一种复合PET软膜及其制备方法与流程

一种复合pet软膜及其制备方法
技术领域
1.本发明涉及纳米压印技术领域，具体涉及一种复合pet软膜及其制备方法。


背景技术：

2.在纳米压印技术中，应用于显示技术领域的纳米压印工艺流程通常包括：先制备出工作模板，然后根据工作膜板制备出大尺寸压印机使用的压印模板，利用压印模板进行显示基板上薄膜的图案化。
3.目前，通常一个母板只复制出一个复合软模，然后用此复合软模进行压印样品，从而样品上只有一个图案结构；可见，这种图案复制或转移效率较低，会严重影响产品的产出效率。


技术实现要素：

4.为解决上述技术问题，本发明的目的在于提供一种复合pet软膜及其制备方法，所述复合pet软膜的制备方法用来解决目前通过母板制备复合软模时图案结构转移效率低而影响最终产量的问题。
5.为了实现上述发明目的之一，本发明一实施方式提供一种复合pet软膜的制备方法，包括：
6.步骤a：在母板上涂覆光刻模具胶，使其覆盖所述母板上的图形结构、形成光刻胶层；其中，所述光刻胶层的高度高于所述图形结构的高度，所述图形结构的面积小于所述母板面积的五分之三；
7.步骤b：在pet软膜上划分两个以上图形转移区，使得所述图形转移区、所述图形结构两者的平面大小形状相匹配；
8.步骤c：在防紫外线薄膜上开设一个通透的透光区；其中，所述图形结构、所述透光区两者的平面大小形状相匹配；
9.步骤d：将所述防紫外线薄膜、所述pet软膜依次堆叠覆盖于所述光刻胶层上，使得所述图形转移区、所述透光区、所述图形结构三者在竖直方向上依次对齐；同时，在所述透光区位置，所述pet软膜与所述光刻胶层两者相互贴合；
10.步骤e：在竖直方向上对所述pet软膜进行曝光，使得位于所述透光区平面范围内的光刻胶层固化、在所述pet软膜的下表面形成转移图案结构；
11.步骤f：将贴附有所述转移图案结构的所述pet软膜、所述防紫外线薄膜两者依次从所述母板上分离、完成脱模；
12.步骤g：对所述pet软膜进行位移，使得下一个图形转移区对准所述图形结构，依次重复步骤a、步骤c、步骤d、步骤e、步骤f；直至所述pet软膜上所有图形转移区均完成图形转移。
13.作为本发明一实施方式的进一步改进，所述防紫外线薄膜、所述图形转移区两者的数量相匹配；每个防紫外线薄膜上的透光区与每个图形转移区一一对应。
14.作为本发明一实施方式的进一步改进，所述图形转移区、所述透光区、所述图形结构三者的平面大小关系为：所述图形转移区＞所述透光区≥所述图形结构。
15.作为本发明一实施方式的进一步改进，所述透光区、所述图形结构两者的平面大小形状相同；
16.步骤d中，所述防紫外线薄膜的边缘挤压所述光刻胶层、且与所述图形结构相接触。
17.作为本发明一实施方式的进一步改进，步骤d中，“将所述防紫外线薄膜、所述pet软膜依次堆叠覆盖于所述光刻胶层上”具体包括：
18.将所述防紫外线薄膜贴附并覆盖于所述光刻胶层上，使得所述透光区、所述图形结构两者在竖直方向上居中对齐；
19.将所述pet软膜贴附并覆盖于所述防紫外线薄膜上，使得所述图形转移区、所述透光区两者在竖直方向上居中对齐。
20.作为本发明一实施方式的进一步改进，步骤e中，通过紫外灯对所述pet软膜进行uv光曝光。
21.作为本发明一实施方式的进一步改进，所述母板为圆形硅片，所述图形结构的平面形状为矩形。
22.作为本发明一实施方式的进一步改进，所述防紫外线薄膜、所述母板两者的平面大小形状相匹配。
23.本发明一实施方式还提供一种复合pet软膜，通过如上任一项所述的复合pet软膜的制备方法生成，所述复合pet软膜包括：
24.pet软膜，包括两个以上图形转移区；
25.以及与所述转移图案结构数量匹配的转移图案结构，所述转移图案结构分别贴附于所述图形转移区上。
26.作为本发明一实施方式的进一步改进，所有图形转移区以4*4阵列结构形式排布于所述pet软膜上。
27.与现有技术相比，本发明的有益效果在于：
28.当母板上图形结构面积＜母板面积五分之三时，复合pet软膜的制备方法如下：
29.母板涂光刻模具胶、覆盖高过图形结构，形成光刻胶层；
30.提供pet软膜，其包括两个以上图形转移区，图形转移区、图形结构的平面大小形状相匹配；
31.提供防紫外线薄膜，开设有一个通透的透光区，透光区、图形结构的平面大小形状相匹配；
32.在光刻胶层上依次堆叠防紫外线薄膜、pet软膜，保证图形结构、透光区、图形转移区由下至上依次对齐，且pet软膜紧贴光刻胶层；
33.竖直向下进行曝光，在通透的透光区内，光刻胶层固化后形成转移图案结构；
34.将pet软膜、防紫外线薄膜依次脱模，转移图案结构则贴附于pet软膜下表面；
