技术特征：
1.一种移动体装置，其特征在于，具备：第1移动体，其保持物体、能往彼此交叉的第1方向与第2方向移动；第1测量系统，其于该第1方向多个格子区域彼此分离配置且包含该第1及第2方向的测量成分的第1格子区域、与一边相对该第1格子区域往该第1方向移动一边照射测量光束的多个第1读头中的一方设于该第1移动体，测量通过该多个第1读头中、该测量光束照射于该多个格子区域中的至少1个的至少3个第1读头所测量于该第1方向的该第1移动体的位置信息；第2移动体，设在该第1格子区域与该多个第1读头中的另一方，能往该第2方向移动；第2测量系统，其包含该第1及第2方向的测量成分的第2格子区域、与一边相对该第2格子区域往该第2方向移动一边照射测量光束的第2读头中的一方设于该第2移动体，第2格子区域与该第2格子区域中的另一方被设置成与该第2移动体对向，测量于该第2方向的该第2移动体的位置信息；以及控制系统，其根据以该第1及第2测量系统测量的该位置信息、与用以补偿因该第1格子构件、该多个第1读头及该第1移动体的移动中的至少1个而产生的该测量系统的测量误差的修正信息，进行该第1移动体于包含该第1及第2方向的既定平面内的3自由度方向的移动控制。2.如权利要求1所述的移动体装置，其特征在于，该修正信息补偿因在该多个格子区域的至少1个的变形、变位、平坦性及形成误差中的至少1个而产生的该测量系统的测量误差。3.如权利要求1或2所述的移动体装置，其特征在于，该修正信息补偿因该多个第1读头的至少1个的光学特性、及在与该第2方向不同的方向的变位中的至少一方而产生的该测量系统的测量误差。4.如权利要求1至3中任一项所述的移动体装置，其特征在于，该修正信息补偿因用以进行该移动体的位置控制的基准面、或该物体的曝光动作中该基板所一致的基准面与该格子部的格子面、在与该既定平面正交的第3方向的位置的差所产生的该测量系统的测量误差。5.如权利要求4所述的移动体装置，其特征在于，该基准面包含该光学系统的像面。6.一种移动体装置，通过光学系统以照明光使基板曝光，其特征在于，具备：移动体，配置在该光学系统的下方，保持该基板；驱动系统，其能在与该光学系统的光轴正交的既定平面内彼此正交的第1、第2方向移动该移动体；测量系统，其于该第1方向多个格子区域彼此分离配置的格子构件、与对该格子构件分别照射测量光束且能于该第2方向移动的多个第1读头中的一方设于该移动体，且该格子构件与该多个第1读头中的另一方被设置成与该移动体对向，该测量系统，具有于该多个第1读头设置标尺构件与第2读头中的一方、且该标尺构件与该第2读头中的另一方被设置成与该多个第1读头对向，通过该第2读头对该标尺构件照射测量光束以测量于该第2方向的该多个第1读头的位置信息的测量装置，根据该多个第1读头中、该测量光束照射于该多个格子区域中的至少1个的至少3个第1读头的测量信息、与该测量装置的测量信息，测量至少于该既定平面内的3自由度方向的该移动体的位置信息；以及控制系统，根据用以补偿因该标尺构件与该第2读头中的至少一方而产生的该测量装
置的测量误差的修正信息、与以该测量系统测量的位置信息，控制该驱动系统；该多个第1读头，分别在该移动体往该第1方向的移动中，该测量光束从该多个格子区域的1个脱离、并移至与该1个格子区域相邻的另一格子区域。7.如权利要求5所述的移动体装置，其特征在于，进一步具备支承该光学系统的框架构件；该测量装置的该标尺构件与该第2读头中的一方设于该多个第1读头，该标尺构件与该第2读头中的另一方设于该光学系统或该框架构件。8.如权利要求6或7所述的移动体装置，其特征在于，该标尺构件具有于该第2方向彼此分离配置的多个格子部；该测量装置具有包含于该第2方向该测量光束的位置不同的至少2个该第2读头的多个该第2读头；该至少2个第2读头，于该第2方向，以较该多个格子部中相邻的一对格子部的间隔大的间隔配置。9.