技术特征：
1.一种用于反射式光栅安装的低温高稳定性支撑结构，其特征在于：包括光栅压板、光栅基板、弹性压片以及球头柱塞；光栅压板上开设安装槽；安装槽的槽底设有至少三个第一定位凸台，至少三个第一定位凸台的顶面构成了光栅基板的沿光轴方向的安装基准面；安装槽的两个相邻槽壁上分别设有第二定位凸台和第三定位凸台；安装槽的另外两个槽壁上，且分别对应于第二定位凸台和第三定位凸台的位置嵌装有球头柱塞；光栅基板安装于安装槽内，光栅基板的下表面均与至少三个第一定位凸台的顶面接触，光栅基板在两处球头柱塞的作用下，分别与第二定位凸台和第三定位凸台接触；光栅基板的上表面中心设置有用于和反射光栅背部连接的第四凸台；弹性压片至少为三个，弹性压片的一端与光栅压板的上表面固连，另一端与所述光栅基板的上表面接触，用于将光栅基板沿光轴方向的压紧。2.根据权利要求1所述的用于反射式光栅安装的低温高稳定性支撑结构，其特征在于：所述弹性压片由水平段和弯曲段构成；水平段通过螺钉与光栅压板连接，弯曲段伸入所述光栅基板与反射光栅之间的间隙后，与所述光栅基板的上表面接触，用于将光栅基板沿光轴方向的压紧。3.根据权利要求2所述的用于反射式光栅安装的低温高稳定性支撑结构，其特征在于：所述弹性压片的材质为锰钢。4.根据权利要求3所述的用于反射式光栅安装的低温高稳定性支撑结构，其特征在于：光栅压板上表面还分别设有与外部光学系统对接时作为定位基准使用的第五凸台。5.根据权利要求4所述的用于反射式光栅安装的低温高稳定性支撑结构，其特征在于：所述球头柱塞通过螺纹旋合的连接方式嵌装于安装槽的两侧槽壁内。6.根据权利要求5所述的用于反射式光栅安装的低温高稳定性支撑结构，其特征在于：反射光栅前表面与光栅基板后表面平行度要求小于0.01mm，反射光栅侧面与光栅基板侧面平行度要求小于0.01mm；安装基准面的平面度要求小于0.01mm；所述安装基准面和第五凸台的顶面之间平行度满足0.01～0.02mm；所述第四凸台的顶面分别与第二定位凸台的顶面、第三定位凸台的顶面之间的垂直度要求为0.01～0.02mm。7.根据权利要求6所述的用于反射式光栅安装的低温高稳定性支撑结构，其特征在于：所述光栅基板采用与反射光栅材料热膨胀系数相匹配的铟钢材料制作。8.根据权利要求7所述的用于反射式光栅安装的低温高稳定性支撑结构，其特征在于：所述安装槽的槽底中心开设有通孔。9.根据权利要求8所述的用于反射式光栅安装的低温高稳定性支撑结构，其特征在于：所述光栅压板采用与外部光学系统材料热膨胀系数相匹配的铝合金材料制作。
技术总结
本发明公开了一种用于反射式光栅安装的低温高稳定性支撑结构，包括光栅压板、光栅基板、弹性压片以及球头柱塞；反射光栅背部通过单点粘接的方式与光栅基板进行固定，光栅基板嵌装于光栅压板的安装槽内，通过设置在安装槽两侧槽壁内的球头柱塞，实现了光栅基板在X，Y方向的定位；通过弹性压板向光栅基板提供Z向的预紧力，在弹性压板和安装槽槽底的安装基准面的作用下，实现光栅基板Z方向的定位。该支撑结构在保证支撑精度的同时将反射光栅与光栅压板结构进行了有效的隔离，温度载荷作用下的变形由柔性结构吸收和缓冲，反射光栅几乎不受到随温度变化的作用力，有效的保证了光栅表面面形精度，实现系统的温度稳定性。实现系统的温度稳定性。实现系统的温度稳定性。
技术研发人员：冯玉涛 吴阳 武俊强 孙剑 张兆会 韩斌 郝雄波
受保护的技术使用者：中国科学院西安光学精密机械研究所
技术研发日：2021.08.31
技术公布日：2021/12/10