35.将pet软膜的下一个图形转移区对准图形结构，重复上述涂胶、防紫外线薄膜开设一个透光区、堆叠、曝光、依次脱模等步骤，直到pet软膜上的所有图形转移区均加工完成、均贴附有转移图案结构。
36.由此，当母板上图形结构为小尺寸结构时，通过一张pet软膜、多张防紫外线薄膜，对pet软膜上的各个图形转移区依次进行团复制或图形转移，使得pet软膜上形成多个转移图案结构，最终形成复合pet软膜；从而，通过复合pet软膜进行压印样品时，可同时压印形成多个图案结构，由此可极大提升图案结构的转移效率、提升产品产量。
附图说明
37.为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
38.图1是本发明一实施例中母板的结构示意图；
39.图2是本发明一实施例中母板、光刻胶层的结构示意图；
40.图3是本发明一实施例中pet软膜、防紫外线薄膜的结构示意图；
41.图4是本发明一实施例中复合pet软膜曝光工艺的结构示意图；
42.图5是本发明一实施例中复合pet软膜脱模工艺的结构示意图；
43.图6是本发明一实施例中母板的实际结构示意图；
44.图7是本发明一实施例中复合pet软膜的实际结构示意图。
45.其中附图中所涉及的标号如下：
46.母板1，图形结构11，光刻胶层2，防紫外线薄膜3，透光区31，pet软膜4。
具体实施方式
47.为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明具体实施方式及相应的附图对本发明技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施方式仅是本发明一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本发明中的实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本发明保护的范围。
48.下面通过参考附图描述的实施方式是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。
49.如图1至图5所示，本发明一实施例提供了一种复合pet软膜的制备方法，包括：
50.步骤a：在母板1上涂覆光刻模具胶，使其覆盖母板1上的图形结构11、形成光刻胶层2；其中，光刻胶层2的高度高于图形结构11的高度，图形结构11的面积小于母板1面积的五分之三；
51.步骤b：在pet软膜4上划分两个以上图形转移区，使得图形转移区、图形结构11两者的平面大小形状相匹配；
52.步骤c：在防紫外线薄膜3上开设一个通透的透光区31；其中，图形结构11、透光区31两者的平面大小形状相匹配；
53.步骤d：将防紫外线薄膜3、pet软膜4依次堆叠覆盖于光刻胶层2上，使得图形转移区、透光区31、图形结构11三者在竖直方向上依次对齐；同时，在透光区31位置，pet软膜4与光刻胶层2两者相互贴合；
54.步骤e：在竖直方向上对pet软膜4进行曝光，使得位于透光区31平面范围内的光刻
胶层2固化、在pet软膜4的下表面形成转移图案结构；
55.步骤f：将贴附有转移图案结构的pet软膜4、防紫外线薄膜3两者依次从母板1上分离、完成脱模；
56.步骤g：对pet软膜4进行位移，使得下一个图形转移区对准图形结构11，依次重复步骤a、步骤c、步骤d、步骤e、步骤f；直至pet软膜4上所有图形转移区均完成图形转移。
57.具体的，当母板上图形结构面积＜母板面积五分之三时，复合pet软膜的制备方法如下：
58.母板1涂光刻模具胶、覆盖高过图形结构11，形成光刻胶层2；
59.提供pet软膜4，其包括两个以上图形转移区，图形转移区、图形结构11的平面大小形状相匹配；
60.提供防紫外线薄膜3，开设有一个通透的透光区31，透光区31、图形结构11的平面大小形状相匹配；
61.在光刻胶层2上依次堆叠防紫外线薄膜3、pet软膜4，保证图形结构11、透光区31、图形转移区由下至上依次对齐，且pet软膜4紧贴光刻胶层2；
62.竖直向下进行曝光，在通透的透光区31内，光刻胶层2固化后形成转移图案结构；
63.将pet软膜4、防紫外线薄膜3依次脱模，转移图案结构则贴附于pet软膜4下表面；
64.将pet软膜4的下一个图形转移区对准图形结构11，重复上述涂胶、防紫外线薄膜3开设一个透光区31、堆叠、曝光、依次脱模等步骤，直到pet软膜4上的所有图形转移区均加工完成、均贴附有转移图案结构。