如权利要求8所述的移动体装置，其特征在于，该多个第2读头，包含在该第1方向、与和该既定平面正交的第3方向中的一方，与该至少2个第2读头的至少1个的该测量光束的位置不同的至少1个第2读头。10.如权利要求6至9中任一项所述的移动体装置，其特征在于，该测量装置对该标尺构件于互异的位置照射多个该测量光束，以测量该多个第1读头在与该第2方向不同的方向的位置信息。11.如权利要求6至10中任一项所述的移动体装置，其特征在于，该测量装置测量该多个第1读头的旋转与倾斜中的至少一方的位置信息。12.如权利要求6至11中任一项所述的移动体装置，其特征在于，该标尺构件具有反射型2维格子、或彼此排列方向不同的2个1维格子中的至少一方。13.如权利要求6至12中任一项所述的移动体装置，其特征在于，该修正信息补偿因该标尺构件的变形、变位、平坦性及形成误差中的至少1个而产生的该测量装置的测量误差。14.如权利要求1至13中任一项所述的移动体装置，其特征在于，该多个第1读头，分别以在该既定平面内彼此交叉的2方向中的一方为测量方向；于该测量系统被用于测量的该至少3个第1读头，包含以该2方向中的一方为测量方向的至少1个第1读头、与以该2方向中的另一方为测量方向的至少2个第1读头。15.如权利要求1至14中任一项所述的移动体装置，其特征在于，该多个第1读头包含以在该既定平面内与该第1方向不同的方向为测量方向的第1读头；该测量系统，为了使用该测量方向与该第1方向不同的第1读头测量该移动体的位置信息，使用该测量装置的测量信息。16.如权利要求14或15所述的移动体装置，其特征在于，该多个第1读头，包含以该第1方向为测量方向的至少2个第1读头、与以该第2方向为测量方向的至少2个第1读头。17.如权利要求1至16中任一项所述的移动体装置，其特征在于，该多个第1读头可在该第2方向与该第1移动体相对移动。18.如权利要求1至17中任一项所述的移动体装置，其特征在于，该多个第1读头，包含在该第1方向、以较该多个格子区域中相邻一对格子区域的间隔大的间隔照射该测量光束
的2个第1读头、与在该第2方向与该2个第1读头中的至少一方的该测量光束的位置不同的至少1个第1读头。19.如权利要求1至18中任一项所述的移动体装置，其特征在于，该多个格子区域，分别具有反射型2维格子或排列方向互异的2个1维格子。20.如权利要求1至19中任一项所述的移动体装置，其特征在于，该格子构件，具有分别形成有该多个格子区域的多个标尺。21.如权利要求1至20中任一项所述的移动体装置，其特征在于，该测量系统，具有可使该多个第1读头移动于该第2方向的驱动部；该控制系统，以该移动体的移动中、于该测量系统被用于测量的该至少3个第1读头的各个，于该第2方向该测量光束不会从该多个格子区域脱离的方式，控制该驱动部。22.如权利要求1至21中任一项所述的移动体装置，其特征在于，该测量系统，具有可分别保持该多个第1读头中的1个或多个第1读头移动的多个可动部，通过该测量装置以该多个可动部分别测量该第1读头的位置信息。23.如权利要求1至22中任一项所述的移动体装置，其特征在于，该多个第1读头，分别以在该既定平面内彼此交叉的2方向中的一方、与和该既定平面正交的第3方向的2方向为测量方向；该测量系统，可使用该至少3个第1读头，测量包含该第3方向的在与该3自由度方向不同的3自由度方向的该移动体的位置信息。24.如权利要求1至23中任一项所述的移动体装置，其特征在于，该多个第1读头具有至少4个第1读头；在该至少4个第1读头中的1个第1读头的该测量光束从该多个格子区域脱离的期间，剩余至少3个第1读头的该测量光束照射于该多个格子区域的至少1个，且因该移动体往该第1方向的移动，该至少4个第1读头中该测量光束从该多个格子区域脱离的该1个第1读头被切换。25.