组件中的第二限位模组152两者安装位置的对称中心线存在预设夹角，更准确地说，第四调节螺栓和连接件分别位于第一调节组件两侧，所述倾斜面调节组件用于使调节本体座与光纤安装座绕所述第一调节件相对旋转。这样设置是考虑到：当上述第一竖孔125设置在上述对称中心线上，能起到更优的升降调节效果，若第二竖孔126不与第一竖孔125存在预设夹角，容易造成松紧第四调节螺栓171就是类似于升降第四调节螺栓171升降调节本体座12的效果，而非倾斜调节本体座12。
85.在一种具体实现方式中，可参阅图4，此处四个拉簧19通过一端连接调节本体座12和另一端连接基座组件13，可以配合第四调节螺栓171调整调节本体座12及其连带的光纤安装座11的第一角度；具体可以理解为，通过调整第四调节螺栓171的转数和转向，使得调节本体座12及其连带的光纤安装座11可视为做以第一调节螺栓141为轴的倾斜，其中，靠近第四调节螺栓171的拉簧，会因调整第四调节螺栓171做对应的压缩或扩张以为倾斜提供主要配合，其他三个拉簧则提供倾斜辅助。
86.关于俯仰面调节组件。在一种具体实现方式中，俯仰面调节组件包括第五调节螺栓181和连接件，可选地，所述连接件为拉簧19；第五调节螺栓和连接件分别位于所述第二调节件两侧，所述俯仰面调节组件用于使调节本体座与光纤安装座绕所述第二调节件相对旋转。第五调节螺栓181贯穿调节本体座12开设的第三竖孔127，可以理解为，第三竖孔127的轴向线与第一方向调节组件中的第一限位模组142和第二方向调节组件中的第三限位模组两者的安装位置的对称中心线存在预设夹角，需要说明的是，此处的夹角与说明上文第二竖孔126的夹角有所区别，即若同时设置有倾斜面调节组件和俯仰面调节组件，则第三竖孔127的安装位置与上文第二竖孔126的安装位置不是同一处，而是存在预设角度，该预设角度为区间范围[90，180)内的任一角度值，以90度最佳；可以理解的是，倾斜面调节组件和俯仰面调节组件同时存在时，两者安装位置之间的预设角度，可以使得本技术实施例的倾斜面调节组件和俯仰面调节组件，具有独立对应的调位作用，而不存在关联性，不会使得调整其中一种调节组件而引发其他入射方位的变动。
[0087]
在一种具体实现方式中，连接件包括所述第三方向调节组件，或者所述连接件为弹性件。所述拉簧的顶部连接所述调节本体座，底部连接所述基座组件；所述拉簧的个数为一个或多个。
[0088]
在一种具体实现方式中，可参阅图4，此处拉簧19通过一端连接调节本体座12和另一端连接基座组件13，可以配合第五调节螺栓181调整调节本体座12及其连带的光纤安装座11的第二角度；具体可以理解为，通过调整第五调节螺栓181的转数和转向，使得调节本体座12及其连带的光纤安装座11可视为做以第二调节螺栓151为轴的俯仰，其中，靠近第五调节螺栓181的拉簧，会因调整第五调节螺栓181做对应的压缩或扩张以为俯仰提供主要配合，而其他三个拉簧则提供俯仰辅助。
[0089]
以上实施例仅用以说明本技术的技术方案，而非对其限制。