65.由此，当母板上图形结构11为小尺寸结构时，通过一张pet软膜4、多张防紫外线薄膜3，对pet软膜4上的各个图形转移区依次进行团复制或图形转移，使得pet软膜4上形成多个转移图案结构，最终形成复合pet软膜；从而，通过复合pet软膜进行压印样品时，可同时压印形成多个图案结构，由此可极大提升图案结构的转移效率、提升产品产量。
66.在实际使用中，通过一个母板在软模上复制出多个相同的图案，然后用此软模压印样品，这时压印出的样品上就有多个相同的图案，大大提高了产出效率。从而，可避免已完成的图形结构11被当前图形转移过程污染，提升pet软膜的利用率，提升图形结构的整体产出效率。
67.此外，最终的复合pet软膜上，转移图案结构的周期可以自行设计大小，只要保证不小于图形结构的平面大小形状即可。后面复制软模时，防紫外线薄膜可以保护前面已经完成的图形，最终完成的复合软模上的多个图形间距可自行调整。
68.进一步的，防紫外线薄膜3、图形转移区两者的数量相匹配；每个防紫外线薄膜3上的透光区31与每个图形转移区一一对应。
69.在实际操作中，使用多张防紫外线薄膜，通过多次转移来复制多个图案，使得pet软膜上所有图形转移区完成图案转移。
70.进一步的，图形转移区、透光区31、图形结构11三者的平面大小关系为：图形转移区＞透光区≥图形结构。
71.由此，可以保证足够曝光，使得光刻胶层2被固化、在pet软膜4下表面形成转移图案结构。
72.进一步的，透光区31、图形结构11两者的平面大小形状相同；
73.步骤d中，防紫外线薄膜3的边缘挤压光刻胶层2、且与图形结构11相接触。
74.由此，曝光后，固化的光刻胶层即可与未固化的光刻胶层轻松分离，从而可自行断连、方便脱模。
75.同时，可防止曝光后的固化残胶圈，提升脱模速度和质量。
76.进一步的，步骤d中，“将防紫外线薄膜3、pet软膜4依次堆叠覆盖于光刻胶层2上”具体包括：
77.将防紫外线薄膜3贴附并覆盖于光刻胶层2上，使得透光区31、图形结构11两者在竖直方向上居中对齐；
78.将pet软膜4贴附并覆盖于防紫外线薄膜3上，使得图形转移区、透光区31两者在竖直方向上居中对齐。
79.在实际操作中，将带孔的薄膜覆盖在模具胶上，并将孔和图案区居中对齐，再将pet贴合在一起。
80.从而，图形结构11、透光区31、图形转移区由下至上依次居中对齐；在曝光后，透光区31内的光刻胶层2被固化、在pet软膜4下表面形成转移图案结构。
81.由此，不仅可保证足够曝光，也可保证整体结构对称、排布合理。
82.进一步的，步骤e中，通过紫外灯对pet软膜4进行uv光曝光。
83.在贴合完毕之后，然后用紫外灯对pet进行曝光，透光的地方(即薄膜的透光区31)模具胶固化并留在pet上。
84.如图6所示，进一步的，母板1为圆形硅片，图形结构11的平面形状为矩形。
85.进一步的，防紫外线薄膜3、母板1两者的平面大小形状相匹配。
86.由此，每个图形转移区在转移图案结构时，均使用新的防紫外线薄膜；较小尺寸的防紫外线薄膜面积小，可节省材料。
87.如图7所示，本发明一实施方式还提供一种复合pet软膜，通过如上任一项的复合pet软膜的制备方法生成，复合pet软膜包括：
88.pet软膜4，包括两个以上图形转移区；
89.以及与转移图案结构数量匹配的转移图案结构，转移图案结构分别贴附于图形转移区上。
90.进一步的，所有图形转移区以4*4阵列结构形式排布于pet软膜4上。
91.在实际使用中，最终的复合pet软膜上具有16个转移图案结构，其以矩阵形式规则排列，可极大提升后续压印样品效率、提高产量。
92.在具体实施例中，复合pet软膜制备方法的整个过程为：
93.根据母板上图案区的大小，先制作一个防紫外线薄膜，在薄膜上开设一个与母板图案区相同大小的孔或比图案区大一点的孔。
94.然后在母板涂上一层模具胶，再将带孔的薄膜覆盖在模具胶上，并将孔和图案区居中对齐，再将pet贴合在一起，然后用紫外灯对pet进行曝光，透光的地方(即薄膜的透光区)模具胶固化并留在pet上，然后使pet、薄膜两者依次与母板分离；
95.重复地，母板涂胶并把薄膜覆盖在上，精确移动pet的位置进行下一个软模复制，直到pet软模上图案数量达到需求。
96.应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一
个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施方式中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
97.上文所列出的一系列的详细说明仅仅是针对本发明的可行性实施方式的具体说明，并非用以限制本发明的保护范围，凡未脱离本发明技艺精神所作的等效实施方式或变更均应包含在本发明的保护范围之内。