如权利要求24所述的移动体装置，其特征在于，该至少4个第1读头，包含在该第1方向该测量光束的位置互异的2个第1读头、与在该第2方向该测量光束的位置与该2个第1读头中的至少一方不同、且在该第1方向该测量光束的位置互异的2个第1读头；该2个第1读头，于该第1方向，以较该多个格子区域中相邻一对格子区域的间隔大的间隔照射该测量光束。26.如权利要求24或25所述的移动体装置，其特征在于，该格子构件具有于该第2方向彼此分离配置的至少2个该多个格子区域；该至少4个第1读头，分别通过于该第1方向该测量光束的位置互异的至少2个第1读头，对该至少2个该多个格子区域照射该测量光束；该至少2个第1读头，于该第1方向，以较该多个格子区域中相邻一对格子区域的间隔大的间隔照射该测量光束。27.如权利要求26所述的移动体装置，其特征在于，该格子构件设在该移动体，该多个第1读头设在该移动体的上方；该至少2个的该多个格子区域，包含于该第2方向配置在该移动体的基板载置区域两侧的一对该多个格子区域。
28.如权利要求24至27中任一项所述的移动体装置，其特征在于，于该移动体往该第1方向的移动中，该至少4个第1读头的该测量光束从该多个格子区域脱离的非测量区间不会重叠。29.如权利要求28所述的移动体装置，其特征在于，该多个第1读头，包含与该至少4个第1读头中的至少1个、该非测量区间至少一部分重叠的至少1个第1读头；于该移动体的位置信息的测量中，使用包含该至少4个第1读头、与该至少1个第1读头的至少5个第1读头中，该测量光束照射于该多个格子区域的至少1个的至少3个第1读头。30.如权利要求24至29中任一项所述的移动体装置，其特征在于，该控制系统，将用以使用该至少4个第1读头中、该测量光束从该1个格子区域脱离而移至该另一格子区域的1个第1读头控制该移动体的移动的修正信息，根据剩余的至少3个第1读头的测量信息、或使用该剩余的至少3个第1读头测量的该移动体的位置信息加以取得。31.如权利要求30所述的移动体装置，其特征在于，该修正信息，在该至少4个第1读头各个的该测量光束照射于该多个格子区域中至少1个的期间取得。32.如权利要求30或31所述的移动体装置，其特征在于，在该剩余至少3个第1读头的1个的该测量光束从该多个格子区域的1个脱离前，取代该剩余至少3个第1读头的1个，使用包含已取得该修正信息的该1个第1读头的至少3个第1读头，测量该移动体的位置信息。33.如权利要求30至32中任一项所述的移动体装置，其特征在于，该多个第1读头，分别以在该既定平面内彼此交叉的2方向的一方、与和该既定平面正交的第3方向的2方向为测量方向；该测量系统，使用该至少3个第1读头，测量在包含该第3方向的与该3自由度方向不同的3自由度方向的该移动体的位置信息；该控制系统，将使用该至少4个第1读头中、该测量光束从该1个格子区域脱离而移至该另一格子区域的1个第1读头，用以控制在该不同的3自由度方向的该移动体的移动的修正信息，根据剩余至少3个第1读头的该第3方向的测量信息、或使用该剩余至少3个第1读头测量的于该第3方向的该移动体的位置信息加以取得。34.一种曝光装置，其特征在于，具备：权利要求1至33中任一项的移动体装置；以及对该物体照射能量束以使该物体曝光的光学系统。35.如权利要求34所述的曝光装置，其特征在于，进一步具备支承该光学系统的框架构件；该格子构件与该多个第1读头中的另一方设于该框架构件。36.如权利要求35所述的曝光装置，其特征在于，该测量系统中，该格子构件设于该移动体、且该多个第1读头设于该框架构件；该测量装置中，该第2读头设于该多个第1读头、且该标尺构件设于该框架构件。37.如权利要求34至36中任一项所述的曝光装置，其特征在于，该基板被保持在该移动体的开口内；并进一步具备具有悬浮支承该移动体及该基板的支承部、通过该驱动系统使该被悬浮支承的基板移动于至少该3自由度方向的载台系统。38.如权利要求34至37中任一项所述的曝光装置，其特征在于，进一步具备以照明光照
明光掩膜的照明光学系统；该光学系统，具有分别投影该光掩膜的图案的部分像的多个光学系统。39.如权利要求38所述的曝光装置，其特征在于，该基板通过该光学系统被以该照明光扫描曝光；该多个光学系统，于该扫描曝光中，对在与该基板移动的扫描方向正交的方向的位置互异的多个投影区域分别投影该部分像。40.如权利要求34至39中任一项所述的曝光装置，其特征在于，该基板通过该光学系统被以该照明光扫描曝光，于该扫描曝光中往该第1方向移动。41.如权利要求34至39中任一项所述的曝光装置，其特征在于，该基板通过该光学系统被以该照明光扫描曝光，于该扫描曝光中往该第2方向移动。42.如权利要求34至41中任一项所述的曝光装置，其特征在于，该基板至少一边的长度或对角长为500mm以上，是平板显示器用的基板。43.一种平板显示器的制造方法，其特征在于，包含：使用权利要求34至42中任一项的曝光装置使基板曝光的动作；以及使该曝光后的基板显影的动作。44.一种器件制造方法，其特征在于，包含：使用权利要求34至43中任一项的曝光装置使基板曝光的动作；以及使该曝光后的基板显影的动作。45.一种移动方法，其特征在于，包含：使保持物体的第1移动体往彼此交叉的第1方向与第2方向移动的动作；通过第1测量系统，其于该第1方向多个格子区域彼此分离配置、包含该第1及第2方向的测量成分的第1格子区域、与一边相对该第1格子区域往该第1方向移动一边照射测量光束的多个第1读头中的一方设于该第1移动体，测量以该多个第1读头中、该测量光束照射于该多个格子区域的至少1个的至少3个第1读头所测量的于该第1方向的该第1移动体的位置信息的动作；通过设在该第1格子区域与该多个第1读头中另一方的第2移动体，使该第1移动体往该第2方向移动的动作；通过第2测量系统，其包含该第1及第2方向的测量成分的第2格子区域、与一边相对该第2格子区域往该第2方向移动一边照射测量光束的第2读头中的一方设于该第2移动体，该第2格子区域与该第2格子区域中的另一方以和该第2移动体对向的方式设置，测量于该第2方向的该第2移动体的位置信息的动作；以及根据用以补偿以该第1及第2测量系统测量的该位置信息、与因该第1格子构件、该多个第1读头及该第1移动体的移动中的至少1个而产生的该测量系统的测量误差的修正信息，进行在包含该第1及第2方向的既定平面内的3自由度方向的该第1移动体的移动控制的动作。46.一种曝光方法，其特征在于，包含：以权利要求45的移动方法使该物体往该第1方向移动的动作；以及对往该第1方向移动后的该物体照射能量束以使该物体曝光的动作。47.一种平板显示器的制造方法，其特征在于，包含：
使用权利要求46的曝光方法使基板曝光的动作；以及使该曝光后的基板显影的动作。48.一种器件制造方法，其特征在于，包含：使用权利要求46的曝光方法使基板曝光的动作；以及使该曝光后的基板显影的动作。
技术总结
本发明的移动体装置，具备可保持基板(P)往X轴及Y轴方向移动的基板保持具(32)、可往Y轴方向移动的Y粗动载台(24)、将基板保持具(32)的位置信息通过设于基板保持具(32)的读头(74x、74y)与设于Y粗动载台(24)的标尺(72)加以取得的第1测量系统、将Y粗动载台(24)的位置信息通过设于Y粗动载台(24)的读头(80x、80y)与标尺(78)加以取得的第2测量系统、以及根据以第1及第2测量系统取得的位置信息控制基板保持具(32)的位置的控制系统，第1测量系统一边使读头(74x、74y)相对标尺(72)往X轴方向移动一边照射测量光束，第2测量系统则一边使读头(80x、80y)相对标尺(78)往Y轴方向移动一边照射测量光束。一边照射测量光束。一边照射测量光束。
技术研发人员：青木保夫
受保护的技术使用者：株式会社尼康
技术研发日：2017.09.29
技术公布日：2021/11/14